[實用新型]換能器、預緊裝配夾具組及半導體封裝設備

有效

• 申請號: 202223251470.4
• 申請日: 2022-12-02
• 公開（公告）號: CN219112112U
• 公開（公告）日: 2023-06-02
• 發明（設計）人: 龍知才
• 申請（專利權）人: 深圳齊探新技術有限公司
• 主分類號: B06B1/02
• 分類號: B06B1/02;H01L21/67;H01L21/607
• 代理公司: 深圳市恒程創新知識產權代理有限公司 44542
• 代理人: 孔德丞

1.一種換能器，其特征在于，所述換能器包括：

前蓋板；

陶瓷堆；

后蓋板，所述后蓋板外側面設有至少兩個第一止旋面，至少兩個所述第一止旋面沿所述后蓋板外側面間隔布置，以使所述后蓋板為多邊形結構；及

預緊螺栓，所述預緊螺栓的桿部依次穿設于所述后蓋板、所述陶瓷堆和所述前蓋板。

2.根據權利要求1所述的換能器，其特征在于，所述后蓋板為對稱多邊形結構，多個所述第一止旋面繞所述后蓋板的周向等間隔布置。

3.根據權利要求2所述的換能器，其特征在于，兩個相鄰的所述第一止旋面之間形成有第一過渡部。

4.根據權利要求3所述的換能器，其特征在于，所述前蓋板外側面設有至少兩個第二止旋面，至少兩個所述第二止旋面沿所述前蓋板外側面間隔布置，以使所述前蓋板為多邊形結構。

5.根據權利要求4所述的換能器，其特征在于，兩個相鄰的所述第二止旋面之間形成有第二過渡部。

6.根據權利要求1至5任一項中所述的換能器，其特征在于，所述前蓋板和所述后蓋板的形狀相同。

7.一種預緊裝配夾具組，其特征在于，應用于如權利要求1至6中任一項所述的換能器。

8.根據權利要求7所述的預緊裝配夾具組，其特征在于，所述預緊裝配夾具組包括兩個相對設置的夾具，兩個所述夾具圍合有預緊腔，所述預緊腔用于限位所述換能器，所述預緊腔間隔設有第一限位部和第二限位部，所述前蓋板限位于所述第一限位部，所述后蓋板限位于所述第二限位部。

9.根據權利要求8中所述的預緊裝配夾具組，其特征在于，所述后蓋板和所述第二限位部之間形成有縫隙；

且/或，所述預緊腔還設有與所述陶瓷堆配合的弧面限位部；

且/或，所述陶瓷堆的外表面凸出有多個電極片的伸出端，每一所述夾具上開設有多個限位槽，每一所述電極片的伸出端限位于一所述限位槽。

10.一種半導體封裝設備，其特征在于，包括如權利要求1至6中任一項所述的換能器。