[實用新型]輸送結(jié)構(gòu)及研磨設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202223476378.8
• 申請日: 2022-12-26
• 公開（公告）號: CN219359179U
• 公開（公告）日: 2023-07-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李國強(qiáng)
• 申請（專利權(quán)）人: 河源市艾佛光通科技有限公司
• 主分類號: B24B57/02
• 分類號: B24B57/02;B24B37/04;B24B37/34
• 代理公司: 華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 44224
• 代理人: 黃旭東

本實用新型涉及一種輸送結(jié)構(gòu)及研磨設(shè)備，輸送結(jié)構(gòu)包括輸送件，輸送件上形成有輸送通道，輸送通道貫穿輸送件的兩側(cè)形成有輸入口和輸出口，輸送件上還開設(shè)有與輸送通道相連通的流出口，流出口位于輸入口和輸出口之間，輸送件的數(shù)量為至少兩個，一輸送件可拆卸地連接在另一輸送件上，其中至少一輸送件的輸入口或流出口用于輸入研磨液，輸出口與另一輸送件的輸入口相連通，另一流出口用于輸出研磨液。輸送件之間可拆卸使得輸送結(jié)構(gòu)整體的長度可調(diào)節(jié)，使得流出口能夠?qū)?yīng)晶圓的不同位置，由此將研磨液輸送至晶圓上的不同位置或者使輸送結(jié)構(gòu)能夠適用于不同尺寸的晶圓。進(jìn)一步提高了輸送結(jié)構(gòu)的應(yīng)用范圍、實用性和可靠性，由此也降低了企業(yè)使用成本。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及精密儀器設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及輸送結(jié)構(gòu)及研磨設(shè)備。

背景技術(shù)

化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)是集成電路制造過程中實現(xiàn)晶圓表面平坦化的關(guān)鍵工藝。與傳統(tǒng)的純機(jī)械或純化學(xué)的拋光方法不同，CMP工藝是通過表面化學(xué)作用和機(jī)械研磨的技術(shù)結(jié)合來實現(xiàn)晶圓表面微米/納米級不同材料的去除，從而達(dá)到晶圓表面納米級平坦化，使下一步的光刻工藝得以進(jìn)行。而輸送作為化學(xué)試劑的研磨液需要通過CMP上的輸送結(jié)構(gòu)，輸送結(jié)構(gòu)的尺寸對應(yīng)晶圓的尺寸進(jìn)行設(shè)置，因此需要儲備多種尺寸的輸送結(jié)構(gòu)，增大了企業(yè)的使用成本。

實用新型內(nèi)容

基于此，有必要針對上述問題，提供一種能夠根據(jù)晶圓尺寸進(jìn)行調(diào)節(jié)的輸送結(jié)構(gòu)及研磨設(shè)備。

一種輸送結(jié)構(gòu)，所述輸送結(jié)構(gòu)包括輸送件，所述輸送件上形成有輸送通道，所述輸送通道貫穿所述輸送件的兩側(cè)形成有輸入口和輸出口，所述輸送件上還開設(shè)有與所述輸送通道相連通的流出口，所述流出口位于所述輸入口和所述輸出口之間，所述輸送件的數(shù)量為至少兩個，一所述輸送件可拆卸地連接在另一所述輸送件上，其中至少一所述輸送件的所述輸入口或所述流出口用于輸入研磨液，所述輸出口與另一所述輸送件的輸入口相連通，另一所述流出口用于輸出研磨液。

在一個實施例中，所述輸入口處開設(shè)有連接槽，所述輸出口出形成有連接凸起，其中一所述輸送件的連接凸起能夠卡設(shè)在另一所述輸送件的連接槽內(nèi)，以使一所述輸送件的所述輸出口與另一所述輸送件的所述輸入口相連通。

在一個實施例中，所述連接凸起的數(shù)量為至少兩個，至少兩個所述連接凸起沿所述輸出口的外沿周向間隔設(shè)置，所述連接槽的數(shù)量對應(yīng)所述連接凸起的數(shù)量間隔設(shè)置。

在一個實施例中，所述連接凸起為環(huán)狀凸起，環(huán)狀的所述連接凸起沿所述輸出口的邊緣設(shè)置，所述連接槽的形狀與所述連接凸起的形狀相適配。

在一個實施例中，所述輸送件為圓柱狀結(jié)構(gòu)件、矩形結(jié)構(gòu)件或弧形結(jié)構(gòu)件。

在一個實施例中，所述輸送件為柔性結(jié)構(gòu)件，所述輸送件受力能夠發(fā)生彈性形變。

在一個實施例中，所述輸送件的數(shù)量為多個，相鄰兩個所述輸送件的所述輸入口和所述輸出口相連通，其中位于首端的所述輸送件的輸入口和位于尾端的所述輸送件的輸出口相連通，以使多個所述輸送件形成圓環(huán)狀結(jié)構(gòu)，其中一所述輸送件的所述流出口用于輸入研磨液，其他所述輸送件的所述流出口用于輸出研磨液。

一種研磨設(shè)備，所述研磨設(shè)備包括安裝件和如上所述的輸送結(jié)構(gòu)，所述安裝件上形成有輸出通道，所述輸出通道用于輸出研磨液；所述輸送結(jié)構(gòu)安裝在所述安裝件上，所述輸出通道通過所述輸入口或所述流出口與所述輸送通道相連通。

在一個實施例中，所述輸出通道的數(shù)量為至少兩個，至少兩個所述輸出通道在所述安裝件上間隔設(shè)置，所述輸送結(jié)構(gòu)的數(shù)量對應(yīng)所述輸出通道設(shè)置，每一所述輸出通道均能夠通過一所述輸送結(jié)構(gòu)的所述輸送通道相連通。

在一個實施例中，所述輸送結(jié)構(gòu)的數(shù)量為至少兩個，相鄰兩個所述輸送結(jié)構(gòu)的所述輸送通道長度不一致，以使任一所述輸送結(jié)構(gòu)上的所述流出口用于對位于晶圓上的不同位置。