[發(fā)明專利]一種基于貼膜機(jī)的多膜切換控制方法、系統(tǒng)及結(jié)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202310056124.0
• 申請日: 2023-01-18
• 公開（公告）號: CN116053167B
• 公開（公告）日: 2023-08-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳平陽;張力夫;林文富;談益強(qiáng)
• 申請（專利權(quán)）人: 浙江露語爾半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;G05B19/04
• 代理公司: 杭州杭誠專利事務(wù)所有限公司 33109
• 代理人: 丁昱

1.一種基于貼膜機(jī)的多膜切換控制方法，其特征在于，所述方法包括：

將所需膠膜固定在工作區(qū)的送膜履帶夾爪機(jī)構(gòu)上；

將需更換的膠膜固定在換料區(qū)的夾爪機(jī)構(gòu)上；

基于設(shè)置好的晶圓批號順序，對晶圓貼膜；

使用中的膠膜，剩下的余料低于設(shè)定值，自動(dòng)固定切斷；

更換不同規(guī)格膠膜，送膜履帶自動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)出新的膠膜，即舊膜傳動(dòng)到換料區(qū)，換料區(qū)的新膜則傳動(dòng)到工作區(qū)；

更換不同種類膠膜，送膜履帶自動(dòng)平行移動(dòng)，帶動(dòng)出新的送膜履帶，即工作區(qū)的送膜履帶水平方向上平行移動(dòng)，更換固定著不同種類膠膜的送膜履帶；

新舊膠膜重合定位識(shí)別后，貼膠帶機(jī)構(gòu)自動(dòng)將二段膠膜通過膠帶貼合，切換完成。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于貼膜機(jī)的多膜切換控制方法，其特征在于，

所述基于設(shè)置好的晶圓批號批次貼膜之前，還包括以下步驟：

在機(jī)臺(tái)晶圓裝載系統(tǒng)中選擇所需晶圓批號；

貼膜機(jī)臺(tái)讀取晶圓批號；

貼膜機(jī)自動(dòng)打開晶圓盒；

貼膜機(jī)掃描晶圓盒，判斷與設(shè)置的晶圓批號是否一致；

其中，所述膠膜上有條碼編號可以掃描。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于貼膜機(jī)的多膜切換控制方法，其特征在于，

所述換料區(qū)與工作區(qū)隔開，履帶的運(yùn)輸順序是工作區(qū)到換料區(qū)再到工作區(qū)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基于貼膜機(jī)的多膜切換控制方法，其特征在于，

所述換料區(qū)在更新膠膜時(shí)，膠膜被夾爪機(jī)構(gòu)固定在夾爪上，履帶轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，夾爪機(jī)構(gòu)帶出新卷軸的膠膜，定位完成后，夾爪機(jī)構(gòu)自動(dòng)斷開。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基于貼膜機(jī)的多膜切換控制方法，其特征在于，

所述對晶圓貼膜完成之后，還包括以下步驟：

貼膜機(jī)關(guān)閉晶圓盒；

貼膜機(jī)臺(tái)上傳此次貼膜運(yùn)行資料到資料庫。

6.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3或4所述的基于貼膜機(jī)的多膜切換控制方法，其特征在于，所述送膜履帶的定位方法是，定位機(jī)構(gòu)通過定位傳感器與直接驅(qū)動(dòng)電機(jī)相互配合，對晶圓盒進(jìn)行定位。

7.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3或4所述的基于貼膜機(jī)的多膜切換控制方法，其特征在于，所述送膜履帶對切割產(chǎn)生的膠膜余料進(jìn)行回收處理。

8.一種基于貼膜機(jī)的多膜切換控制系統(tǒng)，應(yīng)用如權(quán)利要求1-7所述方法，其特征在于，所述系統(tǒng)包括：

工作模塊，其包括送膜履帶和膠膜的切割機(jī)構(gòu)，用于對晶圓貼膜；

所述送膜履帶是豎直履帶結(jié)構(gòu)，固定于貼膜機(jī)切割機(jī)構(gòu)正面；

換料模塊，其包括夾爪機(jī)構(gòu)，用于固定膜；還包括貼膠帶機(jī)構(gòu)，用于換膜之后新膠膜與舊膠膜的粘連；

預(yù)設(shè)模塊，用于預(yù)先設(shè)置要貼晶圓膜的批號。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的基于貼膜機(jī)的多膜切換控制系統(tǒng)，其特征在于，

所述送膜履帶在水平平行于切割機(jī)構(gòu)的方向上設(shè)置N組；

所述工作模塊設(shè)置有余料傳感器，用于檢測膠膜余料的值。

10.一種貼膜機(jī)控制結(jié)構(gòu)，包括中央控制器與數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器，其特征在于：

所述的數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器中可以存儲(chǔ)所述晶圓選擇與膠膜預(yù)設(shè)的程序代碼，數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器中包括存儲(chǔ)貼膜運(yùn)行資料的資料庫；

所述的中央控制器與數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器連接；

所述中央控制器通過讀取所述數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器中存儲(chǔ)的可執(zhí)行程序代碼來運(yùn)行與所述可執(zhí)行程序代碼對應(yīng)的程序，以用于執(zhí)行如權(quán)利要求1-7任一項(xiàng)所述方法的步驟。