[發(fā)明專利]一種阻抗匹配控制電路、方法及系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202310091896.8
• 申請(qǐng)日: 2023-02-10
• 公開（公告）號(hào): CN115800956B
• 公開（公告）日: 2023-04-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 樂(lè)衛(wèi)平;劉濤
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市恒運(yùn)昌真空技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): H03H11/28
• 分類號(hào): H03H11/28
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 44202
• 代理人: 陳舟苗

1.一種阻抗匹配控制電路，其特征在于，包括：阻抗匹配電路和控制子電路；

所述阻抗匹配電路包括一個(gè)或多個(gè)可變電感，所述一個(gè)或多個(gè)可變電感中每個(gè)可變電感包括回轉(zhuǎn)器和子電容，所述每個(gè)可變電感中回轉(zhuǎn)器的第一輸入端和第二輸入端分別作為所述每個(gè)可變電感的第一端和第二端，所述每個(gè)可變電感中回轉(zhuǎn)器的輸出端連接所述每個(gè)可變電感中子電容，用于將所述每個(gè)可變電感中子電容的電容值等效轉(zhuǎn)換為所述每個(gè)可變電感的第一端和第二端之間的電感值，所述一個(gè)可變電感的第一端和第二端分別連接電源和負(fù)載，或者，所述多個(gè)可變電感串聯(lián)后分別連接所述電源和所述負(fù)載，串聯(lián)的所述多個(gè)可變電感中任一個(gè)可變電感的第一端連接前一個(gè)可變電感的第二端，所述多個(gè)可變電感中第一個(gè)可變電感的第一端連接所述電源，所述多個(gè)可變電感中最后一個(gè)可變電感的第二端連接所述負(fù)載；

所述控制子電路分別連接所述每個(gè)可變電感的回轉(zhuǎn)器的控制端以及采樣電路的輸出端，或者，所述控制子電路分別連接所述每個(gè)可變電感的子電容的控制端以及所述采樣電路的輸出端；所述采樣電路的輸入端連接于所述負(fù)載和第一可變電感的第二端之間，所述第一可變電感為所述一個(gè)或多個(gè)可變電感中與所述負(fù)載連接的可變電感；

所述控制子電路用于根據(jù)所述采樣電路采樣得到的采樣電信號(hào)和阻抗匹配狀態(tài)對(duì)應(yīng)的目標(biāo)電感參數(shù)，確定所述一個(gè)或多個(gè)可變電感對(duì)應(yīng)的匹配電感參數(shù)，以及用于根據(jù)所述匹配電感參數(shù)調(diào)整所述每個(gè)可變電感的回轉(zhuǎn)器的電容電感轉(zhuǎn)換系數(shù)，或者，根據(jù)所述匹配電感參數(shù)調(diào)整所述每個(gè)可變電感的子電容的電容值，以使得所述一個(gè)或多個(gè)可變電感和所述負(fù)載整體的電感參數(shù)為所述目標(biāo)電感參數(shù)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的阻抗匹配控制電路，其特征在于，在所述根據(jù)所述采樣電路采樣得到的采樣電信號(hào)和阻抗匹配狀態(tài)對(duì)應(yīng)的目標(biāo)電感參數(shù)，確定所述一個(gè)或多個(gè)可變電感對(duì)應(yīng)的匹配電感參數(shù)方面，所述控制子電路具體用于：根據(jù)所述采樣電信號(hào)確定采樣電感值；計(jì)算所述采樣電感值與目標(biāo)電感參數(shù)的電感差值作為所述匹配電感參數(shù)；

在所述根據(jù)所述匹配電感參數(shù)調(diào)整所述每個(gè)可變電感的回轉(zhuǎn)器的電容電感轉(zhuǎn)換系數(shù)方面，所述控制子電路具體用于：調(diào)整所述每個(gè)可變電感的回轉(zhuǎn)器的電容電感轉(zhuǎn)換系數(shù)，以使得所述一個(gè)或多個(gè)可變電感的電感總值為所述匹配電感參數(shù)；

在所述根據(jù)所述匹配電感參數(shù)調(diào)整所述每個(gè)可變電感的子電容的電容值方面，所述控制子電路具體用于：調(diào)整所述每個(gè)可變電感的子電容的電容值，以使得所述一個(gè)或多個(gè)可變電感的電感總值為所述匹配電感參數(shù)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的阻抗匹配控制電路，其特征在于，所述多個(gè)可變電感包括：第二可變電感和第三可變電感，所述第二可變電感包括第一子電容，所述第三可變電感包括第二子電容，所述第一子電容的電容值調(diào)節(jié)范圍的最小值和所述第二子電容的電容值調(diào)節(jié)范圍的最小值不相同，在所述調(diào)整所述每個(gè)可變電感的子電容的電容值，以使得所述一個(gè)或多個(gè)可變電感的電感總值為所述匹配電感參數(shù)方面，所述控制子電路具體用于：

將所述匹配電感參數(shù)拆分為多個(gè)量級(jí)不同的電感調(diào)節(jié)值；從所述多個(gè)可變電感中確定出與所述多個(gè)電感調(diào)節(jié)值一一對(duì)應(yīng)的多個(gè)目標(biāo)可變電感，其中，每個(gè)目標(biāo)可變電感中子電容的電容值調(diào)節(jié)范圍的最小值越大，所述每個(gè)目標(biāo)可變電感對(duì)應(yīng)的電感調(diào)節(jié)值的量級(jí)越大；調(diào)整所述多個(gè)目標(biāo)可變電感內(nèi)子電容的電容值，以使得每個(gè)所述目標(biāo)可變電感的電感值為所述目標(biāo)可變電感對(duì)應(yīng)的電感調(diào)節(jié)值。