[發(fā)明專利]壓電元件、液滴噴出頭、致動器以及振子

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202310126009.6
• 申請日: 2023-02-01
• 公開（公告）號: CN116568117A
• 公開（公告）日: 2023-08-08
• 發(fā)明（設計）人: 北田和也;大橋幸司;濱田泰彰;矢野凱己
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: H10N30/30
• 分類號: H10N30/30;H10N30/20;B41J2/14;B41J2/01
• 代理公司: 北京金信知識產(chǎn)權代理有限公司 11225
• 代理人: 蘇萌萌

1.一種壓電元件，具備：

第一電極，其被形成在基板上；

種子層，其被形成在所述第一電極上；

壓電體膜，其被形成在所述種子層上，并含有鉀、鈉以及鈮；

第二電極，其被形成在所述壓電體膜上，

所述壓電體膜含有鋰以及一種以上的第一過渡元素，

所述種子層含有鉍，

當將所述壓電體膜在層疊方向上進行二等分，并將所述第二電極側設為第一區(qū)域且將所述第一電極側設為第二區(qū)域時，所述第一區(qū)域和所述第二區(qū)域的分界處的由二次離子質譜測量而得到的鉍強度為所述壓電體膜的由所述二次離子質譜測量而得到的最大鉍強度的五百分之一以下。

2.如權利要求1所述的壓電元件，其中，

所述種子層含有鈦、鐵、以及鉛。

3.如權利要求2所述的壓電元件，其中，

在所述層疊方向上，所述種子層的厚度與所述第一電極的厚度相比而較薄。

4.如權利要求1至權利要求3中的任意一項所述的壓電元件，其中，

所述壓電體膜向(100)面擇優(yōu)取向。

5.一種液滴噴出頭，其具備權利要求1所述的壓電元件、和基板，并具有：

噴嘴板，其形成有噴出液滴的噴嘴；

壓力室基板，其形成與所述噴嘴連通的壓力室，

所述基板形成所述壓力室的壁面的一部分，

所述壓電元件被形成在所述基板上。

6.一種致動器，其具備權利要求1所述的壓電元件，并具有：

驅動部，其通過所述壓電元件而被驅動；

電壓施加部，其向所述壓電元件施加電壓。

7.一種振子，其具備權利要求1所述的壓電元件，并具有：

電荷檢測部，其對通過所述壓電元件的位移而產(chǎn)生的電荷量進行檢測，并輸出與所述電荷量相應的信號。