[實(shí)用新型]二維光柵結(jié)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202223533283.5
• 申請(qǐng)日: 2022-12-29
• 公開（公告）號(hào): CN218824776U
• 公開（公告）日: 2023-04-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孟祥峰;董文浩;冒新宇
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京至格科技有限公司
• 主分類號(hào): G02B5/18
• 分類號(hào): G02B5/18
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 葉明川

1.一種二維光柵結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括：

多個(gè)周期性排列的基本單元，所述基本單元包括最高單元、最低單元和位于不同平面的中間單元；

所述最高單元的頂面為所述二維光柵的頂面，所述最低單元為所述二維光柵的光柵槽的底面，所述中間單元的頂面高度位于所述二維光柵的頂面與所述二維光柵的光柵槽的底面之間。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的二維光柵結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述二維光柵結(jié)構(gòu)還包括基板；所述基本單元為與所述基板成預(yù)設(shè)角度傾斜的柱狀體或柱狀凹陷。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的二維光柵結(jié)構(gòu)，其特征在于，當(dāng)所述基本單元為與基板成預(yù)設(shè)角度傾斜的柱狀體時(shí)，所述二維光柵結(jié)構(gòu)位于基板上，所述最低單元與所述基板接觸。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的二維光柵結(jié)構(gòu)，其特征在于，當(dāng)所述基本單元為與基板成預(yù)設(shè)角度傾斜的柱狀凹陷時(shí)，所述二維光柵結(jié)構(gòu)位于基板下，所述最高單元的頂面與所述基板接觸。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的二維光柵結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述基本單元的周期等于所述二維光柵的周期。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的二維光柵結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述最高單元為柱狀體，所述最低單元為柱狀凹陷，所述中間單元為柱狀體或柱狀凹陷。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的二維光柵結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述中間單元為自最低單元表面凸起的柱狀體。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的二維光柵結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述中間單元為自最高單元表面向下凹陷的柱狀凹陷。

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的二維光柵結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述最高單元為自中間單元表面凸起的柱狀體。

10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的二維光柵結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述最低單元為自中間單元表面向下凹陷的柱狀凹陷。