[發明專利]二維材料在不同襯底間的轉移方法

在審

• 申請號: 202310098330.8
• 申請日: 2023-02-10
• 公開（公告）號: CN116067734A
• 公開（公告）日: 2023-05-05
• 發明（設計）人: 閆家旭;李治樸;趙尋;劉雷;申德振
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: G01N1/28
• 分類號: G01N1/28
• 代理公司: 長春中科長光知識產權代理事務所(普通合伙) 22218
• 代理人: 郭婷

1.一種二維材料在不同襯底間的轉移方法，其特征在于，包括如下步驟：

S1、使用堿金屬鹵化物制作襯底；

S2、將機械剝離的原始二維材料樣品粘附在所述襯底表面，將所述襯底放置在光學顯微操作臺上，使用物鏡選出目標二維材料樣品；

S3、將探針固定在所述光學顯微操作臺上并進行調節，在所述襯底的旁邊緩慢滴加去離子水，使所述目標二維材料樣品漂浮；

S4、將所述探針伸到所述目標二維材料樣品的底部，挑起所述目標二維材料樣品；

S5、將所述使用堿金屬鹵化物制作的襯底換為硅片，移動所述探針將所述目標二維材料樣品置于所述硅片上，完成所述目標二維材料樣品的初步轉移；

S6、對目標二維材料樣品進行后續處理，完成所述目標二維材料樣品的轉移。

2.根據權利要求1所述的二維材料在不同襯底間的轉移方法，其特征在于，所述步驟S1中，所述堿金屬鹵化物為氯化鈉或氯化鉀或溴化鉀。

3.根據權利要求1所述的二維材料在不同襯底間的轉移方法，其特征在于，所述步驟S1中，所述襯底尺寸為10mm×10mm×1mm。

4.根據權利要求1所述的二維材料在不同襯底間的轉移方法，其特征在于，所述步驟S2中，所述光學顯微操作臺為手動操作臺，x軸、y軸、z軸移動范圍均為13mm，分辨率均為0.01mm。

5.根據權利要求1所述的二維材料在不同襯底間的轉移方法，其特征在于，所述步驟S2中，使用物鏡選出目標二維材料樣品包括如下步驟：

S21、分別使用4倍、20倍、40倍物鏡觀察并選出尺寸和厚度合適的目標二維材料樣品；

S22、對所述目標二維材料樣品進行拍照后，用20倍物鏡找到所述目標二維材料樣品。

6.根據權利要求1所述的二維材料在不同襯底間的轉移方法，其特征在于，所述步驟S3中，所述探針選用鎢針，所述鎢針的針尖尺寸為0.1μm。

7.根據權利要求1所述的二維材料在不同襯底間的轉移方法，其特征在于，所述步驟S3中，在所述襯底的旁邊緩慢滴加去離子水包括如下步驟：

S31、取少量去離子水，用試管緩緩滴在所述襯底的旁邊，使水滲進所述襯底底部直至所述襯底周圍被水完全覆蓋；

S32、若去離子水未蔓延至表面，在遠處繼續緩慢滴水；當水蔓延至所述襯底表面時，會有少量的樣品漂浮。

8.根據權利要求1所述的二維材料在不同襯底間的轉移方法，其特征在于，所述步驟S5中，所述硅片尺寸為10mm×10mm。