[實用新型]一種具有樣品臺旋轉鎖定功能的磁場探針臺

有效

• 申請號: 202223359974.8
• 申請日: 2022-12-14
• 公開（公告）號: CN219456454U
• 公開（公告）日: 2023-08-01
• 發明（設計）人: 劉衛濱
• 申請（專利權）人: 北京東方晨景科技有限公司
• 主分類號: G01R33/12
• 分類號: G01R33/12;G01R1/04;G01R1/067
• 代理公司: 南京佰騰智信知識產權代理事務所(普通合伙) 32509
• 代理人: 任麗麗

本實用新型公開了一種具有樣品臺旋轉鎖定功能的磁場探針臺，包括固定架，所述固定架頂部安裝有操作平臺，所述操作平臺頂部內壁設有樣品臺，所述樣品臺頂部內壁安裝有調節螺桿，四個所述調節螺桿外側均設有夾持板，所述樣品臺底部安裝有轉動軸，所述轉動軸一端外側安裝有棘輪，所述操作平臺底部一端安裝有活動銷。本實用新型通過轉動調節螺桿使得四個夾持板可以對不同尺寸的樣品進行夾持和固定，伺服電機工作可以帶動樣品臺進行轉動，活動銷可以對棘輪相鄰的兩個棘齒之間進行卡接和限定，使得樣品臺可以等角度的進行旋轉，調節螺桿與夾持板之間的螺紋連接使得樣品可以在樣品臺旋轉過程中被夾持板穩定夾持。

技術領域

本實用新型涉及磁場探針臺技術領域，具體涉及一種具有樣品臺旋轉鎖定功能的磁場探針臺。

背景技術

探針臺主要應用于半導體行業、光電行業、集成電路以及封裝的測試，廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發，旨在確保質量及可靠性，并縮減研發時間和器件制造工藝的成本。

現有技術存在以下不足：現有的磁場探針臺在對不同尺寸的樣品的不同位置進行測試時，無法等角度的對樣品臺進行旋轉和固定，容易出現樣品臺旋轉角度過大或旋轉角度不夠的情況，樣品臺無法穩定的對不同尺寸的樣品進行夾持和固定，使得樣品在樣品臺旋轉過程中無法保持穩定，進而使得探針臺無法穩定的對樣品的不同位置進行測試，會影響樣品測試的效率。

在所述背景技術部分公開的上述信息僅用于加強對本公開的背景的理解，因此它可以包括不構成對本領域普通技術人員已知的現有技術的信息。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種具有樣品臺旋轉鎖定功能的磁場探針臺，通過轉動調節螺桿可以調節四個夾持板之間的距離，進而使得四個夾持板可以對不同尺寸的樣品進行夾持和固定，伺服電機工作可以帶動轉動軸發生轉動，進而可以帶動樣品臺進行轉動，轉動軸的轉動可以帶動棘輪發生轉動，活動銷在牽引彈簧的彈力作用下可以對棘輪相鄰的兩個棘齒之間進行卡接和限定，進而使得樣品臺可以等角度的進行旋轉，進而使得樣品可以等角度的進行旋轉，同時調節螺桿與夾持板之間的螺紋連接，使得夾持板可以在樣品臺旋轉過程中保持穩定，進而使得樣品可以在樣品臺旋轉過程中保持穩定，進而使得探針臺可以穩定的對樣品的不同位置進行等角度的測試，可以提高探針臺的工作效率和精準度，以解決技術中的上述不足之處。

為了實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種具有樣品臺旋轉鎖定功能的磁場探針臺，包括固定架，所述固定架的頂部固定安裝有操作平臺，所述操作平臺的頂部內壁開設有放置槽，所述放置槽的內側底部設置有樣品臺，所述樣品臺的頂部內壁開設有四個活動槽，四個所述活動槽的內壁均轉動安裝有調節螺桿，四個所述調節螺桿的外側均設置有夾持板，所述操作平臺的底部固定安裝有固定板，所述樣品臺的底部固定安裝有轉動軸，所述轉動軸的底部貫穿操作平臺和固定板且設置有伺服電機，所述轉動軸靠近固定板的一端外側固定安裝有棘輪，所述固定板的頂部一端固定安裝有固定軸，所述固定軸的外側轉動安裝有活動銷，所述活動銷與棘輪活動連接，所述活動銷遠離棘輪的一側與固定板內壁之間設置有牽引彈簧。

優選的，四個所述夾持板呈等間距環形排列，四個所述夾持板的底部均固定安裝有滑塊。

優選的，四個所述滑塊的內壁分別與四個調節螺桿的外側螺紋連接，四個所述滑塊的外壁分別與四個活動槽的內壁活動連接。

優選的，所述放置槽的內徑尺寸大于樣品臺的外徑尺寸，所述放置槽的內側底部開設有限定槽。

優選的，所述樣品臺的底部固定安裝有限定環，所述限定環的外壁與限定槽的內壁轉動連接。

優選的，所述固定板的內壁一端與牽引彈簧的一端固定連接，所述牽引彈簧遠離固定板的一端與活動銷的一端外壁固定連接。

優選的，所述固定板的底部與伺服電機固定連接，所述伺服電機與轉動軸之間通過輸出軸傳動連接。

在上述技術方案中，本實用新型提供的技術效果和優點：