[實用新型]一種用于拋光布清潔修整的治具

有效

• 申請號: 202223574074.5
• 申請日: 2022-12-30
• 公開（公告）號: CN219521764U
• 公開（公告）日: 2023-08-15
• 發明（設計）人: 汪祖一
• 申請（專利權）人: 上海合晶硅材料股份有限公司
• 主分類號: B24B53/02
• 分類號: B24B53/02
• 代理公司: 北京金誠同達律師事務所 11651
• 代理人: 李強

本實用新型公開了一種用于拋光布清潔修整的治具，包括圓盤，所述圓盤上設有用于修整拋光布的修整部件，所述修整部件包括至少三組砂輪，所述砂輪的直徑小于圓盤的直徑，所述砂輪在圓盤上呈周向均勻布置，所述圓盤的另一側表面的中心位置設有用于連接拋光機輸出端的連接件。本實用新型通過采用鉆石砂輪，用鉆石顆粒取代塑膠刷毛，鉆石顆粒壽命長，且鉆石顆粒不會變形，整體治具的平面度好，最終修整后拋光布的平面度好，拋光后硅片的表面質量好。

技術領域

本實用新型涉及拋光布清潔修整治具技術領域，具體為一種用于拋光布清潔修整的治具。

背景技術

IC級硅片拋光技術領域，拋光布在使用過程中，拋光布會被反應物堵塞表面，形成玻璃化glazing現象，導致拋光效率下降，拋光片表面品質下降，因此在拋光過程中，需要不斷對拋光布進行修整，維持拋光的效率和拋光片的品質，因此需要對拋光布進行修整。

傳統拋光布修整治具采用機械刷盤結構，刷毛為塑膠材質，不耐磨壽命短，且因為塑膠易折彎，整體治具平面度差，最終導致拋光布平面度差，拋光后硅片的平面度差。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種用于拋光布清潔修整的治具，本實用新型通過采用鉆石砂輪，用鉆石顆粒取代塑膠刷毛，鉆石顆粒壽命長，且鉆石顆粒不會變形，整體治具的平面度好，最終修整后拋光布的平面度好，拋光后硅片的表面質量好，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：

一種用于拋光布清潔修整的治具，包括圓盤，所述圓盤上設有用于修整拋光布的修整部件，所述修整部件包括至少三組砂輪，所述砂輪的直徑小于圓盤的直徑，所述砂輪在圓盤上呈周向均勻布置，所述圓盤的另一側表面的中心位置設有用于連接拋光機輸出端的連接件。

優選的，所述砂輪設置為鉆石砂輪。

優選的，所述砂輪上的鉆石密度為3.52g/cm3。

優選的，所述砂輪上的鉆石顆粒尺寸為40μm。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：

本實用新型通過采用鉆石砂輪，用鉆石顆粒取代塑膠刷毛，鉆石顆粒壽命長，且鉆石顆粒不會變形，整體治具的平面度好，最終修整后拋光布的平面度好，拋光后硅片的表面質量好。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖；

圖2為本實用新型圓盤的結構示意圖。

圖中：1、圓盤；2、砂輪；3、連接件。

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。

請參閱圖1-2，本實用新型提供一種技術方案：

一種用于拋光布清潔修整的治具，包括圓盤1，圓盤1上設有用于修整拋光布的修整部件，修整部件包括至少三組砂輪2，砂輪2的直徑小于圓盤1的直徑，砂輪2在圓盤1上呈周向均勻布置，圓盤1的另一側表面的中心位置設有用于連接拋光機輸出端的連接件3。

砂輪2設置為鉆石砂輪，砂輪2上的鉆石密度為3.52g/cm3，砂輪2上的鉆石顆粒尺寸為40μm。

本實用新型通過采用鉆石砂輪，用鉆石顆粒取代塑膠刷毛，鉆石顆粒壽命長，且鉆石顆粒不會變形，整體治具的平面度好，最終修整后拋光布的平面度好，拋光后硅片的表面質量好。