[實用新型]一種屏蔽隔離裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202223372108.2
• 申請日: 2022-12-14
• 公開（公告）號: CN219136903U
• 公開（公告）日: 2023-06-06
• 發(fā)明（設計）人: 劉建波
• 申請（專利權）人: 昆山東威科技股份有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 北京三聚陽光知識產權代理有限公司 11250
• 代理人: 湯蕎赫

1.一種屏蔽隔離裝置，其特征在于，包括：

殼本體(1)；

若干固定構件(2)，間隔分布設置在所述殼本體(1)內腔壁面上；

若干分隔構件(3)，設置在所述殼本體(1)內腔內，且與所述固定構件(2)對應設置，所述分隔構件(3)與所述固定構件(2)遠離所述殼本體(1)的一端連接；

其中，相鄰的所述固定構件(2)、分隔構件(3)與殼本體(1)共同圍合形成適于磁控濺射鍍膜的鍍膜腔，任一所述分隔構件(3)包括導熱板(31)、防著板(32)以及冷卻結構，所述防著板(32)與所述導熱板(31)配置為可拆卸連接，所述防著板(32)連接在所述導熱板(31)朝向所述鍍膜腔的一側，所述冷卻結構設置在所述導熱板(31)的內腔中，以適于對所述導熱板(31)換熱。

2.根據(jù)權利要求1所述的屏蔽隔離裝置，其特征在于，所述導熱板(31)為板體結構，所述板體結構沿所述殼本體(1)的長度方向延伸設置，所述冷卻結構包括至少一個冷卻通道，所述冷卻通道穿設于所述板體結構中；或

所述導熱板(31)為夾層結構，所述冷卻結構包括至少一個冷卻通道，所述冷卻通道安裝在所述夾層結構中。

3.根據(jù)權利要求2所述的屏蔽隔離裝置，其特征在于，所述導熱板(31)為銅板或銅合金板。

4.根據(jù)權利要求1所述的屏蔽隔離裝置，其特征在于，還包括至少一個安裝架(4)，適于安裝鍍膜棍，所述安裝架(4)與所述導熱板(31)遠離所述固定構件(2)的一端可拆卸連接，所述安裝架(4)與所述防著板(32)為可拆卸連接。

5.根據(jù)權利要求1-4任一項所述的屏蔽隔離裝置，其特征在于，還包括連接件(5)，所述固定構件(2)通過所述連接件(5)與所述分隔構件(3)可拆卸連接，所述連接件(5)一側與所述固定構件(2)可拆卸連接，所述連接件(5)另一側與所述分隔構件(3)固定連接。

6.根據(jù)權利要求1-4任一項所述的屏蔽隔離裝置，其特征在于，所述固定構件(2)包括若干凸出成型在所述殼本體(1)上的加強筋，所有所述加強筋沿所述殼本體(1)的長度方向延伸設置。

7.根據(jù)權利要求1-4任一項所述的屏蔽隔離裝置，其特征在于，所述分隔構件(3)還包括設置在所述殼本體(1)內腔的隔板(33)，所述隔板(33)與所述固定構件(2)間隔設置，所述隔板(33)與殼本體(1)可拆卸連接，所述隔板(33)具有一側呈開口設置的安裝腔，所述安裝腔適于安裝鍍膜預處理裝置，所述殼本體(1)與所述隔板(33)圍合形成有處理區(qū)。

8.根據(jù)權利要求1-4任一項所述的屏蔽隔離裝置，其特征在于，還包括封蓋本體，所述封蓋本體與所述殼本體(1)可拆卸連接。

9.根據(jù)權利要求1-4任一項所述的屏蔽隔離裝置，其特征在于，還包括監(jiān)控裝置，所述監(jiān)控裝置包括若干光源件與探頭件，所述光源件和所述探頭件與外設電源電連接，所述探頭件與外設顯示件電連接。