[發(fā)明專利]一種強(qiáng)韌、抗硫化的鍵合銀絲及其制備工藝

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202310047022.2
• 申請日: 2023-01-31
• 公開（公告）號: CN116103534A
• 公開（公告）日: 2023-05-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周鋼
• 申請（專利權(quán)）人: 廣東佳博電子科技有限公司
• 主分類號: C22C5/06
• 分類號: C22C5/06;C22C1/02;B21C37/04;C22F1/14;C21D9/52;C23C22/58;H01L23/49
• 代理公司: 廣州專理知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44493
• 代理人: 曲超

1.一種強(qiáng)韌、抗硫化的鍵合銀絲的制備工藝，其特征在于，包括如下步驟：

1)原材料預(yù)處理：將所用金屬材料采用無水乙醇進(jìn)行超聲波清洗并真空干燥；

2)材料熔鑄：在氮?dú)夥諊?，將金屬銀、鉑、鎳、錳和鈷混合進(jìn)行真空熔煉，溫度為1800～1900℃并熔煉15～20min，之后降溫至1000～1100℃，再摻進(jìn)金屬鈣、鎂、鈰和鉍，進(jìn)行真空熔煉30～40min和連鑄得到直徑為1～3mm銀基母線；

3)粗拉絲：將銀基母線于650～700℃下進(jìn)行粗拉絲得到0.08～0.12mm的鍵合銀絲；

4)表面鈍化處理：鍵合銀絲冷卻、清洗、烘干之后，表面均勻噴涂鈍化液；

所述鈍化液由包括硼氫化鈉、蘋果酸以及氯化鈀組成的水溶液；

5)細(xì)拉絲；

6)精細(xì)拉絲；

7)退火以及表面鈍化處理：經(jīng)精細(xì)拉絲之后的鍵合銀絲于500～550℃下退火3～5h，退火之后的鍵合銀絲表面均勻噴涂上述鈍化液，之后進(jìn)行真空干燥即得到鍵合銀絲產(chǎn)品。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的強(qiáng)韌、抗硫化的鍵合銀絲的制備工藝，其特征在于，步驟2)所述真空熔煉的真空度為10^-5～10^-3Pa。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的強(qiáng)韌、抗硫化的鍵合銀絲的制備工藝，步驟2)所述連鑄的速度≤30mm/min，冷卻水溫度≤20℃。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的強(qiáng)韌、抗硫化的鍵合銀絲的制備工藝，按質(zhì)量分?jǐn)?shù)計(jì)，步驟2)所述銀基母線中，金屬銀占96.5～97.5％、鉑占0.5～0.9％、鎳占0.4～0.6％、錳占0.4～0.6％、鈷占0.4～0.6％、鈣占0.1～0.3％、鎂占0.2～0.4％、鈰占0.04～0.06％和鉍占0.04～0.06％；

所述各金屬組分的純度≥99％。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的強(qiáng)韌、抗硫化的鍵合銀絲的制備工藝，步驟4)所述清洗為采用包括氨水、氫氟酸以及三乙醇胺的水溶劑清洗液進(jìn)行清洗，再用去離子水沖洗、真空干燥。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的強(qiáng)韌、抗硫化的鍵合銀絲的制備工藝，，步驟4)所述硼氫化鈉的濃度為3～5mg/mL；

所述蘋果酸的濃度為5～10mg/mL；

所述氯化鈀的濃度為20～30mg/mL。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的強(qiáng)韌、抗硫化的鍵合銀絲的制備工藝，步驟6)所述細(xì)拉絲為將經(jīng)鈍化處理的鍵合銀絲于500～550℃下進(jìn)行細(xì)拉絲，使得其直徑為0.04～0.06mm。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的強(qiáng)韌、抗硫化的鍵合銀絲的制備工藝，步驟7)所述精細(xì)拉絲為將之后的鍵合銀絲于0.4～0.6精細(xì)拉絲，使得其直徑為0.01～0.03mm。

9.一種由權(quán)利要求1～8任一項(xiàng)所述制備工藝得到的鍵合銀絲。