[實用新型]一種驅動裝置和加工設備

有效

• 申請號: 202223439344.1
• 申請日: 2022-12-21
• 公開（公告）號: CN219293394U
• 公開（公告）日: 2023-07-04
• 發明（設計）人: 龍騰云;劉景華;徐占輝;高云峰
• 申請（專利權）人: 深圳市大族半導體裝備科技有限公司
• 主分類號: B23Q5/00
• 分類號: B23Q5/00;B23Q15/22;B23Q17/22
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種驅動裝置，其特征在于，包括：

受驅件；

支撐件，所述受驅件沿第一方向與所述支撐件移動連接；

傳動件，所述傳動件沿第二方向與所述支撐件移動連接；

連接件，所述連接件用于傳動連接所述傳動件和所述受驅件，使所述傳動件沿第二方向相對所述支撐件移動可傳動為所述受驅件沿第一方向相對所述支撐件移動；以及

驅動件，所述驅動件與所述傳動件驅動連接，所述驅動件設置于所述傳動件與所述受驅件的外邊緣側的所述支撐件上。

2.如權利要求1所述的驅動裝置，其特征在于，所述連接件包括設有第一斜面的第一楔形塊以及設有第二斜面的第二楔形塊，所述第一楔形塊設置于所述受驅件上，所述第二楔形塊設置于所述傳動件上，所述第一楔形塊的第一斜面與所述第二楔形塊的第二斜面平行移動連接。

3.如權利要求2所述的驅動裝置，其特征在于，第一楔形塊的第一斜面上設置有滑槽，所述第二楔形塊的第二斜面上設置有與所述滑槽滑動連接的滑軌；

沿斜面的傾斜方向，所述滑軌的長度大于所述滑槽的長度，所述受驅件上設有避讓槽或避讓孔，所述第二楔形塊對應靠近所述受驅件側的端部可穿設于所述避讓槽或避讓孔。

4.如權利要求1所述的驅動裝置，其特征在于，所述支撐件和所述傳動件上分別設有鏤空的開口，所述開口設置于所述支撐件和所述傳動件沿第一方向與所述受驅件相對的部位上，所述支撐件的開口和所述傳動件的開口相通。

5.如權利要求1所述的驅動裝置，其特征在于，所述驅動裝置還包括第一限位件和第二限位件，所述第一限位件設置于所述受驅件沿第二方向的端部，所述第二限位件對應所述第一限位件設置于所述傳動件與所述受驅件的外邊緣側的所述支撐件上，所述第一限位件與所述第二限位件沿第一方向滑動連接。

6.如權利要求5所述的驅動裝置，其特征在于，所述第一限位件包括相對固定設置的第一主板和第一支板，所述第一主板設置于所述受驅件沿第二方向的端部，所述第一支板設置于所述受驅件沿第三方向的端部；

所述第二限位件包括相對固定設置的第二主板和第二支板，所述第二主板平行于所述第一主板設置于所述支撐件上，所述第二支板平行于所述第一支板設置于所述支撐件上，所述第一主板和所述第二主板沿第一方向滑動連接。

7.如權利要求5所述的驅動裝置，其特征在于，所述驅動裝置還包括傳感件和可與所述傳感件感應配合的感應件，所述感應件設置于所述第一限位件上，所述傳感件設置于所述第二限位件上，所述傳感件與所述感應件沿第一方向感應設置。

8.如權利要求7所述的驅動裝置，其特征在于，所述傳感件包括第一傳感器和第二傳感器，所述第一傳感器和所述第二傳感器沿第二方向間隔設置于所述第一限位件上；

所述感應件與所述第一傳感器感應配合時，所述受驅件位于起始位置；

所述感應件與所述第二傳感器感應配合時，所述受驅件位于終止位置。

9.如權利要求8所述的驅動裝置，其特征在于，所述支撐件上設有限位塊，所述限位塊對應所述傳動件沿第二方向的兩端設置；

所述受驅件位于起始位置時，所述傳動件沿第二方向的一端與對應側的限位塊抵接，以阻止所述傳動件沿第二方向移動驅使所述受驅件沿第一方向朝遠離所述終止位置移動；

所述受驅件位于終止位置時，所述傳動件沿第二方向的另一端與對應側的限位塊抵接，以阻止所述傳動件沿第二方向移動驅使所述受驅件沿第一方向朝遠離所述起始位置移動。

10.如權利要求1所述的驅動裝置，其特征在于，所述驅動件包括驅動電機、螺紋桿以及驅動塊，所述驅動電機的軸向沿第二方向設置于所述傳動件與所述受驅件的外邊緣側的所述支撐件上，所述螺紋桿與所述驅動電機的轉軸同軸且相對固定設置，所述驅動塊的一端設有螺紋孔，所述驅動塊的另一端與所述傳動件固定設置，所述螺紋桿與所述螺紋孔螺接。

11.一種加工設備，其特征在于，所述加工設備包括如權利要求1-10任意一項所述的驅動裝置。