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[實用新型]一種快速排放槽有效

專利信息
申請號: 202223400062.0 申請日: 2022-12-19
公開(公告)號: CN218743599U 公開(公告)日: 2023-03-28
發明(設計)人: 左國軍;陳雷;莊海云;李雄朋 申請(專利權)人: 創微微電子(常州)有限公司
主分類號: B08B3/10 分類號: B08B3/10;B08B3/02;B08B13/00
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 213000 江*** 國省代碼: 江蘇;32
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 快速 排放
【說明書】:

實用新型提供了一種快速排放槽包括:清洗槽、鼓泡組件、噴淋組件、快排閥以及鎖止組件;所述清洗槽的底部開設有適于所述快排閥安裝的排液管;所述鎖止組件以及所述快排閥套設在所述排液管上,且所述鎖止組件適于將所述快排閥固定在所述排液管上;所述鼓泡組件以及噴淋組件均設置在所述清洗槽的上方;所述鼓泡組件適于對清洗槽內的藥液鼓氮氣;所述噴淋組件適于對清洗槽內的待清洗物體進行噴淋清洗。通過設置大口徑的底部排水接管與排水閥,可以快速排干槽內的清洗液。從而達到好的清洗效果。

技術領域

本實用新型涉及清洗領域,具體涉及一種快速排放槽。

背景技術

在清洗行業,全自動濕法清洗設備中,快速排水是一項重要的清洗功能;它能夠更有效的將臟污剝離晶圓或者電池片的表面。用戶希望排水速度在不產生破片的情況下越快越好,這意味著排水口要做到很大。這對于現有的槽體的制作上,有很大難度,成本難以控制,外形尺寸同樣難以控制。

因此,需要涉及一種快速排干槽內的清洗液的快速排放槽,以解決上述問題。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種快速排放槽,以實現對清洗槽內的清洗液進行快速排放的目的。

為了解決上述技術問題,本實用新型提供了一種快速排放槽,包括:

清洗槽、鼓泡組件、噴淋組件、快排閥以及鎖止組件;

所述清洗槽的底部開設有適于所述快排閥安裝的排液管;

所述鎖止組件以及所述快排閥套設在所述排液管上,且所述鎖止組件適于將所述快排閥固定在所述排液管上;

所述鼓泡組件以及噴淋組件均設置在所述清洗槽的上方;

所述鼓泡組件適于對清洗槽內的藥液鼓氮氣;

所述噴淋組件適于對清洗槽內的待清洗物體進行噴淋清洗。

進一步的,所述鼓泡組件包括鼓氣管;

所述鼓氣管的截面為L形;

所述鼓氣管一端伸入所述清洗槽內,且與所述清洗槽的側壁貼合,另一端與外部氮氣源連通。

進一步的,所述快速排放槽還包括有片檢測裝置;

所述有片檢測裝置固定設置在所述清洗槽的外壁上。

進一步的,所述鎖止組件包括鎖緊螺帽以及壓緊環;

所述快排閥的外側壁開設有與所述鎖緊螺帽適配的外螺紋;

所述鎖緊螺帽以及所述壓緊環依次套設在所述排液管上;

所述壓緊環插入所述快排閥內;

所述鎖緊螺帽適于在旋擰在快排閥時,將所述壓緊環與排液管進行壓緊。

進一步的,所述壓緊環為錐形,且插入所述快排閥的一端的直徑小于遠離所述快排閥的一端。

進一步的,所述快排閥包括閥體、卡座以及氣動密封部;

所述閥體的中部的側壁開設有排液口;

所述卡座插入所述閥體的頂部;

所述氣動密封部螺紋連接在所述閥體的底部;

所述氣動密封部適于在外部氣壓的驅動下,將所述閥體的排液口打開或關閉。

進一步的,所述氣動密封部包括:密封主體、活塞桿以及氣動套;

所述氣動套開設有氣動腔;

所述活塞桿的一端穿過所述氣動腔的頂部與密封主體固定連接,另一端滑動連接在所述氣動腔內;

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