[實用新型]一種高純氬氣的提純系統

有效

• 申請號: 202223313621.4
• 申請日: 2022-12-08
• 公開（公告）號: CN218653792U
• 公開（公告）日: 2023-03-21
• 發明（設計）人: 蘇以時;鄭海軍;葛漢霄
• 申請（專利權）人: 深圳高發氣體股份有限公司
• 主分類號: B01D53/75
• 分類號: B01D53/75;B01D53/77;B01D53/76;B01D53/26
• 代理公司: 深圳維啟專利代理有限公司 44827
• 代理人: 李月俄

1.一種高純氬氣的提純系統，其特征在于：沿氣體輸入方向依次包括氣源瓶(1)、燃燒倉(2)、提純倉(3)和集氣瓶(4)，所述氣源瓶(1)中容納有初步提純的氬氣，所述燃燒倉(2)內設置有火花塞(21)，所述火花塞(21)用于引燃可燃氣體，所述提純倉(3)內設置有吸收盒(31)，所述吸收盒(31)容納有用于吸收氬氣中的雜質氣體的吸氣劑，吸氣劑所述集氣瓶(4)用于存儲高純度氬氣。

2.根據權利要求1所述的一種高純氬氣的提純系統，其特征在于：所述氣源瓶(1)與所述燃燒倉(2)之間設置有第一管道(11)，所述火花塞(21)位于所述第一管道(11)靠近所述燃燒倉(2)一端的管口，所述燃燒倉(2)上連通有氧氣瓶(5)，所述氧氣瓶(5)容納有純氧。

3.根據權利要求2所述的一種高純氬氣的提純系統，其特征在于：所述第一管道(11)上設置有第一控制閥(111)，所述氧氣瓶(5)與所述燃燒倉(2)之間連通有補償管(51)，所述補償管(51)上設置有第二控制閥(511)。

4.根據權利要求2所述的一種高純氬氣的提純系統，其特征在于：所述火花塞(21)靠近所述氧氣瓶(5)的一側設置有擋板(23)，所述擋板(23)位于所述燃燒倉(2)內，所述擋板(23)用于阻擋氧氣直噴至火花塞(21)。

5.根據權利要求1所述的一種高純氬氣的提純系統，其特征在于：所述燃燒倉(2)和所述提純倉(3)之間設置有除雜倉(6)，所述除雜倉(6)容納有用于吸收雜質氣體的吸收液，所述燃燒倉(2)與所述除雜倉(6)之間連通有第二管道(22)，所述第二管道(22)一端穿入所述除雜倉(6)且端部浸入吸收液，所述除雜倉(6)與所述提純倉(3)之間連通有第三管道(33)。

6.根據權利要求5所述的一種高純氬氣的提純系統，其特征在于：所述除雜倉(6)內設置有銅棒(61)，所述銅棒(61)內穿設有加熱絲(611)，所述加熱絲(611)外接與電源。

7.根據權利要求1所述的一種高純氬氣的提純系統，其特征在于：所述提純倉(3)內設置有分子篩(32)，所述分子篩(32)位于所述吸收盒(31)靠近所述提純倉(3)氣體輸入的一面，所述分子篩(32)用于干燥氣體。

8.根據權利要求1所述的一種高純氬氣的提純系統，其特征在于：所述提純倉(3)與所述集氣瓶(4)之間連通有第四管道(34)，所述第四管道(34)上設置有氣體單向閥(341)，所述氣體單向閥(341)僅向氣體輸入所述集氣瓶(4)的方向導通。