[發明專利]一種鈣鈦礦太陽能電池及其制備方法在審
| 申請號： | 202310065824.6 | 申請日： | 2023-01-16 |
| 公開（公告）號： | CN116075163A | 公開（公告）日： | 2023-05-05 |
| 發明（設計）人： | 孫志剛;鎖真陽;邵君;王學雷 | 申請（專利權）人： | 無錫極電光能科技有限公司 |
| 主分類號： | H10K30/50 | 分類號： | H10K30/50;C23C14/35;C23C14/08;C23C14/54;H10K30/15;H10K71/00 |
| 代理公司： | 北京三聚陽光知識產權代理有限公司 11250 | 代理人： | 趙永麗 |
| 地址： | 214000 江蘇省無錫*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 鈣鈦礦 太陽能電池 及其 制備 方法 | ||
1.一種鈣鈦礦太陽能電池的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：
提供襯底；
在所述襯底的一側表面形成第一電極層；
采用磁控濺射工藝在所述第一電極層背離所述襯底的一側表面形成NiOx層，靶材為氧化鎳靶材，在磁控濺射過程中向磁控濺射腔室通入氧氣，氧氣的流量為4.5sccm～15sccm，氧氣的溫度為100℃～140℃。
2.根據權利要求1所述的鈣鈦礦太陽能電池的制備方法，其特征在于，在磁控濺射過程中，向所述磁控濺射腔室內通入反應氣體，所述反應氣體包括惰性氣體和所述氧氣，所述反應氣體中氧氣的比例為1.5％～3％。
3.根據權利要求1所述的鈣鈦礦太陽能電池的制備方法，其特征在于，還包括：對所述磁控濺射腔室進行加熱，至所述磁控濺射腔室的溫度為100℃～140℃。
4.根據權利要求3所述的鈣鈦礦太陽能電池的制備方法，其特征在于，所述磁控濺射腔室的溫度與所述氧氣的溫度相同。
5.根據權利要求1至4任一項所述的鈣鈦礦太陽能電池的制備方法，其特征在于，在磁控濺射過程中，所述磁控濺射腔室的氣壓為0.5Pa～0.8Pa；在向所述磁控濺射腔室通入氣體之前，所述磁控濺射腔室的真空度不超過3×10-3Pa。
6.根據權利要求1至4任一項所述的鈣鈦礦太陽能電池的制備方法，其特征在于，在磁控濺射過程中，所述NiOx層的沉積速率為
7.根據權利要求6所述的鈣鈦礦太陽能電池的制備方法，其特征在于，在磁控濺射過程中，濺射功率為700W～1000W。
8.根據權利要求1至4任一項所述的鈣鈦礦太陽能電池的制備方法，其特征在于，還包括：
在所述NiOx層背離所述襯底的一側表面形成光吸收層；
在所述光吸收層背離所述襯底的一側表面形成電子傳輸層；
在所述電子傳輸層背離所述襯底的一側表面形成空穴阻擋層；
在所述空穴阻擋層背離所述襯底的一側表面形成第二電極層。
9.一種鈣鈦礦太陽能電池，其特征在于，采用權利要求1至8任一項所述的鈣鈦礦太陽能電池的制備方法制備。
10.根據權利要求9所述的鈣鈦礦太陽能電池，其特征在于，所述NiOx層中Ni3+的摩爾量占鎳元素總摩爾量的49％～75％；
優選的，所述NiOx層的厚度為8nm～25nm。
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