[發(fā)明專利]一種射頻電源的智能控制方法及系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202310049423.1
• 申請(qǐng)日: 2023-02-01
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN116243636B
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-10-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 朱培文;尹巧星
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇神州半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號(hào): G05B19/042
• 分類號(hào): G05B19/042;H02M1/36;H02M1/32;H02M1/00
• 代理公司: 南京源點(diǎn)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32545
• 代理人: 黃啟兵

1.一種射頻電源的智能控制方法，其特征在于，包括：

獲得反饋量檢測(cè)模塊，并通過(guò)所述反饋量檢測(cè)模塊得到目標(biāo)射頻電源的目標(biāo)同步信號(hào)；

對(duì)所述目標(biāo)同步信號(hào)進(jìn)行分析，并根據(jù)分析結(jié)果判斷所述目標(biāo)射頻電源是否達(dá)到預(yù)設(shè)狀態(tài)要求；

若是，調(diào)用預(yù)設(shè)控制方案，并提取所述預(yù)設(shè)控制方案中的第一預(yù)設(shè)控制方案，對(duì)目標(biāo)晶閘管進(jìn)行啟動(dòng)控制，得到穩(wěn)步上升電壓；

若所述穩(wěn)步上升電壓達(dá)到預(yù)設(shè)額定電壓，提取所述預(yù)設(shè)控制方案中的第二預(yù)設(shè)控制方案；

基于所述第二預(yù)設(shè)控制方案對(duì)目標(biāo)電流進(jìn)行啟動(dòng)控制，得到電流控制結(jié)果；

根據(jù)所述電流控制結(jié)果確定目標(biāo)觸發(fā)電路，并對(duì)所述目標(biāo)觸發(fā)電路進(jìn)行預(yù)處理，得到目標(biāo)觸發(fā)電路預(yù)處理結(jié)果；

基于所述目標(biāo)觸發(fā)電路預(yù)處理結(jié)果對(duì)所述目標(biāo)射頻電源進(jìn)行啟動(dòng)控制。

2.如權(quán)利要求1所述的智能控制方法，其特征在于，所述對(duì)所述目標(biāo)同步信號(hào)進(jìn)行分析，并根據(jù)分析結(jié)果判斷所述目標(biāo)射頻電源是否達(dá)到預(yù)設(shè)狀態(tài)要求，包括：

基于所述目標(biāo)同步信號(hào)，得到目標(biāo)信號(hào)時(shí)序；

對(duì)所述目標(biāo)信號(hào)時(shí)序進(jìn)行篩選，得到目標(biāo)信號(hào)數(shù)據(jù)組；

構(gòu)建同步信號(hào)支持向量機(jī)，并將所述目標(biāo)信號(hào)數(shù)據(jù)組輸入所述同步信號(hào)支持向量機(jī)，得到目標(biāo)輸出結(jié)果；

基于所述目標(biāo)輸出結(jié)果判斷所述目標(biāo)射頻電源是否達(dá)到預(yù)設(shè)狀態(tài)要求。

3.如權(quán)利要求2所述的智能控制方法，其特征在于，所述構(gòu)建同步信號(hào)支持向量機(jī)，包括：

獲得歷史同步信號(hào)時(shí)序；

對(duì)所述歷史同步信號(hào)時(shí)序進(jìn)行篩選，得到歷史信號(hào)數(shù)據(jù)組；

提取所述歷史信號(hào)數(shù)據(jù)組中的第一歷史信號(hào)數(shù)據(jù)，并對(duì)所述第一歷史信號(hào)數(shù)據(jù)進(jìn)行分析，得到第一狀態(tài)標(biāo)簽；

基于所述第一狀態(tài)標(biāo)簽得到歷史狀態(tài)標(biāo)簽組，其中，所述歷史狀態(tài)標(biāo)簽組與所述歷史信號(hào)數(shù)據(jù)組一一對(duì)應(yīng)；

將所述歷史狀態(tài)標(biāo)簽組與所述歷史信號(hào)數(shù)據(jù)組進(jìn)行組合，得到訓(xùn)練數(shù)據(jù)；

基于所述訓(xùn)練數(shù)據(jù)構(gòu)建所述同步信號(hào)支持向量機(jī)。

4.如權(quán)利要求2所述的智能控制方法，其特征在于，所述對(duì)所述目標(biāo)信號(hào)時(shí)序進(jìn)行篩選，得到目標(biāo)信號(hào)數(shù)據(jù)組，包括：

獲得信號(hào)篩選處理器，其中，所述信號(hào)篩選處理器包括第一篩選層、第二篩選層；

通過(guò)所述第一篩選層對(duì)所述目標(biāo)信號(hào)時(shí)序進(jìn)行篩選，得到第一篩選結(jié)果；

提取所述第二篩選層中的預(yù)設(shè)跳格方案，并基于所述預(yù)設(shè)跳格方案對(duì)所述第一篩選結(jié)果進(jìn)行二次篩選，得到第二篩選結(jié)果；

將所述第二篩選結(jié)果作為所述目標(biāo)信號(hào)數(shù)據(jù)組。

5.如權(quán)利要求4所述的智能控制方法，其特征在于，所述通過(guò)所述第一篩選層對(duì)所述目標(biāo)信號(hào)時(shí)序進(jìn)行篩選，得到第一篩選結(jié)果，包括：

提取所述目標(biāo)信號(hào)時(shí)序中的第一信號(hào)，其中，所述第一信號(hào)具備第一時(shí)序特征；

基于所述第一時(shí)序特征，確定第一相鄰時(shí)序、第二相鄰時(shí)序；

依次匹配所述第一相鄰時(shí)序的第一相鄰信號(hào)、所述第二相鄰時(shí)序的第二相鄰信號(hào)；

基于所述第一相鄰信號(hào)與所述第一信號(hào)，計(jì)算得到第一相鄰信號(hào)差，基于所述第二相鄰信號(hào)與所述第一信號(hào)，計(jì)算得到第二相鄰信號(hào)差；

判斷所述第一相鄰信號(hào)差和所述第二相鄰信號(hào)差是否滿足預(yù)設(shè)信號(hào)差閾值；

若不滿足，將所述第一信號(hào)添加至所述第一篩選結(jié)果。

6.如權(quán)利要求1所述的智能控制方法，其特征在于，所述根據(jù)所述電流控制結(jié)果確定目標(biāo)觸發(fā)電路，并對(duì)所述目標(biāo)觸發(fā)電路進(jìn)行預(yù)處理，得到目標(biāo)觸發(fā)電路預(yù)處理結(jié)果，包括：

獲得脈沖變壓器，其中，所述脈沖變壓器包括晶體管、穩(wěn)壓管、二極管；

通過(guò)所述晶體管、所述穩(wěn)壓管和所述二極管對(duì)所述目標(biāo)觸發(fā)電路進(jìn)行隔離處理，得到所述目標(biāo)觸發(fā)電路預(yù)處理結(jié)果。