[實用新型]一種冷卻液循環利用控溫裝置

有效

• 申請號: 202223543880.6
• 申請日: 2022-12-29
• 公開（公告）號: CN218866378U
• 公開（公告）日: 2023-04-14
• 發明（設計）人: 陳思友;金波;丁督督
• 申請（專利權）人: 江西省萬年群興電子有限公司
• 主分類號: G05D23/20
• 分類號: G05D23/20
• 代理公司: 南昌金軒知識產權代理有限公司 36129
• 代理人: 高娜

本實用新型公開了一種冷卻液循環利用控溫裝置，包括冷卻箱和第二液位開關，所述冷卻箱頂面通過支腿固定安裝有補充箱。有益效果：第一液位開關控制電磁閥的啟閉，第二液位開關安裝在設備冷卻液存儲箱內，當設備冷卻液存儲箱內部液位較低時，第二液位開關觸發，打開第二水泵，第二水泵抽出回溫箱中的冷卻液，對設備冷卻液存儲箱進行補液，避免冷卻液過少，同時，當冷卻箱內部液位較低時，第一液位開關觸發，打開電磁閥，位于補充箱內部的冷卻液補充進入到冷卻箱中，避免冷卻箱和回溫箱內部液位過低而引起冷卻液循環故障的問題，維持冷卻液穩定循環，且本裝置控制原理簡單，控制設備投入量少，成本更加低廉，使用更加方便。

技術領域

本實用新型涉及電子及半導體設備制造技術領域，具體來說，涉及一種冷卻液循環利用控溫裝置。

背景技術

在電子及半導體設備制造過程中，需要進行嚴格的溫度控制，在維持所需溫度的過程中，需要提供一定的制冷量，抵消工藝過程中的熱負荷，溫控系統作為電子及半導體制造的輔助設備，通常通過制冷系統、循壞管路及儲水裝置提供冷卻液，用以準確控制輸出溫度。

經過檢索后發現，公開號為CN217330366U，名稱為冷卻液供給裝置及溫控系統，該申請提出了現有的技術方案通常僅包括一個冷卻液儲存箱，該冷卻液儲存箱與制冷系統、工藝設備相連通，形成循環回路，在溫控設備運行的過程中，循環管路內的循環液體會慢慢減少，需要及時補液。而循環液減少需要補充時，每次補液需要發送命令到刻蝕工藝設備端，補液效率低的問題，通過通過第一液體容器與工藝設備、制冷裝置相連通，形成循環回路，由第一液體容器為工藝設備提供冷卻液，通過第二液體容器為第一液體容器補液，從而減少第一液體容器需要補液時與工藝設備端通信所需的確認次數和等待時間。再通過第二液體容器及時補充存儲可循環利用的冷卻液，相當于為溫控系統增設了緩沖區，提高了補液效率，同時，增設了第二液體容器儲存可循環利用的冷卻液，提高了溫控系統的運行時間，通過壓力、溫度、流量傳感器實時采集信號，可編程控制器(PLC)程序精確控制，避免了自動補液時發生液體外漏。第二液體容器與工藝設備端通信，請求補液，減少了組成冷卻液循環回路的第一液體容器直接與工藝設備端通信與信息確認的時間，避免了冷卻液不足，影響工藝過程，但是，該申請補液溫控控制結構較為復雜，需要安裝多個傳感器和電磁閥，并安裝控制單元，控制形式復雜，不夠簡單高效，還可以進一步作出改進。

實用新型內容

(一)解決的技術問題

針對現有技術的不足，本實用新型提供了一種冷卻液循環利用控溫裝置，具備控制結構簡單、生產使用方便的優點，進而解決上述背景技術中的問題。

(二)技術方案

為實現上述控制結構簡單、生產使用方便的優點，本實用新型采用的具體技術方案如下：

一種冷卻液循環利用控溫裝置，包括冷卻箱和第二液位開關，所述冷卻箱頂面通過支腿固定安裝有補充箱，且補充箱通過連接管與冷卻箱貫通連接，并且補充箱表面安裝有電磁閥，所述冷卻箱內部安裝有第一液位開關，且第一液位開關輸出端與電磁閥電性連接，所述冷卻箱內部架設有換熱管，且冷卻箱一側安裝有回溫箱，并且回溫箱內部固定安裝有恒溫加熱棒，所述回溫箱底面通過連通管與冷卻箱底面貫通連接，且回溫箱上部一側表面貫通連接有第一水泵，并且第一水泵輸出端貫通連接有冷卻液出管，所述回溫箱上部一側表面位于第一水泵下方貫通連接有第二水泵，且第二水泵輸出端貫通連接有補充管，所述冷卻箱上部另一側表面貫通連接有冷卻液進管，所述第二液位開關安裝在設備冷卻液存儲箱內，且第二液位開關輸出端與第二水泵電性連接。

進一步的，所述回溫箱頂面中心位置固定安裝有攪拌電機，且回溫箱內部設置有攪拌槳，并且攪拌槳頂面貫穿回溫箱與攪拌電機輸出端連接。

進一步的，所述恒溫加熱棒設置有多個，且恒溫加熱棒布置在攪拌槳外側。

進一步的，所述補充管和冷卻液出管另一端均與設備冷卻液存儲箱貫通連接。