[實用新型]晶圓上下料機構

有效

• 申請號: 202223321984.2
• 申請日: 2022-12-12
• 公開（公告）號: CN218918819U
• 公開（公告）日: 2023-04-25
• 發明（設計）人: 姜王敏;郜福亮;彭方方;胡君君
• 申請（專利權）人: 常州銘賽機器人科技股份有限公司;上海銘唯特瑞半導體科技有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/673
• 代理公司: 常州至善至誠專利代理事務所(普通合伙) 32409
• 代理人: 朱麗莎

1.一種晶圓上下料機構，其特征在于，包括：

平臺(40)；

升降機構(41)，所述升降機構(41)安裝在所述平臺(40)上；

晶圓盒(401)，所述晶圓盒(401)安裝在所述升降機構(41)上，所述晶圓盒(401)內堆疊有多個晶圓，所述升降機構(41)驅動所述晶圓盒(401)進行升降運動；

取放機構(42)，所述取放機構(42)安裝在所述平臺(40)上，所述取放機構(42)用于將所述晶圓從所述晶圓盒(401)中抓取出來，并將所述晶圓抓取放回所述晶圓盒(401)中。

2.根據權利要求1所述的晶圓上下料機構，其特征在于，所述升降機構(41)包括：

座板(411)，所述座板(411)豎直安裝在所述平臺(40)上；

導軌滑塊組件(412)，所述導軌滑塊組件(412)設置在所述座板(411)上；

絲桿螺母組件(413)，所述絲桿螺母組件(413)設置在所述座板(411)上，所述絲桿螺母組件(413)與所述導軌滑塊組件(412)相平行；

安裝座(415)，所述導軌滑塊組件(412)上的滑塊、所述絲桿螺母組件(413)上的螺母均與所述安裝座(415)相連，所述晶圓盒(401)放置在所述安裝座(415)上。

3.根據權利要求2所述的晶圓上下料機構，其特征在于，所述座板(411)的上端和下端均設有第一限位塊(414)，所述安裝座(415)在兩個所述第一限位塊(414)之間活動。

4.根據權利要求2所述的晶圓上下料機構，其特征在于，所述絲桿螺母組件(413)上的絲桿通過聯軸器(417)與電機(416)直聯，所述電機(416)安裝在所述座板(411)上。

5.根據權利要求2所述的晶圓上下料機構，其特征在于，所述安裝座(415)的上表面設置有多個第二限位塊(418)和多個光電開關(419)，所述第二限位塊(418)與所述安裝座(415)可拆卸相連，所述第二限位塊(418)用于在放置晶圓盒(401)時進行限位，所述光電開關(419)用于識別對應尺寸的晶圓盒(401)。

6.根據權利要求1所述的晶圓上下料機構，其特征在于，所述取放機構(42)包括：

支架(421)，所述支架(421)安裝在所述平臺(40)上，所述支架(421)上安裝有橫梁(422)；

同步帶組件(423)，所述同步帶組件(423)設在所述橫梁(422)上；

第一直線導軌(424)，所述第一直線導軌(424)設在所述橫梁(422)上，所述第一直線導軌(424)與所述同步帶組件(423)相平行；

夾爪支架(425)，所述夾爪支架(425)的一端與所述同步帶組件(423)相連，所述夾爪支架(425)的一端與所述第一直線導軌(424)滑動相連，所述夾爪支架(425)的另一端安裝有夾爪組件。

7.根據權利要求6所述的晶圓上下料機構，其特征在于，所述夾爪組件包括：

升降氣缸(426)，所述升降氣缸(426)安裝在所述夾爪支架(425)的另一端；

第一安裝塊(427)，所述第一安裝塊(427)與所述升降氣缸(426)的輸出端相連；

下夾爪(428)，所述下夾爪(428)安裝在所述第一安裝塊(427)上；

上夾爪(4281)，所述上夾爪(4281)設在所述第一安裝塊(427)上，所述上夾爪(4281)位于所述下夾爪(428)的上方，所述上夾爪(4281)能夠靠近或遠離所述下夾爪(428)。

8.根據權利要求7所述的晶圓上下料機構，其特征在于，所述上夾爪(4281)安裝在第二安裝塊(4271)上，所述第二安裝塊(4271)通過第二直線導軌(4272)與所述第一安裝塊(427)滑動相連，所述第一安裝塊(427)上設有壓緊氣缸(429)，所述壓緊氣缸(429)的輸出端與所述第二安裝塊(4271)相連。