[發(fā)明專利]鉻蝕刻液、鉻蝕刻液的制備方法及鉻蝕刻液的回收方法

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• 申請日: 2023-01-09
• 公開（公告）號: CN116162935A
• 公開（公告）日: 2023-05-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 童晨;吳海燕;陳桂紅;孫元;韓成強
• 申請（專利權(quán)）人: 昆山晶科微電子材料有限公司
• 主分類號: C23F1/26
• 分類號: C23F1/26;C23F1/46;C23F3/06;C02F9/00;C01F17/235;C01G37/00;C02F1/66;C02F1/72;C02F1/36;C02F1/00;C02F1/04;C02F1/70;C02F103/16
• 代理公司: 北京維正專利代理有限公司 11508
• 代理人: 施青青

1.鉻蝕刻液，其特征在于：原料按重量份包括如下組分：

硝酸鈰銨25-45份；

非氧化性酸2-8份；

過氧化氫3-12份；

穩(wěn)定劑1-3份；

蝕刻拋光劑0.5-1.5份；

消泡劑0.2-0.7份；

去離子水50-90份。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鉻蝕刻液，其特征在于：所述非氧化性酸為稀鹽酸、氫氟酸、檸檬酸、酒石酸其中的一種。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的鉻蝕刻液，其特征在于：所述穩(wěn)定劑為二乙烯三胺五乙酸五鈉、羥基乙叉二膦酸、2-羥基膦酰基乙酸、8—羥基喹啉其中的一種。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鉻蝕刻液，其特征在于：所述蝕刻拋光劑按重量份包括：醇醚磷酸酯5-10份、芐叉丙酮1.5-5份、1.2-3.5份、苯并三氮唑1-3份、去離子水20-45份。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的鉻蝕刻液，其特征在于：所述消泡劑為聚氧丙基甘油醚、甲基硅油、月桂酸、脂肪酸酰胺其中的一種。

6.如權(quán)利要求1-5任一所述的鉻蝕刻液的制備方法，其特征在于：包括以下步驟：

將25-45份硝酸鈰銨加入30-50份去離子水中充分溶解混勻，得到硝酸鈰銨水溶液；繼續(xù)向硝酸鈰銨水溶液中加入2-8份非氧化性酸、3-12份過氧化氫以及1-3份穩(wěn)定劑，混合均勻得到預(yù)混物A；將0.5-1.5份蝕刻拋光劑、0.2-0.7份消泡劑加入20-40去離子水中，混合均勻得到預(yù)混物B；

將預(yù)混物A加入到預(yù)混物B中，混合均勻后，過濾得到所述鉻蝕刻液。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的鉻蝕刻液的制備方法，其特征在于：包括以下步驟：

將5-10份醇醚磷酸酯、1.5-5份芐叉丙酮、1-3份苯并三氮唑、1.2-3.5三硬脂酸甘油酯加入至20-45份去離子水中，攪拌均勻，調(diào)節(jié)pH得到所述蝕刻拋光劑。

8.如權(quán)利要求1-7任一所述的鉻蝕刻液的廢液回收方法，其特征在于：包括以下步驟：

S1.將鉻蝕刻液的廢液離心后，于上層液體中加入過氧化氫得到氧化液；調(diào)節(jié)氧化液pH至6-8，過濾后分別得到粗氫氧化鈰固體沉淀和過濾液；

S2.將粗氫氧化鈰固體沉淀加入濃鹽酸溶液中溶解得到溶解液，繼續(xù)向溶解液中加入過氧化氫得到氧化溶液，調(diào)節(jié)氧化溶液pH至3-5,煮沸后過濾，得到純氫氧化鈰固體沉淀；

S3.將純氫氧化鈰固體沉淀溶解于硝酸溶液中，得到六硝酸根合鈰酸溶液，向六硝酸根合鈰酸溶液中加入硝酸銨，得到含硝酸鈰銨的混合溶液，對混合溶液進行濃縮結(jié)晶，過濾后烘干獲得硝酸鈰銨固體；

S4.向步驟S1中得到的過濾液中加入稀鹽酸溶液調(diào)節(jié)pH至2-3，繼續(xù)向過濾液中加入亞硫酸鈉，充分還原后，向過濾液中加入氫氧化鈉溶液調(diào)節(jié)pH至6-8.5，過濾得到氫氧化鉻沉淀。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的鉻蝕刻液的回收方法，其特征在于：S1所述的過氧化氫與上層液體的重量比為（4-7）:1。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的鉻蝕刻液的回收方法，其特征在于：T3所述亞硫酸鈉與過濾液的重量比為（3-8）:1。