[實(shí)用新型]一種碳碳?xì)庀喑练e爐用抽氣管路裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202223562499.4
• 申請日: 2022-12-30
• 公開（公告）號: CN219156970U
• 公開（公告）日: 2023-06-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王起飛;李劍;李志偉;白梟;樊超;白楊豐;田冬龍
• 申請（專利權(quán)）人: 山西中電科新能源技術(shù)有限公司
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455;C23C16/32
• 代理公司: 太原高欣科創(chuàng)專利代理事務(wù)所(普通合伙) 14109
• 代理人: 張敏;崔雪花

本實(shí)用新型公開了一種碳碳?xì)庀喑练e爐用抽氣管路裝置，屬于沉積爐技術(shù)領(lǐng)域；該裝置包括水冷管道；所述水冷管道的側(cè)壁連接有多根分抽水冷管道；所述分抽水冷管道連接有單柱通氣管；所述單柱通氣管與碳碳?xì)庀喑练e爐內(nèi)的沉積室一一對應(yīng)連接；所述水冷管道還連接有外通氣管，所述外通氣管與碳碳?xì)庀喑练e爐位于沉積室以外的爐腔相連接；本實(shí)用新型通過在每個(gè)沉積室連接單柱通氣管，進(jìn)而對沉積室直接進(jìn)行抽氣，形成了氣體分流，使得沉積室在抽氣過程中氣場分布均勻，提高了沉積效果，保證了碳元素密度均勻性。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于沉積爐技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種碳碳?xì)庀喑练e爐用抽氣管路裝置。

背景技術(shù)

化學(xué)氣相沉積(Chemical?Vapour?Deposition，CVD)常用來生產(chǎn)各種高純固體材料。化學(xué)氣相沉積碳化硅是通過含有硅、碳元素的小分子前驅(qū)物在沉積室內(nèi)一定條件下分解、反應(yīng)生成的薄膜材料；碳碳復(fù)合材料多采用氣相沉積法制備，其主要采用的設(shè)備為氣相沉積爐。

化學(xué)氣相沉積技術(shù)應(yīng)用氣態(tài)物質(zhì)在固體表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)并產(chǎn)生固態(tài)沉積物的一種工藝，它大致包含三步：(1)形成揮發(fā)性物質(zhì)；(2)把上述物質(zhì)轉(zhuǎn)移至沉積區(qū)域；(3)在固體上產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)并產(chǎn)生固態(tài)物質(zhì)；碳碳?xì)庀喑练e爐在沉積期間需要不斷的通過抽真空裝置，使沉積室內(nèi)氣體從下向上流動(dòng)排出，現(xiàn)有的碳碳?xì)庀喑练e爐通過單管不斷抽取沉積爐爐體內(nèi)的氣體使氣體在沉積室內(nèi)均勻有序從下向上流動(dòng)排出，保證天然氣裂解出的碳均勻沉積在產(chǎn)品內(nèi)部及表面，但是對于大型沉積爐來說，通常爐內(nèi)具有多個(gè)沉積室，這種從爐體進(jìn)行單管抽氣的方式，對于不同位置的沉積室極易造成爐內(nèi)氣場分布不均、沉積效果不佳、密度不均的問題。

現(xiàn)有專利CN?106191816?A一種熱絲化學(xué)氣相沉積爐進(jìn)出氣氣路裝置及方法，圓柱形腔體的上側(cè)頂角部位沿45度角焊接進(jìn)氣擋板，圓柱形腔體的真空腔室內(nèi)的底部連接電極柱、抽氣室，在沉積腔室底部，電極柱和升降主軸之間焊接一個(gè)金屬罩作為抽氣室壁，在抽氣室壁下面的沉積腔室底部上開口作為抽氣口，抽氣室壁與沉積腔室底部形成抽氣室。該技術(shù)仍然無法避免僅從沉積爐爐體抽氣，也存在由于氣場分布不均，導(dǎo)致沉積效果不佳的問題。

現(xiàn)有專利CN?214529233?U一種半導(dǎo)體用具有氣場均勻的高溫氣相沉積爐，包括氣相沉積爐殼，所述氣相沉積爐殼的底部焊接安裝有氣相沉積爐底座，氣相沉積爐殼頂部安裝有橡膠圈，所述橡膠圈的內(nèi)部開設(shè)有位于氣相沉積爐殼內(nèi)部的氣相沉積爐內(nèi)膽，該裝置通過在沉積爐蓋頂部安裝真空泵，通過真空泵和連接管、抽風(fēng)管、抽氣蓬頭等裝置連接，使得爐內(nèi)氣場變的均勻，增加爐內(nèi)氣場的均勻性，從而達(dá)到了提高沉積效率的目的。但是同樣，該技術(shù)也是從沉積爐蓋頂進(jìn)行抽氣，對于大型的具有多個(gè)沉積室的沉積爐來說仍然存在氣場無法均勻的問題。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型克服了現(xiàn)有技術(shù)的不足，提出一種碳碳?xì)庀喑练e爐用抽氣管路裝置，解決大型沉積爐單抽氣口造成爐內(nèi)氣場分布不均、沉積效果不佳、密度不均的問題。

為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型是通過如下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的。

一種碳碳?xì)庀喑练e爐用抽氣管路裝置，包括水冷管道；所述水冷管道的側(cè)壁連接有多根分抽水冷管道；所述分抽水冷管道連接有單柱通氣管；所述單柱通氣管與碳碳?xì)庀喑练e爐內(nèi)的沉積室一一對應(yīng)連接；所述水冷管道還連接有外通氣管，所述外通氣管與碳碳?xì)庀喑练e爐位于沉積室以外的爐腔相連接。

進(jìn)一步的，所述水冷管道的底部也連接有單柱通氣管。

進(jìn)一步的，所述單柱通氣管的上部設(shè)置有測溫測壓盲板。

進(jìn)一步的，所述分抽水冷管道通過側(cè)抽連接波紋管與水冷管道相連接。

進(jìn)一步的，所述外通氣管連接在水冷管道的底部。

進(jìn)一步的，所述水冷管道和分抽水冷管道均設(shè)置有水冷夾層，所述分抽水冷管道設(shè)置有水嘴。

進(jìn)一步的，所述水冷管道的端部設(shè)置有防爆焊接口。