[發明專利]一種全自動真空校準系統及方法

在審

• 申請號: 202310089326.5
• 申請日: 2023-01-29
• 公開（公告）號: CN116007842A
• 公開（公告）日: 2023-04-25
• 發明（設計）人: 孫惠敏;席京彬;吳志軍;王鋒;鮑學斌;何婷婷;周振德;楊強強;張振魯;王琛;邢校萄;潘曉亮
• 申請（專利權）人: 華能核能技術研究院有限公司
• 主分類號: G01L27/00
• 分類號: G01L27/00
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201
• 代理人: 曲進華

本發明提出一種全自動真空校準系統及方法，該系統包括：機械泵和充氣罐；機械泵出口連接分子篩，分子篩出口端通過第一電磁隔斷閥連接分子泵，分子篩出口端通過一電動可調開度蝶閥連接至校準腔室，出口端通過第二電磁隔斷閥連接至校準腔室；充氣罐連接一減壓閥的入口端，減壓閥的出口端通過第三電磁隔斷閥連接至校準腔室；設置至少一個標準真空計，每一標準真空計通過一第四電磁隔斷閥連接至校準腔室；設置至少一個被校真空計安裝位，用于安裝被校正的真空計；每一被校真空計安裝位在安裝被校真空計后，每一被校真空計同通過一第五電磁隔斷閥連接校準腔室。通過本發明，能夠實現被校真空表的自動校準，解決真空校準裝置無法自動校準的問題。

技術領域

本發明涉及真空校準技術領域，尤其涉及一種全自動真空校準系統及方法。

背景技術

真空技術在航空航天、芯片制造、電子器件制造、冶金等行業得到了廣泛的應用，而真空校準包含了真空獲得、真空測量、真空漏率計算等多種真空技術，是檢查和修正真空類儀表精度的重要手段。

目前，真空類儀表的校準工作主要是在計量實驗室完成，并且，由于真空度的建立需要很精確的控制，因此真空校準裝置通常需要人工手動完成不同真空度的調整，因此實現真空校準裝置全自動校準能夠方便用戶使用并簡化用戶操作難度。

發明內容

本發明提供一種全自動真空校準系統及方法，旨在解決真空校準裝置需要人工手動完成校準而無法全自動校準的問題。

為此，本發明的第一個目的在于提出一種全自動真空校準系統，包括：

機械泵和充氣罐；

機械泵出口連接分子篩，分子篩出口端通過第一電磁隔斷閥連接分子泵，分子篩出口端通過一電動可調開度蝶閥連接至校準腔室，出口端通過第二電磁隔斷閥連接至校準腔室；

充氣罐連接一減壓閥的入口端，減壓閥的出口端通過第三電磁隔斷閥連接至校準腔室；

設置至少一個標準真空計，每一標準真空計通過一第四電磁隔斷閥連接至校準腔室；

設置至少一個被校真空計安裝位，用于安裝被校正的真空計；每一被校真空計安裝位在安裝被校真空計后，每一被校真空計同通過一第五電磁隔斷閥連接校準腔室。

其中，減壓閥的出口端和第三電磁隔斷閥連接的路徑上設置一質量流量控制器。

其中，機械泵用于創建初始的真空環境，要求極限真空為10Pa以內；分子篩利用高速旋轉的轉子，將動量傳輸至氣體分子，以使氣體分子獲得定向速度而被壓縮。

其中，分子篩出口端通過電動可調開度蝶閥連接至校準腔室，形成分子泵的旁路路徑；設置旁路路徑，以使機械泵直接連接校準腔室，以控制校準腔室穩定在設定的高真空點進行校準。

其中，充氣罐內充有氮氣，用于為真空的校準腔室升壓，充氣罐出口設置減壓閥，減壓閥出口連接質量流量控制器，用于控制充氣罐的充氣量。

其中，質量流量控制器的出口端設置第三電磁截止閥，第三電磁截止閥連接校準腔室，用于實現質量流量控制器與真空校準腔室的隔離。

其中，校準腔室采用不銹鋼或其他合金制作，校準腔室的形狀選擇球體狀或其他形狀，校準腔室的大小根據極限真空度及校準精度來確定。

其中，設置一控制系統，控制系統用于采集所有電磁隔斷閥的狀態信號，控制機械泵、分子泵的啟停，控制減壓閥的開度以及被校真空計狀態判定及結果分析。

其中，控制系統包括一觸摸屏，用于顯示閥門開閉情況和開度，同時顯示各設備工作情況。

本發明的第二個目的在于提出一種全自動真空校準方法，包括：