[實用新型]一種精密定量液體供給裝置

有效

• 申請號: 202223359151.5
• 申請日: 2022-12-13
• 公開（公告）號: CN218669753U
• 公開（公告）日: 2023-03-21
• 發明（設計）人: 王陽;魏猛;劉瑩
• 申請（專利權）人: 芯達半導體設備（蘇州）有限公司
• 主分類號: F04B43/09
• 分類號: F04B43/09;F04B13/00
• 代理公司: 遼寧惟則知識產權代理事務所(普通合伙) 21273
• 代理人: 李巨智

1.一種精密定量液體供給裝置，其特征在于，包括泵送腔(4)、伸縮囊(9)及伸縮囊伸縮驅動機構，其中伸縮囊(9)容置于泵送腔(4)內，伸縮囊(9)內盛裝有工作液(10)，伸縮囊伸縮驅動機構設置于泵送腔(4)的外側，且與伸縮囊(9)連接，伸縮囊伸縮驅動機構通過改變伸縮囊(9)內工作液(10)的容積來驅動伸縮囊(9)伸縮，從而實現泵送腔(4)吸液和供液；

所述伸縮囊(9)為兩端均封閉的波紋管結構，且所述伸縮囊(9)的一端與所述泵送腔(4)一端內壁連接，所述伸縮囊(9)的另一端可向沿所述泵送腔(4)的軸向伸縮；

所述伸縮囊伸縮驅動機構包括液壓缸(12)和直線驅動機構，其中液壓缸(12)通過工作液輸送管路(11)與所述伸縮囊(9)連接，液壓缸(12)的活塞桿(13)與直線驅動機構連接，直線驅動機構用于驅動活塞桿(13)往復直線運動，從而改變所述伸縮囊(9)內工作液(10)的容積大小。

2.根據權利要求1所述的精密定量液體供給裝置，其特征在于，所述直線驅動機構包括固定座、絲母(14)、絲杠(15)及電機(16)，其中絲杠(15)轉動安裝在固定座上，絲母(14)與絲杠(15)螺紋連接，絲母(14)通過連接件與所述活塞桿(13)連接，電機(16)設置于固定座上且輸出端與絲杠(15)的端部連接。

3.根據權利要求2所述的精密定量液體供給裝置，其特征在于，所述絲杠(15)與所述活塞桿(13)平行設置。

4.根據權利要求1-3任一項所述的精密定量液體供給裝置，其特征在于，還包括儲液罐(1)、吸液管(2)、供液管(7)及噴嘴(8)，其中儲液罐(1)通過吸液管(2)與所述泵送腔(4)的吸液口連接，噴嘴(8)通過供液管(7)與所述泵送腔(4)的排液口連接。

5.根據權利要求4所述的精密定量液體供給裝置，其特征在于，所述吸液管(2)和所述供液管(7)連接在所述泵送腔(4)的另一端，且對稱設置。

6.根據權利要求4所述的精密定量液體供給裝置，其特征在于，所述吸液管(2)上設有單向閥Ⅰ(3)，所述供液管(7)上設有單向閥Ⅱ(6)。

7.根據權利要求4所述的精密定量液體供給裝置，其特征在于，所述吸液管(2)和所述供液管(7)上均設有氣動閥。