[發(fā)明專利]一種正性光敏性樹脂組合物及其制備方法與應(yīng)用

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202310083992.8
• 申請日: 2023-01-18
• 公開（公告）號: CN116068852B
• 公開（公告）日: 2023-07-14
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 豆秀麗;賈斌;路延東;馮云云;王偉;王奇;李濤
• 申請（專利權(quán)）人: 明士（北京）新材料開發(fā)有限公司
• 主分類號: G03F7/004
• 分類號: G03F7/004;G03F7/00;G03F7/039;H01L21/027
• 代理公司: 北京紀凱知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11245
• 代理人: 董媛

1.一種正性光敏性樹脂組合物，包括如下組分：

正性光敏性樹脂100份；光致產(chǎn)酸劑5～40份；熱交聯(lián)劑1～30份；助粘劑1～30份；顯影抑制劑1～30份；有機溶劑100～1000份；

所述正性光敏性樹脂由芳香族二酸或其衍生物與含酚羥基芳香族二胺，或芳香族二酸或其衍生物、含酚羥基芳香族二胺與含硅二胺經(jīng)縮聚反應(yīng)得到；所述縮聚反應(yīng)在分子量調(diào)節(jié)劑存在的條件下進行；

所述助粘劑由含活潑環(huán)氧基團的偶聯(lián)劑鈍化所得；

所述含活潑環(huán)氧基團的偶聯(lián)劑選自γ-縮水甘油醚氧基丙基三甲氧基硅烷、γ-縮水甘油醚氧基丙基三乙氧基硅烷、2-(3,4-環(huán)氧環(huán)己烷)乙基三甲氧基硅烷、2-(3,4-環(huán)氧環(huán)己烷)乙基三乙氧基硅烷、5,6-環(huán)氧己基三乙氧基硅烷、3-縮水甘油醚氧基丙基甲基二乙氧基硅烷、3-[(2,3)-環(huán)氧丙氧]丙基甲基二甲氧基硅烷、(3-環(huán)氧丙氧基丙基)二甲基乙氧基硅烷、環(huán)氧丁基三甲氧基硅烷和環(huán)氧丁基三乙氧基硅烷中的至少一種；

所述鈍化使用的鈍化劑選自N-氨基嗎啉、N,N-二乙基乙二胺、N-氨乙基哌嗪、N-甲基乙二胺、巰基乙胺、2-氨基-4,5-二氫噻唑-4-酮、2-(乙硫基)乙胺、2-(硫代甲基)乙胺、3-甲基硫代丙胺、2-(硫代叔丁基)乙胺、4-(2-胺乙基)硫代嗎啉和(2-嗎啉-4-乙基)-肼和4-甲基-1-哌嗪乙胺中的至少一種。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的正性光敏性樹脂組合物，其特征在于：所述芳香族二酸或其衍生物選自二苯醚二甲酰氯、間苯二甲酰氯、對苯二甲酰氯、聯(lián)苯二甲酰氯、二苯砜二甲酰氯、二苯基甲烷二甲酰氯和二苯酮二甲酰氯中的至少一種；

所述含酚羥基芳香族二胺選自2,2-雙(3-氨基-4-羥苯基)六氟丙烷、2,2-雙(4-氨基-3-羥苯基)六氟丙烷、3,3'-二氨基-4,4'-二羥基二苯砜、2,2-雙(3-氨基-4-羥苯基)丙烷、雙(3-氨基-4-羥基苯基)甲烷、3,3'-二氨基-4,4'-二羥基二苯醚、4,4'-二氨基-3,3'-二羥基二苯醚、雙(3-氨基-4-羥基)聯(lián)苯、雙(3-氨基-4-羥基苯基)芴、3,3'-二氨基-4,4'-二羥基二苯甲酮、4,4'-二氨基-3,3'-二羥基二苯甲酮、1,4-二氨基-2,5二羥基苯、1,3-二氨基-2,4二羥基苯和1,3-二氨基-4,6二羥基苯中的至少一種；

所述含硅二胺選自1,3-二(3-氨基丙基)-1,1,3,3-四甲基二硅氧烷、1,3-二(4-氨基丁基)-1,1,3,3-四甲基二硅氧烷、1,3-二(2-氨基乙基)-1,1-二甲基-3,3-二乙基-二硅氧烷、1,5-二(2-氨基乙基)-1,1,3,3,5,5-六甲基三硅氧烷、1,5-二(3-氨基丙基)-1,1,3,3,5,5-六甲基三硅氧烷、1-氨基丙基-5-氨基乙基-1,1,3,3,5,5-六甲基三硅氧烷、1,7-二(2-氨基乙基)-1,1,3,3,5,5,7,7-八甲基四硅氧烷、1,3-二(3-氨基苯基)-1,1,3,3-四甲基二硅氧烷、1,3-二(4-氨基苯基)-1,1,3,3-四甲基二硅氧烷和1,3-二(3-氨基丙基)-1,3-二甲基-1,3-二苯基二硅氧烷中的至少一種；

所述分子量調(diào)節(jié)劑選自馬來酸酐、降冰片烯二酸酐、甲基降冰片烯二酸酐、4-乙炔基鄰苯二甲酸酐、4-苯乙炔苯酐、4-乙烯基苯胺、降冰片烯胺、烯丙胺、4-乙炔基苯胺、3-乙炔基苯胺、3-苯基乙炔基苯胺、4-苯基乙炔基苯胺、4-(4-氨基苯乙炔基)苯乙炔、4-[(三甲基硅基)-乙炔基]苯胺、4-(4-氨基-苯基)-2-甲基-丁-3炔-2-醇、(E)-3-氨基肉桂酸和炔丙胺中的至少一種。