[發(fā)明專利]一種螺旋波等離子體發(fā)生裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202310101375.6
• 申請(qǐng)日: 2023-01-19
• 公開（公告）號(hào): CN116321659A
• 公開（公告）日: 2023-06-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孟月東;繆勇
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 安徽金屹能源發(fā)展有限公司
• 主分類號(hào): H05H1/46
• 分類號(hào): H05H1/46
• 代理公司: 合肥天明專利事務(wù)所(普通合伙) 34115
• 代理人: 苗娟

1.一種螺旋波等離子體發(fā)生裝置，包括有一端密封的石英玻璃管、電感線圈，其特征在于，還包括螺旋波天線、穩(wěn)恒磁場(chǎng)線圈或磁鐵，金屬材質(zhì)的真空室；

所述石英玻璃管開口端與金屬材質(zhì)的真空室密封連接，與真空抽氣、充氣及壓力測(cè)量組件構(gòu)成等離子體放電的真空系統(tǒng)；

位于石英玻璃管密封端的射頻天線與位于石英玻璃管開口端的電感線圈串聯(lián)連接到射頻電源，構(gòu)成電源驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)；

穩(wěn)恒磁場(chǎng)由直流電源供電給置于射頻天線外面的直流線圈產(chǎn)生，或用永久磁鐵產(chǎn)生，提供激發(fā)螺旋波的磁場(chǎng)系統(tǒng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的螺旋波等離子體發(fā)生裝置，其特征在于：所述等離子體發(fā)生腔室采用對(duì)電磁波低吸收率的一端密封的石英管，管內(nèi)徑小于等于10cm，石英管的開口端與金屬材質(zhì)的真空室密封連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的螺旋波等離子體發(fā)生裝置，其特征在于：所述電感線圈套放在石英管外近密封端，線圈匝數(shù)在3匝以上，內(nèi)徑大于石英管的外徑。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的螺旋波等離子體發(fā)生裝置，其特征在于：所述射頻天線套放在石英管外近開口端，距離電感線圈大于5cm，天線的長度≧5cm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的螺旋波等離子體發(fā)生裝置，其特征在于：穩(wěn)恒磁場(chǎng)線圈或磁鐵，置于螺旋波天線套放在螺旋波天線，在等離子體放電區(qū)域提供50高斯以上的穩(wěn)恒磁場(chǎng)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的螺旋波等離子體發(fā)生裝置，其特征在于：所述射頻天線與電感線圈串聯(lián)連接，由射頻電源經(jīng)阻抗匹配供電。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的螺旋波等離子體發(fā)生裝置，其特征在于：所述射頻天線是由兩根導(dǎo)電線180°對(duì)稱連接的兩個(gè)平行的金屬閉環(huán)，其中一根導(dǎo)線的一端與金屬閉環(huán)開路，用以串聯(lián)電感線圈及射頻電源的輸入。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的螺旋波等離子體發(fā)生裝置，其特征在于：與電感線圈串聯(lián)的射頻天線是博斯韋爾天線、半波右螺旋天線、名古屋III型天線之一。