[實用新型]三通道分時復用檢測電路的MEMS陀螺儀

有效

• 申請號: 202223555455.9
• 申請日: 2022-12-29
• 公開（公告）號: CN219178583U
• 公開（公告）日: 2023-06-13
• 發明（設計）人: 黃莉;儲莉玲;蔣樂躍
• 申請（專利權）人: 美新半導體（天津）有限公司
• 主分類號: G01C19/56
• 分類號: G01C19/56
• 代理公司: 蘇州簡理知識產權代理有限公司 32371
• 代理人: 龐聰雅

1.一種MEMS陀螺儀，其特征在于，其包括：

MEMS慣性傳感部分，其包括：多個軸的檢測電容組；

陀螺接口電路，其包括：檢測電路和數字處理電路；

所述檢測電路包括多路復用器、檢測電荷放大器、檢測混頻器和檢測模數轉換器，所述多路復用器包括有多組輸入端、輸出端和選通控制端，所述多路復用器的每組輸入端與對應的一個軸的檢測電容組相連，所述多路復用器的輸出端與所述檢測電荷放大器的輸入端相連，所述檢測電荷放大器的輸出端與所述檢測混頻器的輸入端相連，所述檢測混頻器的輸出端與所述檢測模數轉換器的輸入端相連，所述檢測模數轉換器的輸出端連接至所述數字處理電路，

所述數字處理電路的一個輸出端與所述選通控制端相連，所述多路復用器基于所述選通控制端的選通信號在連續的多個選通循環中的每個選通循環內依次選擇多個軸中的每個軸的檢測電容組與所述檢測電荷放大器的輸入端相連，每個軸的檢測電容組被所述多路復用器選通預定時長。

2.根據權利要求1所述的MEMS陀螺儀，其特征在于，所述MEMS慣性傳感部分還包括驅動電容組和驅動檢測電容組，

所述陀螺接口電路還包括驅動電路和多個軸的矯正電容組，

所述驅動電路包括驅動電荷放大器，所述驅動電荷放大器的第一輸入端與所述驅動檢測電容組中的第一驅動檢測電容的一端相連，所述驅動電荷放大器的第二輸入端與所述驅動檢測電容組中的第二驅動檢測電容的一端相連，

每個軸的校正電容組中的第一校正電容的一端連接至所述驅動電荷放大器的第一輸出端，另一端連接至對應軸的檢測電容組的第一檢測電容的一端相連，每個軸的校正電容組的第二校正電容的一端連接至所述驅動電荷放大器的第二輸出端，另一端連接至對應軸的檢測電容組的第二檢測電容的一端相連，

驅動電容組對應的質量塊被驅動的做簡諧運動，所述預定時長是所述簡諧運動的諧振周期的N倍，N大于等于2。

3.根據權利要求2所述的MEMS陀螺儀，其特征在于，

所述MEMS慣性傳感部分具有三個軸的檢測電容組，三個軸的檢測電容組分別為x軸的檢測電容組、y軸的檢測電容組和z軸的檢測電容組，每個檢測電容組包括第一檢測電容和第二檢測電容，

所述陀螺接口電路包括三個軸的校正電容組，三個軸的校正電容組分別為x軸的校正電容組、y軸的校正電容組和z軸的校正電容組，

x軸的校正電容組中的第一校正電容的一端連接至所述驅動電荷放大器的第一輸出端，另一端連接至x軸的檢測電容組中的第一檢測電容的一端，x軸的校正電容組的第二校正電容的一端連接至所述驅動電荷放大器的第二輸出端，另一端連接至x軸的檢測電容組中的第二檢測電容的一端，x軸的檢測電容組中的第一檢測電容的一端和第二檢測電容的一端分別連接至所述多路復用器的第一組輸入端，

y軸的校正電容組中的第一校正電容的一端連接至所述驅動電荷放大器的第一輸出端，另一端連接至y軸的檢測電容組中的第一檢測電容的一端，y軸的校正電容組的第二校正電容的一端連接至所述驅動電荷放大器的第二輸出端，另一端連接至y軸的檢測電容組中的第二檢測電容的一端，y軸的檢測電容組中的第一檢測電容的一端和第二檢測電容的一端分別連接至所述多路復用器的第二組輸入端，

z軸的校正電容組中的第一校正電容的一端連接至所述驅動電荷放大器的第一輸出端，另一端連接至z軸的檢測電容組中的第一檢測電容的一端，z軸的校正電容組的第二校正電容的一端連接至所述驅動電荷放大器的第二輸出端，另一端連接至z軸的檢測電容組中的第二檢測電容的一端，z軸的檢測電容組中的第一檢測電容的一端和第二檢測電容的一端分別連接至所述多路復用器的第三組輸入端。