[實用新型]一種真空腔體組件

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202223299057.5
• 申請日: 2022-12-09
• 公開（公告）號: CN219066768U
• 公開（公告）日: 2023-05-23
• 發(fā)明（設計）人: 楊茂;易卓卓
• 申請（專利權(quán)）人: 無錫鑫運達真空技術有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L23/467
• 代理公司: 南京業(yè)騰知識產(chǎn)權(quán)代理事務所(特殊普通合伙) 32321
• 代理人: 楊靜

本實用新型公開了一種真空腔體組件，包括：真空箱和循環(huán)降溫機構(gòu)，真空箱的內(nèi)部安裝有真空內(nèi)膽，真空箱的內(nèi)部除去真空內(nèi)膽的空間為降溫腔；循環(huán)降溫機構(gòu)包括連接管、導風盤、回風板和導風管，導風管安裝在真空內(nèi)膽的外壁上且導風管的另一端與真空箱內(nèi)壁固定連接，真空箱的內(nèi)部開設有回風腔且回風腔與導風管連通。本實用新型在真空箱的內(nèi)部設置樂樂循環(huán)降溫機構(gòu)，帶動真空箱內(nèi)部空氣進行循環(huán)流通，并在流通的過程中將真空腔內(nèi)的熱量從導熱板表面導出，并在真空箱內(nèi)循環(huán)流通，減少外部空氣灰塵進入造成的一系列問題，同時還能夠通過降溫架來對循環(huán)流通的空氣進行降溫，使其能夠達到更好的降溫效果，避免外部空氣對散熱造成的影響。

技術領域

本實用新型涉及真空腔體技術領域，更具體為一種真空腔體組件。

背景技術

真空腔體是為減少了半導體應用中真空腔的個數(shù)而研發(fā)的，而晶圓容量幾乎不變。這種結(jié)構(gòu)采用了配備有壓差真空凹槽的預置空氣軸承的移動真空。產(chǎn)品的特點有改善的機臺定位的靜態(tài)、動態(tài)響應，抽氣時間、穩(wěn)定時間縮短等等。

目前，現(xiàn)有的真空腔腔體組件，在使用時散熱效果相對較差，在長時間的使用過程中容易導致內(nèi)部溫度過高，散熱方式大多是將外部空氣導入進行降溫，外部空氣溫度會隨著氣溫發(fā)生變化，外部溫度升高后會對降溫效果造成很大影響，且不便于對熱量進行收集，造成了熱能浪費。為此，需要設計一個新的方案給予改進。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于提供一種真空腔體組件，解決了現(xiàn)有的真空腔腔體組件，在使用時散熱效果相對較差，在長時間的使用過程中容易導致內(nèi)部溫度過高，散熱方式大多是將外部空氣導入進行降溫，外部空氣溫度會隨著氣溫發(fā)生變化，外部溫度升高后會對降溫效果造成很大影響，且不便于對熱量進行收集，造成了熱能浪費的問題，滿足實際使用需求。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種真空腔體組件，包括：真空箱和循環(huán)降溫機構(gòu)，所述真空箱的內(nèi)部安裝有真空內(nèi)膽，真空箱的內(nèi)部除去真空內(nèi)膽的空間為降溫腔；

所述循環(huán)降溫機構(gòu)包括連接管、導風盤、回風板和導風管，所述導風管安裝在真空內(nèi)膽的外壁上且導風管的另一端與真空箱內(nèi)壁固定連接，所述真空箱的內(nèi)部開設有回風腔且回風腔與導風管連通，所述連接管安裝在真空內(nèi)膽的背面中部且連接管的另一端與真空箱的內(nèi)壁連接，所述導風盤安裝在真空箱的背部，所述回風板安裝在導風盤的外壁上且呈十字型分布，回風板的端部與回風腔相連通。

作為本實用新型的一種優(yōu)選實施方式，所述真空內(nèi)膽的內(nèi)部?設置有真空腔和導熱腔，所述導熱腔的內(nèi)部均勻排布有若干個導熱板，所述導熱板的一端延伸至真空腔內(nèi)部。

作為本實用新型的一種優(yōu)選實施方式，所述連接管的一端與導熱腔相連通、另一端與導風盤相連通，且連接管的內(nèi)部還安裝有風機和降溫架，所述風機靠近導熱腔，降溫架靠近導風盤。

作為本實用新型的一種優(yōu)選實施方式，所述降溫架的呈方形結(jié)構(gòu)且兩端分別安裝有導水管，所述導水管的端部延伸至真空箱外，降溫架的內(nèi)部水平設置有若干個與導水管連通的換熱管，所述換熱管的表面開設有換熱孔。

作為本實用新型的一種優(yōu)選實施方式，所述導熱板共設置若干個且等距分布，導熱板為蛇形結(jié)構(gòu)。

與現(xiàn)有技術相比，本實用新型的有益效果如下：

本實用新型，在真空箱的內(nèi)部設置樂樂循環(huán)降溫機構(gòu)，帶動真空箱內(nèi)部空氣進行循環(huán)流通，并在流通的過程中將真空腔內(nèi)的熱量從導熱板表面導出，并在真空箱內(nèi)循環(huán)流通，減少外部空氣灰塵進入造成的一系列問題，同時還能夠通過降溫架來對循環(huán)流通的空氣進行降溫，使其能夠達到更好的降溫效果，避免外部空氣對散熱造成的影響。

附圖說明

圖1為本實用新型所述真空腔體組件的外部結(jié)構(gòu)圖；

圖2為本實用新型所述真空腔體組件的內(nèi)部結(jié)構(gòu)圖；

圖3為本實用新型所述降溫架的結(jié)構(gòu)圖。