[發明專利]一種橢偏測量校正方法及裝置

在審

• 申請號: 202310057477.2
• 申請日: 2023-01-20
• 公開（公告）號: CN116203805A
• 公開（公告）日: 2023-06-02
• 發明（設計）人: 莊源;楊翼
• 申請（專利權）人: 睿勵科學儀器（上海）有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G02B27/00
• 代理公司: 上海伯瑞杰知識產權代理有限公司 31227
• 代理人: 孟旭彤

1.一種橢偏測量校正方法，其特征在于，

在橢偏測量中，當光學元件的出射光具有部分偏振和/或窄橢偏特征時，對擬合得到的傅里葉系數α_f和β_f進行校正，獲得校正后的α_m和β_m。

2.根據權利要求1所述的橢偏測量校正方法，其特征在于，所述光學元件包括起偏器或檢偏器。

3.根據權利要求2所述的橢偏測量校正方法，其特征在于，

當起偏器的出射光為部分偏振光，校正后的α_m和β_m為，

其中，

p為起偏器Mueller矩陣中偏振度參數，

P’為起偏器測量角度，

或者，

如果已知測量的α_m和β_m，則擬合的α_f和β_f可由下式計算：

其中，

a＝4cos(P')⁴p-4cos(P')²p+p-1

b＝2(p-1)cos(P')²-p+1

c＝b

d＝4p·cos(P')⁴+4p·cos(P')²+p-1????(7)。

4.根據權利要求2所述的橢偏測量校正方法，其特征在于，當起偏器的出射光具有窄橢偏特征，校正后的α_m和β_m為，

其中，

c＝cosΔ???????????????????????????(14)

d＝-a²b²α²-α²b⁴+a²b²+b⁴-b²c²????(15)

γ_P為橢偏參數，

p為起偏器Mueller矩陣中偏振度參數，

P’為起偏器測量角度，

或者，

如果已知測量的α_m和β_m，則擬合的α_f和β_f可由下式計算：

其中，

5.根據權利要求2所述的橢偏測量校正方法，其特征在于，當檢偏器的出射光為部分偏振光，校正后的α_m和β_m為，

α_m＝pα_f??????(23)

β_m＝pβ_f??????(24)

其中，p為檢偏器Mueller矩陣中偏振度參數，

或者，

如果已知測量的α_m和β_m，則擬合的α_f和β_f可由下式計算校正：

6.根據權利要求2所述的橢偏測量校正方法，其特征在于，

當檢偏器的出射光具有窄橢偏特征，校正后的α_m和β_m為，

其中，

或者，

如果已知測量α_m和β_m，則擬合α_f和β_f可由下式計算校正：