[發明專利]一種提純棒的拉制方法在審
| 申請號: | 202310098147.8 | 申請日: | 2023-02-06 |
| 公開(公告)號: | CN116065229A | 公開(公告)日: | 2023-05-05 |
| 發明(設計)人: | 趙巍;陳銘;宋麗平;龍小嬌;龍昭欽 | 申請(專利權)人: | 四川晶科能源有限公司 |
| 主分類號: | C30B15/00 | 分類號: | C30B15/00;C30B15/02;C30B29/06 |
| 代理公司: | 北京晟睿智杰知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 11603 | 代理人: | 于淼 |
| 地址: | 614802 四川省*** | 國省代碼: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 提純 拉制 方法 | ||
本發明屬于單晶硅制備技術領域,涉及一種提純棒的拉制方法。拉制方法包括將硅料混合物填裝到單晶爐內;將所述硅料混合物加熱融化為硅熔體;對所述硅熔體進行引晶、放肩、轉肩、等徑生長,之后收尾提斷并冷卻,取出晶棒的步驟;拉制方法所采用的的原料均為異常硅料混合物,其組分包括燜爐料、細粉等,通過對硅料混合物進行熔融、引晶、放肩、轉肩、等徑生長等步驟的處理,去除硅料中的雜質并形成了提純棒;所制備的提純棒經破碎后可以在拉制單晶硅棒時投爐使用,實現了異常硅料的再利用,大幅度的節約了硅料成本。
技術領域
本發明屬于單晶硅制備技術領域,尤其涉及一種提純棒的拉制方法。
背景技術
光伏發電具有清潔性、安全性、資源充足性等特點,單晶硅是太陽能電池的一種重要材料,其質量直接影響到半導體的質量以及太陽能電池產品的品質。
單晶硅棒是單晶硅的工業化產品之一,其是通過區熔或直拉工藝在爐膛中整形或提拉形成的;在單晶硅的生產過程中,會產生一些異常硅料,如燜爐料、單晶細粉料、多晶細粉料,這些異常硅料在單晶硅的制作過程中不能被直接應用,很多都會被報廢掉,或制作多晶鑄錠。
發明內容
在現有硅料供應需求緊張及價格逐步上漲的趨勢下,為了節約硅料,本發明提供一種提純棒的拉制方法。
本發明的技術解決方案如下:
一種提純棒的拉制方法,包括以下步驟:
將硅料混合物填裝到單晶爐內;所述硅料混合物包括單晶、燜爐料及多晶,或所述硅料混合物包括多晶、燜爐料、細粉及單晶,或所述硅料混合物包括多晶、細粉及燜爐料;
將所述硅料混合物加熱融化為硅熔體;
對所述硅熔體進行引晶、放肩、轉肩、等徑生長,之后收尾提斷并冷卻,取出晶棒。
可選的,在收尾提斷后進行冷卻時,先將單晶爐內的換熱器進行提升,使換熱器與晶棒底部的垂直距離增大,然后,再降低坩堝。
可選的,在收尾提斷后進行冷卻時,所述單晶爐內換熱器的下沿距離硅熔體液面的高度為250-350mm。
可選的,所述單晶爐內換熱器下端口的內徑d的取值范圍為x+80mm至x+110mm,其中x為晶棒的尺寸。
可選的,對所述硅熔體進行引晶、放肩、轉肩、等徑生長過程中,從等徑生長開始至等徑生長中期,所述單晶爐內換熱器的下沿距離硅熔體液面的高度從30±5mm縮短到18±3mm,從等徑生長中期到等徑生長結束,所述換熱器的下沿距離硅熔體液面的高度保持在18±3mm。
可選的,所述等徑階段的平均拉速為80mm/h。
可選的,所述單晶爐內硅料混合物的填裝包括正常循環段、即將完結段及完結段,在正常循環段,所述硅料混合物包括單晶、燜爐料及多晶;在即將完結段,所述硅料混合物包括多晶、燜爐料、細粉及單晶;在完結段,所述硅料混合物包括多晶、細粉及燜爐料。
可選的,在正常循環段,按重量份計,所述硅料混合物包括單晶57-63份、燜爐料27-33份、多晶10-15份。
可選的,在即將完結段,按重量份計,所述硅料混合物包括多晶10-16份、燜爐料30-36份、細粉10-16份、單晶40-46份。
可選的,在完結段,按重量份計,所述硅料混合物包括多晶17-23份、細粉57-63份及燜爐料17-23份。
與相關技術相比,本發明提供的提純棒的拉制方法,至少實現了如下的有益效果:
1、本發明所提供的提純棒的拉制方法,將異常硅料(燜爐料、單晶、多晶及細粉料)通過提純制作成提純棒;所制備的提純棒經破碎后可以在拉制單晶硅棒時投爐使用,實現了異常硅料的再利用,大幅度的節約了硅料成本。
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