[發明專利]一種可調長度的射頻電纜網絡陣列

在審

• 申請號: 202310060213.2
• 申請日: 2023-01-17
• 公開（公告）號: CN116093686A
• 公開（公告）日: 2023-05-09
• 發明（設計）人: 王雄
• 申請（專利權）人: 盛吉盛半導體科技（北京）有限公司
• 主分類號: H01R29/00
• 分類號: H01R29/00;H01R31/06;H01R13/70;H05H1/24
• 代理公司: 北京申翔知識產權代理有限公司 11214
• 代理人: 趙景煥

本發明提供了一種可調長度的射頻電纜網絡陣列，其屬于電感耦合等離子技術領域，其連接于射頻電源和射頻匹配器之間，其包括柵格單元，柵格單元包括至少三個射頻電纜；柵格單元中任意相鄰的兩個射頻電纜相互連接；射頻電纜包括電纜本體以及設置于電纜本體上的多個公接頭、多個母接頭和控制器，控制器用于控制電纜本體的連通或斷開；通過斷開或閉合控制器以調節連接于射頻電源和射頻匹配器之間的射頻電纜長度。本發明通過在電纜本體上設置多個公接頭、多個母接頭以及控制器，并通過控制器的斷開或閉合來調節多個射頻電纜構成的可調長度的射頻電纜網絡陣列在射頻電源和射頻匹配器之間射頻電纜長度，從而實現了無需重新更換不同長度的射頻電纜即可更改總長度的效果。

技術領域

本發明屬于電感耦合等離子技術領域，尤其涉及一種可調長度的射頻電纜網絡陣列。

背景技術

ICP（Inductive?Coupled?Plasma?，電感耦合等離子）裝置常用于產生等離子體。ICP裝置通常包括射頻電源、射頻電纜、射頻匹配器、射頻線圈和機臺腔室等部分。在使用ICP裝置產生等離子體的過程中，一般使用射頻電纜連接射頻電源和射頻匹配器，將射頻電源產生的射頻能量通過射頻電纜傳輸和射頻匹配器匹配后傳輸到射頻線圈上，通過電磁感應在機臺腔室的氣體中產生等離子體。

其中，在脈沖模式下，射頻匹配器的匹配能力和射頻電纜的長度有密切聯系，因此，在使用脈沖模式匹配的情況下，通常采用改變射頻電纜長度的方式，來提高射頻匹配器的匹配能力使反射功率最小。但是在實際工藝過程中，發現每個不同品牌的射頻電源其最佳射頻電纜長度不同，且同一品牌射頻電源每臺之間對應的射頻電纜長度也有差別，想實時改變射頻電纜長度是不現實的，這需要準備很多長度不同的射頻電纜。此外，現有射頻電纜長度是固定的，包括射頻電纜接頭1和射頻電纜2，如圖1所示，在使用ICP裝置做等離子體加工晶片的工藝時，當射頻電源輸出脈沖功率時，由于射頻電纜長度是固定，自動射頻匹配器往往無法匹配到最小的反射功率，從而影響工藝效果。

發明內容

基于現有技術存在的問題，本發明提供了一種可調長度的射頻電纜網絡陣列，以解決無法實時改變射頻電纜長度，快速匹配到最小反射功率的技術問題。

為了實現上述目的，本發明提出一種可調長度的射頻電纜網絡陣列，可調長度的射頻電纜網絡陣列通過在電纜本體上設置多個公接頭、多個母接頭以及控制器，并通過控制器的斷開或閉合來調節多個射頻電纜構成的可調長度的射頻電纜網絡陣列在射頻電源和射頻匹配器之間射頻電纜長度；可調長度的射頻電纜網絡陣列連接于射頻電源和射頻匹配器之間，可調長度的射頻電纜網絡陣列包括柵格單元，柵格單元包括至少三個射頻電纜；柵格單元中任意相鄰的兩個射頻電纜相互連接；射頻電纜包括電纜本體以及設置于電纜本體上的多個公接頭、多個母接頭和控制器，控制器用于控制電纜本體的連通或斷開；通過斷開或閉合控制器以調節連接于射頻電源和射頻匹配器之間的射頻電纜長度。

優選地，射頻電纜上的公接頭和母接頭的數量相同。

優選地，射頻電纜上的公接頭和母接頭分別為兩個，電纜本體具有相間隔設置的一端和另一端，電纜本體的一端和另一端分別設置一公接頭和一母接頭，電纜本體的一端和另一端之間設置另一個公接頭和另一母接頭。

優選地，控制器為繼電器開關。

優選地，射頻電纜的長度≤λ/8，其中，λ為射頻電源發射的射頻信號的波長。

優選地，可調長度的射頻電纜網絡陣列中，各射頻電纜的長度相同。

優選地，柵格單元的數量為多個，多個柵格單元呈陣列排布以形成可調長度的射頻電纜網絡陣列陣列，其中，相鄰的兩個柵格單元相互連接，各柵格單元的形狀相同。

優選地，多個柵格單元沿同一方向延伸設置以形成行或列。

優選地，多個柵格單元形成的行或列中，位于行或列的其中一個端部的射頻電纜連接于射頻電源和射頻匹配器之間。