[發(fā)明專利]壓力校準(zhǔn)方法、設(shè)備、裝置及介質(zhì)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202310108081.6
• 申請(qǐng)日: 2023-02-14
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN115890475B
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-06-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 閔源;穆曉波
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 廣州粵芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): B24B37/04
• 分類號(hào): B24B37/04;B24B37/005;B24B49/16;B24B57/02;H01L21/306
• 代理公司: 華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 44224
• 代理人: 周婷婷

1.一種壓力校準(zhǔn)方法，其特征在于，用于校準(zhǔn)研磨機(jī)臺(tái)不同研磨區(qū)域的研磨壓力，所述方法包括：

獲取所述不同研磨區(qū)域的初始?jí)毫χ担?/p>

根據(jù)所述初始?jí)毫χ导芭c其對(duì)應(yīng)研磨區(qū)域的研磨頭尺寸的關(guān)聯(lián)關(guān)系確定不同研磨區(qū)域的初始校準(zhǔn)壓力值；根據(jù)所述初始?jí)毫χ导芭c其對(duì)應(yīng)研磨區(qū)域的研磨頭尺寸的關(guān)聯(lián)關(guān)系確定不同研磨區(qū)域的初始校準(zhǔn)壓力值包括：根據(jù)所述研磨頭尺寸確定對(duì)應(yīng)研磨區(qū)域的壓力校準(zhǔn)系數(shù)；根據(jù)所述壓力校準(zhǔn)系數(shù)及所述初始?jí)毫χ蛋凑杖缦鹿接?jì)算不同研磨區(qū)域的所述初始校準(zhǔn)壓力值：

P_id=P_ia*（1+Z_i）；式中，P_id為第i研磨區(qū)域的初始校準(zhǔn)壓力值，P_ia為第i研磨區(qū)域的初始?jí)毫χ担琙_i為第i研磨區(qū)域的壓力校準(zhǔn)系數(shù)，i為正整數(shù)；

根據(jù)所述初始校準(zhǔn)壓力值及預(yù)設(shè)規(guī)則確定不同研磨區(qū)域的目標(biāo)校準(zhǔn)壓力值；所述預(yù)設(shè)規(guī)則包括不同研磨區(qū)域的研磨頭實(shí)時(shí)使用次數(shù)與所述初始校準(zhǔn)壓力值的關(guān)聯(lián)關(guān)系；所述預(yù)設(shè)規(guī)則還包括：根據(jù)所述不同研磨區(qū)域的研磨頭實(shí)時(shí)使用次數(shù)按照如下公式計(jì)算調(diào)整壓力值：

P_ib=N*S_i/M；式中，P_ib為第i研磨區(qū)域的調(diào)整壓力值，S_i為第i研磨區(qū)域的研磨頭的實(shí)時(shí)使用次數(shù)，N為壓力調(diào)整系數(shù)，M為研磨頭的壽命次數(shù)，i為正整數(shù)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力校準(zhǔn)方法，其特征在于，不同研磨區(qū)域的所述初始?jí)毫χ蛋A(yù)設(shè)的研磨制程工藝程序的設(shè)定壓力值。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的壓力校準(zhǔn)方法，其特征在于，所述壓力校準(zhǔn)系數(shù)Z的范圍為-0.5至0.5。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的壓力校準(zhǔn)方法，其特征在于，所述方法還包括：

根據(jù)所述調(diào)整壓力值的計(jì)算公式，建立所述研磨頭的實(shí)時(shí)使用次數(shù)與所述調(diào)整壓力值關(guān)系查詢表，并生成由所述研磨機(jī)臺(tái)直接讀取的計(jì)算機(jī)程序。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的壓力校準(zhǔn)方法，其特征在于，所述預(yù)設(shè)規(guī)則還包括：

根據(jù)所述調(diào)整壓力值及所述初始校準(zhǔn)壓力值計(jì)算目標(biāo)校準(zhǔn)壓力值，所述目標(biāo)校準(zhǔn)壓力值為所述初始?jí)毫χ蹬c所述調(diào)整壓力值的差值。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的壓力校準(zhǔn)方法，其特征在于，包括以下特征中至少一個(gè)：

所述壓力調(diào)整系數(shù)為0.2psi；

所述研磨頭的壽命次數(shù)為2000。

7.根據(jù)權(quán)利要求2-6任一項(xiàng)所述的壓力校準(zhǔn)方法，其特征在于，所述研磨頭的尺寸包括所述研磨頭的厚度、所述研磨頭的內(nèi)徑或所述研磨頭的外徑。