[實用新型]一種還原爐高效清洗裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202223604097.6
• 申請日: 2022-12-31
• 公開（公告）號: CN219425050U
• 公開（公告）日: 2023-07-28
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 黃志國;周正卿;黃碩
• 申請（專利權(quán)）人: 揚州市碩成偉業(yè)電熱設(shè)備有限公司
• 主分類號: B08B1/04
• 分類號: B08B1/04;B08B13/00
• 代理公司: 北京京專專利代理事務所(普通合伙) 11908
• 代理人: 宋華

一種還原爐高效清洗裝置。涉及清洗裝置技術(shù)領(lǐng)域。用于清洗還原爐的內(nèi)壁，還原爐通過支架懸空設(shè)置，所述還原爐的底部設(shè)有開口，所述支架上可拆卸的設(shè)有支撐桿，所述支撐桿的中部設(shè)有螺紋套，所述螺紋套內(nèi)適配地旋設(shè)有螺桿；所述螺桿為中空結(jié)構(gòu)，所述螺桿的一端對稱地設(shè)有一對橫向設(shè)置的容置管，所述容置管內(nèi)設(shè)有彈性氣柱，所述彈性氣柱的一端與螺桿的內(nèi)部連通，所述彈性氣柱的另一端設(shè)有打磨頭；所述螺桿的另一端外壁設(shè)有氣孔，氣源通過氣孔向螺桿的內(nèi)部輸氣。彈性氣柱呈膨脹的狀態(tài)，再快速轉(zhuǎn)動螺桿，使得一對打磨頭旋轉(zhuǎn)上升，實現(xiàn)對還原爐的內(nèi)壁的打磨操作，結(jié)構(gòu)簡單，有效提升了對還原爐的內(nèi)壁的打磨清洗效果、速度及操作的簡便性。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及清洗裝置技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種還原爐高效清洗裝置。

背景技術(shù)

多晶硅生產(chǎn)過程中多晶硅還原爐內(nèi)表面上沉積的多晶硅和副產(chǎn)物(無定型硅、高硅氯聚物)厚度在0.1～1mm，因此，需要定期對還原爐的內(nèi)表面進行清洗。

實用新型內(nèi)容

為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實用新型提供了一種還原爐高效清洗裝置。

本實用新型采用如下技術(shù)方案實現(xiàn)：一種還原爐高效清洗裝置，用于清洗還原爐的內(nèi)壁，還原爐通過支架懸空設(shè)置，所述還原爐的底部設(shè)有開口，所述支架上可拆卸的設(shè)有支撐桿，所述支撐桿的中部設(shè)有螺紋套，所述螺紋套內(nèi)適配地旋設(shè)有螺桿；

所述螺桿為中空結(jié)構(gòu)，所述螺桿的一端對稱地設(shè)有一對橫向設(shè)置的容置管，所述容置管內(nèi)設(shè)有彈性氣柱，所述彈性氣柱的一端與螺桿的內(nèi)部連通，所述彈性氣柱的另一端設(shè)有打磨頭；

所述螺桿的另一端外壁設(shè)有氣孔，氣源通過氣孔向螺桿的內(nèi)部輸氣。

本實用新型的優(yōu)選實施方式在于，一對打磨頭的外壁之間的最小距離小于所述開口的內(nèi)徑。

本實用新型的優(yōu)選實施方式在于，所述螺桿的另一端還設(shè)有用于轉(zhuǎn)動螺桿的手輪。

本實用新型的優(yōu)選實施方式在于，所述氣孔內(nèi)設(shè)有密封塞，所述密封塞的外壁與所述螺桿的外壁平齊。

本實用新型的優(yōu)選實施方式在于，所述支架上設(shè)有一對相對設(shè)置的卡座，所述支撐桿卡設(shè)在一對卡座之間。

相比現(xiàn)有技術(shù)，本實用新型中通過彈性氣柱的膨脹，再快速轉(zhuǎn)動螺桿，使得一對打磨頭旋轉(zhuǎn)上升，實現(xiàn)對還原爐的內(nèi)壁的打磨操作，結(jié)構(gòu)簡單，有效提升了對還原爐的內(nèi)壁的打磨清洗效果、速度及操作的簡便性。

附圖說明

圖1是本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是圖1的動作狀態(tài)參考圖；

圖中：1、還原爐；11、支架；12、開口；13、卡座；2、支撐桿；3、螺紋套；4、螺桿；41、容置管；42、彈性氣柱；43、打磨頭；44、氣孔；45、手輪；46、密封塞。

具體實施方式

下面，結(jié)合附圖以及具體實施方式，對本實用新型做進一步描述，需要說明的是，在不相沖突的前提下，以下描述的各實施例之間或各技術(shù)特征之間可以任意組合形成新的實施例。

如圖1-2所示，一種還原爐高效清洗裝置，用于清洗還原爐1的內(nèi)壁，還原爐1通過支架11懸空設(shè)置，所述還原爐1的底部設(shè)有開口12，所述支架11上可拆卸的設(shè)有支撐桿2，所述支撐桿2的中部設(shè)有螺紋套3，所述螺紋套3內(nèi)適配地旋設(shè)有螺桿4；

所述螺桿4為中空結(jié)構(gòu)，所述螺桿4的一端對稱地設(shè)有一對橫向設(shè)置的容置管41，所述容置管41內(nèi)設(shè)有彈性氣柱42，所述彈性氣柱42的一端與螺桿4的內(nèi)部連通，所述彈性氣柱42的另一端設(shè)有打磨頭43；