[實(shí)用新型]用于石英加工的氫氧焰燃燒器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202223420191.6
• 申請(qǐng)日: 2022-12-20
• 公開（公告）號(hào): CN219283328U
• 公開（公告）日: 2023-06-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳富倫;劉明偉;倪玲;徐傳達(dá);賈標(biāo)標(biāo)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 連云港太平洋半導(dǎo)體材料有限公司
• 主分類號(hào): F23D14/02
• 分類號(hào): F23D14/02;F23D14/46;F23D14/62;F23D14/58;C03B29/00;C03C27/00;C03B23/207
• 代理公司: 北京華專卓海知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11664
• 代理人: 華雅欣

1.一種用于石英加工的氫氧焰燃燒器，其特征在于，包括：

混合腔體，其接受氫氣和氧氣的供給，進(jìn)行混合；

火焰噴嘴排，其包括從所述混合腔體向外并排延伸設(shè)置的多個(gè)噴嘴；和

噴射腔體，其從所述混合腔體的外周部，沿所述火焰噴嘴排的方向延伸，圍繞所述火焰噴嘴排，末端開放。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于石英加工的氫氧焰燃燒器，其特征在于，

所述氫氧焰燃燒器還包括：

氫氣管道，包括依次連通的氫氣進(jìn)氣主管道、氫氣分流腔和氫氣進(jìn)氣分管道，而向所述混合腔體供給氫氣；

氧氣管道，包括依次連通的氧氣進(jìn)氣主管道和氧氣進(jìn)氣分管道，而向所述混合腔體供給氧氣。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于石英加工的氫氧焰燃燒器，其特征在于，

所述氫氣分流腔設(shè)置在所述噴射腔體的外部上側(cè)，

所述氫氣進(jìn)氣分管道從所述氫氣分流腔向與所述混合腔體的延伸平面呈一定角度的方向延伸設(shè)置。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于石英加工的氫氧焰燃燒器，其特征在于，

所述氧氣進(jìn)氣分管道向與所述噴嘴的混合腔體的延伸平面基本平行的方向延伸設(shè)置。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于石英加工的氫氧焰燃燒器，其特征在于，

所述混合腔體的長(zhǎng)度延伸方向與多個(gè)所述噴嘴的排列方向一致，延伸長(zhǎng)度與多個(gè)所述噴嘴的排列長(zhǎng)度相匹配。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于石英加工的氫氧焰燃燒器，其特征在于，

所述氫氣分流腔的長(zhǎng)度延伸方向與多個(gè)所述噴嘴的排列方向一致，所述氫氣分流腔的延伸長(zhǎng)度比所述混合腔體的延伸長(zhǎng)度短。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于石英加工的氫氧焰燃燒器，其特征在于，

所述氫氣進(jìn)氣主管道和所述氧氣進(jìn)氣主管道以相同方向延伸且并攏設(shè)置，并且在分別與氫氣分流腔和氧氣進(jìn)氣分管道連接的端部彼此相互遠(yuǎn)離。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于石英加工的氫氧焰燃燒器，其特征在于，

所述噴嘴設(shè)置為同等直徑、壁厚、長(zhǎng)度的單咀石英燈芯管，設(shè)置有36～48支，每支外徑為2～10mm、內(nèi)徑為1～9mm、長(zhǎng)度為20～50mm，

在過圓心的水平線上，相鄰兩個(gè)所述噴嘴外壁之間的間隔為0.05～2mm。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于石英加工的氫氧焰燃燒器，其特征在于，

所述噴射腔體形成為方體狀，所述噴射腔體四周內(nèi)側(cè)與所述火焰噴嘴排的距離為5～10mm。

10.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于石英加工的氫氧焰燃燒器，其特征在于，

多個(gè)所述氫氣進(jìn)氣分管道設(shè)置為等同的直徑、壁厚、長(zhǎng)度，

相鄰兩個(gè)所述氫氣進(jìn)氣分管道之間間隔相同，多個(gè)所述氫氣進(jìn)氣分管道均布地與所述混合腔體連接；

多個(gè)所述氧氣進(jìn)氣分管道設(shè)置為等同的直徑、壁厚、長(zhǎng)度，

多個(gè)所述氧氣進(jìn)氣分管道均布地與所述混合腔體連接。