[實用新型]用于石英加工的氫氧焰燃燒器

有效

• 申請號: 202223420191.6
• 申請日: 2022-12-20
• 公開（公告）號: CN219283328U
• 公開（公告）日: 2023-06-30
• 發明（設計）人: 陳富倫;劉明偉;倪玲;徐傳達;賈標標
• 申請（專利權）人: 連云港太平洋半導體材料有限公司
• 主分類號: F23D14/02
• 分類號: F23D14/02;F23D14/46;F23D14/62;F23D14/58;C03B29/00;C03C27/00;C03B23/207
• 代理公司: 北京華專卓海知識產權代理事務所(普通合伙) 11664
• 代理人: 華雅欣

1.一種用于石英加工的氫氧焰燃燒器，其特征在于，包括：

混合腔體，其接受氫氣和氧氣的供給，進行混合；

火焰噴嘴排，其包括從所述混合腔體向外并排延伸設置的多個噴嘴；和

噴射腔體，其從所述混合腔體的外周部，沿所述火焰噴嘴排的方向延伸，圍繞所述火焰噴嘴排，末端開放。

2.根據權利要求1所述的用于石英加工的氫氧焰燃燒器，其特征在于，

所述氫氧焰燃燒器還包括：

氫氣管道，包括依次連通的氫氣進氣主管道、氫氣分流腔和氫氣進氣分管道，而向所述混合腔體供給氫氣；

氧氣管道，包括依次連通的氧氣進氣主管道和氧氣進氣分管道，而向所述混合腔體供給氧氣。

3.根據權利要求2所述的用于石英加工的氫氧焰燃燒器，其特征在于，

所述氫氣分流腔設置在所述噴射腔體的外部上側，

所述氫氣進氣分管道從所述氫氣分流腔向與所述混合腔體的延伸平面呈一定角度的方向延伸設置。

4.根據權利要求3所述的用于石英加工的氫氧焰燃燒器，其特征在于，

所述氧氣進氣分管道向與所述噴嘴的混合腔體的延伸平面基本平行的方向延伸設置。

5.根據權利要求2所述的用于石英加工的氫氧焰燃燒器，其特征在于，

所述混合腔體的長度延伸方向與多個所述噴嘴的排列方向一致，延伸長度與多個所述噴嘴的排列長度相匹配。

6.根據權利要求5所述的用于石英加工的氫氧焰燃燒器，其特征在于，

所述氫氣分流腔的長度延伸方向與多個所述噴嘴的排列方向一致，所述氫氣分流腔的延伸長度比所述混合腔體的延伸長度短。

7.根據權利要求2所述的用于石英加工的氫氧焰燃燒器，其特征在于，

所述氫氣進氣主管道和所述氧氣進氣主管道以相同方向延伸且并攏設置，并且在分別與氫氣分流腔和氧氣進氣分管道連接的端部彼此相互遠離。

8.根據權利要求1所述的用于石英加工的氫氧焰燃燒器，其特征在于，

所述噴嘴設置為同等直徑、壁厚、長度的單咀石英燈芯管，設置有36～48支，每支外徑為2～10mm、內徑為1～9mm、長度為20～50mm，

在過圓心的水平線上，相鄰兩個所述噴嘴外壁之間的間隔為0.05～2mm。

9.根據權利要求1所述的用于石英加工的氫氧焰燃燒器，其特征在于，

所述噴射腔體形成為方體狀，所述噴射腔體四周內側與所述火焰噴嘴排的距離為5～10mm。

10.根據權利要求2所述的用于石英加工的氫氧焰燃燒器，其特征在于，

多個所述氫氣進氣分管道設置為等同的直徑、壁厚、長度，

相鄰兩個所述氫氣進氣分管道之間間隔相同，多個所述氫氣進氣分管道均布地與所述混合腔體連接；

多個所述氧氣進氣分管道設置為等同的直徑、壁厚、長度，

多個所述氧氣進氣分管道均布地與所述混合腔體連接。