[實用新型]一種臭氧水氣液混合循環系統

有效

• 申請號: 202223414460.8
• 申請日: 2022-12-19
• 公開（公告）號: CN219482236U
• 公開（公告）日: 2023-08-08
• 發明（設計）人: 居思薇;居建華
• 申請（專利權）人: 無錫思銳電子設備科技有限公司
• 主分類號: B01F23/23
• 分類號: B01F23/23
• 代理公司: 蘇州根號專利代理事務所(普通合伙) 32276
• 代理人: 仇波

本實用新型公開了一種臭氧水氣液混合循環系統，它包括：磁力泵；冷卻桶；單向閥；混合組件，所述混合組件包括相配合的混合桶和臭氧進氣控制單元，臭氧水濃度傳感器；所述混合桶包括對接配合的第一半桶體和第二半桶體、形成在所述第一半桶體自由端的第一接頭、形成在所述第二半桶體自由端的第二接頭以及安裝在所述第一半桶體自由端且延伸至所述第二半桶體內的排氣管；所述臭氧進氣控制單元包括控制箱本體、一端位于所述控制箱本體內且另一端延伸至所述控制箱本體外以連接臭氧發生器的臭氧引導管、一端延伸至控制箱本體內且另一端連接至所述第一轉接管和所述第三出液管之間的臭氧進氣管以及臭氧加壓泵。這樣能夠避免混合桶內的壓力過大而產生過壓風險。

技術領域

本實用新型屬于臭氧水混合設備領域，涉及一種混合系統，具體涉及一種臭氧水氣液混合循環系統。

背景技術

硅片是太陽能電池的基本部件，其性能參數直接影響太陽能電池片的光電轉化效率，因此硅片的清洗很重要。在硅片切割的工藝流程中，硅片表面可能沾染的污染物可分為三類：（1）油脂、環氧樹脂或聚乙二醇等有機物；（2）金屬、金屬離子和其它無機化合物；（3）粉塵顆粒及其它固體顆粒等。隨著環保要求的不斷提高，使用臭氧清洗代替傳統RCA清洗硅片越來越普遍，因為使用臭氧清洗可以避免雙氧水、硝酸等化學品的使用及排放，大大降低了生產成本，是綠色環保的清洗方法。

申請號為202220265592.X的中國實用新型專利公開了一種高濃度臭氧水混合裝置，它包括：臭氧發生組件，所述臭氧發生組件包括臭氧發生器、與所述臭氧發生器相連接用于輸入氧氣的氧氣進氣機構以及與所述臭氧發生器相連接用于輸出臭氧的臭氧出氣機構；氣液混合桶，所述氣液混合桶直接或通過氣液混合管間接與所述臭氧出氣機構相連接；循環混合組件。該混合裝置能夠將臭氧和水分別加壓后于氣液混合桶中進行混合，有利于臭氧充分溶于水而形成高濃度的臭氧水，但是混合桶未設置排氣結構而容易導致其內的壓力過大，存在過壓風險。

發明內容

本實用新型目的是為了克服現有技術的不足而提供一種臭氧水氣液混合循環系統。

為達到上述目的，本實用新型采用的技術方案是：一種臭氧水氣液混合循環系統，它包括：

磁力泵，所述磁力泵連接有第一進液管和第一出液管；

冷卻桶，所述冷卻桶連接有第二進液管和第二出液管，所述第二進液管與所述第一出液管通過第一手動閥相連接；

單向閥，所述單向閥的一端連接有第三進液管且另一端連接有第三出液管，所述第三進液管與所述第二出液管對接；

混合組件，所述混合組件包括相配合的混合桶和臭氧進氣控制單元，

臭氧水濃度傳感器，所述臭氧水濃度傳感器連接有第一臭氧水管和第二臭氧水管，所述第一臭氧水管接至所述第一進液管上，所述第二臭氧水管接至所述第二出液管和所述第三進液管的連接處；

所述混合桶包括對接配合的第一半桶體和第二半桶體、形成在所述第一半桶體自由端的第一接頭、形成在所述第二半桶體自由端的第二接頭以及安裝在所述第一半桶體自由端且延伸至所述第二半桶體內的排氣管，所述第一接頭通過第一轉接管與所述第三出液管相連接，所述第二接頭外接有臭氧水出水管，所述臭氧水出水管上安裝有第二手動閥；

所述臭氧進氣控制單元包括控制箱本體、一端位于所述控制箱本體內且另一端延伸至所述控制箱本體外以連接臭氧發生器的臭氧引導管、一端延伸至控制箱本體內且另一端連接至所述第一轉接管和所述第三出液管之間的臭氧進氣管以及設置于所述控制箱本體內且連接所述臭氧引導管和所述臭氧進氣管的臭氧加壓泵。

優化地，所述磁力泵的外殼體上設置有安裝底板；所述混合組件還包括基板，所述混合桶和所述控制單元均安裝在所述基板上。

優化地，所述第一半桶體、所述第二半桶體相對接的端部分別形成有第一法蘭部、第二法蘭部，所述第一法蘭部和所述第二法蘭部通過多根螺栓副連接。