[實用新型]舉升組件和冷卻裝置

有效

• 申請號: 202223342730.9
• 申請日: 2022-12-13
• 公開（公告）號: CN219551202U
• 公開（公告）日: 2023-08-18
• 發明（設計）人: 張忠濤;段世飛;尹嘉琦;胡亞濤;高暢
• 申請（專利權）人: 連城凱克斯科技有限公司
• 主分類號: F27D9/00
• 分類號: F27D9/00;C30B29/06;C30B15/00
• 代理公司: 北京易捷勝知識產權代理有限公司 11613
• 代理人: 薛曉萌

本實用新型涉及一種舉升組件和冷卻裝置，包括圓筒狀的機架、滑移架和驅動件，滑移架位于機架內且可相對機架進行豎向滑移，滑移架包括本體和舉升部，本體設置為可沿豎向滑移，舉升部設于本體且沿徑向延伸，用于舉升預定單元，驅動件設于機架且與滑移架驅動連接，其有益效果是滑移架用于執行上下運行的動作，以實現預定單元如單晶爐側保溫壁的舉升，驅動件和滑移架之間橫向設置，如此便可避免二者占用機架下部的空間，因此，有利于舉升組件豎向結構的緊湊性；可避免在單晶爐的底部開孔，避免出現影響單晶爐爐底底部冷卻水流通量，以及在開孔處發生泄漏的潛在問題，進而提高了單晶爐冷卻效率以及單晶爐的安全性。

技術領域

本實用新型涉及單晶爐冷卻的技術領域，尤其涉及一種舉升組件和冷卻裝置。

背景技術

單晶爐是一種在惰性氣體環境中，用石墨場將多晶硅等多晶材料熔化用直拉法生長無錯位單晶的設備，為了對塌內的硅液進行保溫，塌與單晶爐的爐壁間一般設置有側保溫壁。

每拉制完至少一根硅棒后，或對單晶爐進行檢修維護時，均需要對單晶爐的爐腔進行冷卻，促進堆場散熱降溫，冷卻過程中，覆蓋在堆場周側的側保溫壁勢必降低堆場的冷卻速度。

目前，在相關技術中，如專利號為CN217351612U的實用新型專利中，是通過在單晶爐的爐底上開孔，從爐底下方安裝頂升機構，從下方將熱場的側保溫壁頂起，通過此種方式來減少側保溫壁覆蓋坩堝的面積，進而使得內部坩堝可以直接與外部的水冷爐體進行熱交換，從而加快單晶爐的冷卻速度。

但是在該技術方案中，由于頂升機構設于爐底，因此占用了爐底下方的空間，使爐底下方空間更加局促，且不利于原設備真空管道布局及設備的維護檢修；同時，在爐底開孔，會影響爐底冷卻水流通量，影響內部熱場溫度，并且，若爐內發生漏硅事故，容易從開孔處燙穿，造成更大范圍的損失，具備安全隱患。

實用新型內容

(一)要解決的技術問題

鑒于現有技術的上述缺點、不足，本實用新型提供一種舉升組件，其解決了相關技術中頂升機構設于爐底存在的使爐底下方空間更加局促、影響內部熱場溫度以及存在安全隱患的技術問題。

(二)技術方案

為了達到上述目的，本實用新型采用的主要技術方案包括：

第一方面，本實用新型實施例提供一種舉升組件，包括圓筒狀的機架、滑移架和驅動件，滑移架位于機架內且可相對機架進行豎向滑移，滑移架包括本體和舉升部，本體設置為可沿豎向滑移，舉升部設于本體且沿徑向延伸，用于舉升預定單元，驅動件設于機架且與滑移架驅動連接，用于驅動滑移架相對于機架進行豎向滑移，其中，驅動件相對于機架位于滑移架的徑向外側。

在該技術方案中，舉升組件包括機架、滑移架和驅動件，機架作為滑移架和驅動件的裝配基體，滑移架用于執行上下運行的動作，以實現預定單元如單晶爐側保溫壁的舉升，驅動件則用來帶動滑移架進行豎向滑移，同時為滑移架的滑移提供限位，使得滑移架具備可限位的滑動的功能。

驅動件和滑移架之間橫向設置，如此便可避免二者占用機架下部的空間，因此，有利于舉升組件豎向結構的緊湊性；

同時，在該技術方案中，滑移架上的舉升部橫向延伸，如此一來，在對預定的部件如單晶爐的保溫壁進行舉升時，可以使得舉升部橫向延伸至單晶爐內部，并承托單晶爐的側保溫壁，如此便可避免在單晶爐的底部開孔，避免出現影響單晶爐爐底底部冷卻水流通量，以及在開孔處發生泄漏的潛在問題。

具體的，機架和滑移架可均為金屬材質，驅動件本身要具備自鎖功能，以實現滑移架的滑動限制。

在本實用新型的一個技術方案中，舉升組件還包括滑移基體，滑移基體設于機架，滑移架與滑移基體豎向滑動連接。