[實(shí)用新型]一種精密定量液體供給裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202223359151.5
• 申請日: 2022-12-13
• 公開（公告）號: CN218669753U
• 公開（公告）日: 2023-03-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王陽;魏猛;劉瑩
• 申請（專利權(quán)）人: 芯達(dá)半導(dǎo)體設(shè)備（蘇州）有限公司
• 主分類號: F04B43/09
• 分類號: F04B43/09;F04B13/00
• 代理公司: 遼寧惟則知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 21273
• 代理人: 李巨智

1.一種精密定量液體供給裝置，其特征在于，包括泵送腔(4)、伸縮囊(9)及伸縮囊伸縮驅(qū)動機(jī)構(gòu)，其中伸縮囊(9)容置于泵送腔(4)內(nèi)，伸縮囊(9)內(nèi)盛裝有工作液(10)，伸縮囊伸縮驅(qū)動機(jī)構(gòu)設(shè)置于泵送腔(4)的外側(cè)，且與伸縮囊(9)連接，伸縮囊伸縮驅(qū)動機(jī)構(gòu)通過改變伸縮囊(9)內(nèi)工作液(10)的容積來驅(qū)動伸縮囊(9)伸縮，從而實(shí)現(xiàn)泵送腔(4)吸液和供液；

所述伸縮囊(9)為兩端均封閉的波紋管結(jié)構(gòu)，且所述伸縮囊(9)的一端與所述泵送腔(4)一端內(nèi)壁連接，所述伸縮囊(9)的另一端可向沿所述泵送腔(4)的軸向伸縮；

所述伸縮囊伸縮驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括液壓缸(12)和直線驅(qū)動機(jī)構(gòu)，其中液壓缸(12)通過工作液輸送管路(11)與所述伸縮囊(9)連接，液壓缸(12)的活塞桿(13)與直線驅(qū)動機(jī)構(gòu)連接，直線驅(qū)動機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動活塞桿(13)往復(fù)直線運(yùn)動，從而改變所述伸縮囊(9)內(nèi)工作液(10)的容積大小。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的精密定量液體供給裝置，其特征在于，所述直線驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括固定座、絲母(14)、絲杠(15)及電機(jī)(16)，其中絲杠(15)轉(zhuǎn)動安裝在固定座上，絲母(14)與絲杠(15)螺紋連接，絲母(14)通過連接件與所述活塞桿(13)連接，電機(jī)(16)設(shè)置于固定座上且輸出端與絲杠(15)的端部連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的精密定量液體供給裝置，其特征在于，所述絲杠(15)與所述活塞桿(13)平行設(shè)置。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的精密定量液體供給裝置，其特征在于，還包括儲液罐(1)、吸液管(2)、供液管(7)及噴嘴(8)，其中儲液罐(1)通過吸液管(2)與所述泵送腔(4)的吸液口連接，噴嘴(8)通過供液管(7)與所述泵送腔(4)的排液口連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的精密定量液體供給裝置，其特征在于，所述吸液管(2)和所述供液管(7)連接在所述泵送腔(4)的另一端，且對稱設(shè)置。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的精密定量液體供給裝置，其特征在于，所述吸液管(2)上設(shè)有單向閥Ⅰ(3)，所述供液管(7)上設(shè)有單向閥Ⅱ(6)。

7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的精密定量液體供給裝置，其特征在于，所述吸液管(2)和所述供液管(7)上均設(shè)有氣動閥。