[實用新型]一種掩膜版夾具

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202223304507.5
• 申請日: 2022-12-09
• 公開（公告）號: CN218592817U
• 公開（公告）日: 2023-03-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳德澆;司繼偉;杜武兵
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市路維光電股份有限公司
• 主分類號: B25B11/00
• 分類號: B25B11/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種掩膜版夾具，包括外框(1)，其特征在于，還包括：

內(nèi)框(2)，連接于所述外框(1)并位于所述外框(1)內(nèi)部；

卡槽(3)，固定于所述內(nèi)框(2)的框邊上，用于卡持掩膜版；

固定塊(4)，固定連接于真空鍍膜設(shè)備；

連接組件(5)，與所述固定塊(4)對應(yīng)設(shè)置，所述連接組件(5)連接于所述外框(1)與固定塊(4)之間。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種掩膜版夾具，其特征在于，所述內(nèi)框(2)與外框(1)之間設(shè)有半自動旋轉(zhuǎn)機構(gòu)(6)，以使所述內(nèi)框(2)可相對于所述外框(1)轉(zhuǎn)動。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種掩膜版夾具，其特征在于，所述半自動旋轉(zhuǎn)機構(gòu)(6)包括連接塊(601)、轉(zhuǎn)軸(602)和連接板(603)，所述連接塊(601)固定于所述內(nèi)框(2)，所述連接板(603)固定于所述外框(1)，所述轉(zhuǎn)軸(602)的兩端分別轉(zhuǎn)動連接于所述連接塊(601)和連接板(603)。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種掩膜版夾具，其特征在于，所述外框(1)與內(nèi)框(2)之間還設(shè)有旋轉(zhuǎn)鎖止松脫機構(gòu)(11)，以鎖止所述內(nèi)框(2)的旋轉(zhuǎn)或松脫以使所述內(nèi)框(2)可旋轉(zhuǎn)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種掩膜版夾具，其特征在于，所述內(nèi)框(2)上還連接有橫桿(7)，所述橫桿(7)上設(shè)有卡槽(3)，所述橫桿(7)的兩端與所述內(nèi)框(2)的兩側(cè)框邊之間設(shè)有滑移固定組件(8)，以使所述橫桿(7)沿所述內(nèi)框(2)移動并固定。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種掩膜版夾具，其特征在于，所述滑移固定組件(8)包括滑軌(801)、滑塊(802)、固定孔A(803)，所述滑軌(801)設(shè)在所述內(nèi)框(2)的框邊上，所述橫桿(7)的兩端分別開設(shè)有槽體，所述滑塊(802)的一端嵌入所述滑軌(801)內(nèi)以與所述滑軌(801)滑動連接，另一端插入到所述槽體內(nèi)與橫桿(7)活動配合，所述固定孔A(803)開設(shè)在所述橫桿(7)的端部側(cè)面上并與所述槽體相通，所述固定孔A(803)配合有固定螺絲。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種掩膜版夾具，其特征在于，所述橫桿(7)上還對稱設(shè)有角板(9)，所述角板(9)與所述橫桿(7)活動配合，所述角板(9)的一側(cè)面上設(shè)有緊固螺孔(605)，緊固螺孔(605)配合有緊固螺釘，擰緊或擰松所述緊固螺釘以使所述角板(9)與橫桿(7)固定或使所述角板(9)可沿所述橫桿(7)移動；

所述角板(9)上固定設(shè)有支撐槽體(10)，所述支撐槽體(10)上具有與掩膜版的端部對應(yīng)的通槽(1001)。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種掩膜版夾具，其特征在于，所述橫桿(7)設(shè)置兩個。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種掩膜版夾具，其特征在于，所述連接組件(5)與所述固定塊(4)采用螺釘連接。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種掩膜版夾具，其特征在于，所述連接組件(5)包括第一連接體(501)、連接桿(502)和第二連接體(503)，所述第一連接體(501)連接所述外框(1)，所述第二連接體(503)連接所述固定塊(4)，所述連接桿(502)的兩端分別轉(zhuǎn)動連接于所述第一連接體(501)、第二連接體(503)。