[實用新型]一種內沙封槽不銹鋼封頭爐膽

有效

• 申請號: 202223504850.4
• 申請日: 2022-12-27
• 公開（公告）號: CN219347328U
• 公開（公告）日: 2023-07-14
• 發明（設計）人: 王錚;王雙婷
• 申請（專利權）人: 河南大成包裝材料有限公司
• 主分類號: F27D1/18
• 分類號: F27D1/18;F27D19/00;F27D21/00;F27D21/04;F27D99/00
• 代理公司: 廣州中粵知識產權代理事務所(普通合伙) 44752
• 代理人: 劉金菊

本實用新型涉及爐膽技術領域，且公開了一種內沙封槽不銹鋼封頭爐膽，包括爐膽膽體，爐膽膽體的頂面活動安裝有封頭爐膽蓋，封頭爐膽蓋的頂面固定安裝有提手，封頭爐膽蓋的內壁固定安裝有第一密封帶，爐膽膽體的底面固定安裝有移動滾輪，爐膽膽體的內部固定安裝有內沙封槽，本實用新型通過設有壓力檢測器、報警控制器和壓力報警燈，由于氣體受熱會產生氣壓，當爐膽膽體內的氣壓過大時，容易造成爆炸的危險，危害使用者的安全，封頭爐膽蓋內的壓力檢測器會檢測爐膽膽體內氣壓，若壓力檢測器檢測到爐膽膽體內的氣壓過高時，報警控制器內就會控制壓力報警燈進行報警，提醒使用者，提高了內沙封槽不銹鋼封頭爐膽安全性。

技術領域

本實用新型涉及爐膽技術領域，更具體地涉及一種內沙封槽不銹鋼封頭爐膽。

背景技術

退火爐是在半導體器件制造中使用的一種工藝，其包括加熱多個半導體晶片以影響其電性能。熱處理是針對不同的效果而設計的，可以加熱晶片以激活摻雜劑，將薄膜轉換成薄膜或將薄膜轉換成晶片襯底界面，使致密沉積的薄膜，改變生長的薄膜的狀態，修復注入的損傷，移動摻雜劑或將摻雜劑從一個薄膜轉移到另一個薄膜或從薄膜進入晶圓襯底，退火爐可以集成到其他爐子處理步驟中，例如氧化，或者可以自己處理，退火爐是由專門為加熱半導體晶片而設計的設備完成的，退火爐是節能型周期式作業爐，超節能結構，采用纖維結構，節電60％。

低碳鋼絲井式爐退火時，傳統使用的爐膽大多為滲鋁材質的外沙封槽厚壁爐膽，外沙封槽的密封性較差，導致這種爐膽的密封性降低，存在著爐膽漏氣竄煙的風險，本實用新型提供了一種內沙封槽不銹鋼封頭爐膽。

實用新型內容

為了克服現有技術的上述缺陷，本實用新型提供了一種內沙封槽不銹鋼封頭爐膽，以解決上述背景技術中存在的問題。

本實用新型提供如下技術方案：一種內沙封槽不銹鋼封頭爐膽，包括爐膽膽體，其特征在于：所述爐膽膽體的頂面活動安裝有封頭爐膽蓋，所述封頭爐膽蓋的頂面固定安裝有提手，所述爐膽膽體的底面固定安裝有移動滾輪，所述爐膽膽體的內部固定安裝有內沙封槽，在一個優選的實施方案中，所述封頭爐膽蓋的內部頂面固定安裝有壓力檢測器，所述壓力檢測器位于封頭爐膽蓋背部頂面的圓心處，所述壓力檢測器的右側固定安裝有釋壓器，所述釋壓器的頂面與封頭爐膽蓋固定連接，所述壓力檢測器的頂面與封頭爐膽蓋固定連接，所述封頭爐膽蓋的內壁固定安裝有第一密封帶，在一個優選的實施方案中，所述內沙封槽上固定安裝有第二密封帶，所述第二密封帶的內壁與內沙封槽固定連接，所述第二密封帶的直徑與內沙封槽的內圈直徑相等。

在一個優選的實施方案中，所述爐膽膽體的外形呈圓柱狀，所述爐膽膽體的底面四周半徑處怪的那個安裝有移動滾輪，所述移動滾輪的頂面與爐膽膽體的底面固定連接。

在一個優選的實施方案中，所述封頭爐膽蓋的外形呈圓柱狀，所述封頭爐膽蓋的直徑與爐膽膽體內部的直徑相等，所述封頭爐膽蓋的頂面中部固定安裝有提手，所述封頭爐膽蓋的頂面固定安裝有報警控制器，所述報警控制器的頂面固定安裝有壓力報警燈，所述報警控制器和壓力報警燈位于提手的右側，所述報警控制器和壓力報警燈的右側固定安裝有壓力顯示屏，所述壓力顯示屏的右側固定安裝有調節器。

在一個優選的實施方案中，所述爐膽膽體的內部頂面固定安裝有內沙封槽，所述內沙封槽的外形呈圓柱狀，所述內沙封槽的直徑與爐膽膽體內部的直徑相等，所述內沙封槽的底部外側與爐膽膽體的內壁固定連接。

本實用新型的技術效果和優點：

1.本實用新型通過設有內沙封槽、第一密封帶和第二密封帶，低碳鋼絲井式爐退火時，傳統使用的爐膽大多為滲鋁材質的外沙封槽厚壁爐膽，這種爐膽的密封性較差，通過內沙封槽、第一密封帶和第二密封帶，封頭爐膽蓋放在內沙封槽上時，封頭爐膽蓋內的第一密封帶會與內沙封槽上的第二密封帶緊密貼合，增強了爐膽的密閉性，大大降低了爐膽漏氣竄煙的風險。