[實用新型]一種全自動晶圓解鍵合裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202223237804.2
• 申請日: 2022-12-01
• 公開（公告）號: CN218769435U
• 公開（公告）日: 2023-03-28
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 彭金石;劉娟
• 申請（專利權(quán)）人: 上海博陸電子有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/677
• 代理公司: 南京常青藤知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32286
• 代理人: 汪姍姍

本實用新型涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種全自動晶圓解鍵合裝置，包括：機體，電動伸縮桿和移動塊，所述機體連接有固定板，所述電動伸縮桿連接有固定塊，所述固定塊連接有夾板一，所述移動塊連接有夾板二；有益效果為：首先通過液壓缸將工件收縮到機體的內(nèi)部，隨后啟動電動伸縮桿將固定塊移動到工件的一旁，然后啟動驅(qū)動電機帶動螺絲桿進行旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)動的同時通過螺紋孔以及滑塊和滑槽之間的作用，帶動移動塊前端的夾板二向夾板一處移動，移動到一定距離時，將工件進行夾持固定，并通過防滑保護墊防止在夾緊過程中對工件造成損壞，最后控制電動伸縮桿將工件通過出料口送出，以此來減少人工手動操作取出，提高工作效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種全自動晶圓解鍵合裝置。

背景技術(shù)

晶圓鍵合是晶圓級的封裝技術(shù)，用于制造微機電系統(tǒng)、納米機電系統(tǒng)、微電子學(xué)和光電子學(xué)，從而確保機械穩(wěn)定且密封的封裝，在封裝時需要對其進行夾緊，但是現(xiàn)有的夾緊裝置存在很多問題或缺陷。

中國專利CN 216488005 U公開了一種晶圓鍵合加壓裝置，包括柜體，柜體的頂部固定安裝有支撐臺，支撐臺上設(shè)置有設(shè)置有加壓在組件以及位于加壓組件下方的固定組件，加壓組件由支撐架、氣缸、支撐座、連接座、支撐桿、滑塊、連接桿、第一彈簧和加壓頭組成。本實用新型通過向上拉動拉桿能夠使橫板帶動頂桿上升，通過頂桿能夠?qū)⒅梦锱_內(nèi)的晶圓鍵合頂出，從而便于將加壓后的晶圓鍵合取出，提高了該加壓裝置的實用性，在氣缸推動支撐座下降的過程中，通過第一彈簧的作用力能夠?qū)訅侯^與晶圓鍵合接觸時的作用力進行緩沖，能夠減少接觸力過大導(dǎo)致晶圓鍵合發(fā)生損壞的情況，從而能夠進一步提高該加壓裝置的實用性。

但是，上述裝置在將加工完成后的工件取出時，每次都需要操作人員手動向上提拉拉桿，才能將加工后發(fā)的工件取出，十分麻煩，并且隨著時間的增加，操作人員的工作效率開始下降，從而影響產(chǎn)品的生產(chǎn)速度。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于提供一種全自動晶圓解鍵合裝置，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案：一種全自動晶圓解鍵合裝置，所述全自動晶圓解鍵合裝置包括：

機體，所述機體的內(nèi)部上端固定連接有固定板，所述固定板上壁設(shè)有液壓缸；

電動伸縮桿，固定連接在機體的后端內(nèi)壁上，所述電動伸縮桿的前端設(shè)有固定塊，所述固定塊連接有驅(qū)動電機和螺絲桿，所述固定塊的前端左側(cè)固定連接有夾板一；

移動塊，與螺絲桿相連，所述移動塊的下端固定連接有滑塊，所述移動塊的前端設(shè)有夾板二。

優(yōu)選的，所述固定板呈“L”形，所述固定板的右端上側(cè)壁與液壓缸固定連接。

優(yōu)選的，所述固定塊的側(cè)壁上開設(shè)有安裝槽，所述固定塊在安裝槽的右側(cè)壁上開設(shè)有放置槽。

優(yōu)選的，所述驅(qū)動電機的固定端固定連接在放置槽內(nèi)，所述驅(qū)動電機的輸出端與螺絲桿的一端固定連接。

優(yōu)選的，所述移動塊的左右側(cè)壁中間開設(shè)有螺紋孔，所述螺紋孔與螺絲桿之間螺紋連接。

優(yōu)選的，所述安裝槽的下側(cè)壁開設(shè)有滑槽，所述滑槽的內(nèi)壁與滑塊的外壁之間滑動連接。

優(yōu)選的，所述移動塊的前端側(cè)壁上設(shè)有夾板二，所述夾板二和夾板一的內(nèi)側(cè)壁上均固定連接有防滑保護墊。

優(yōu)選的，所述機體的前端轉(zhuǎn)動連接有箱門，所述箱門的前端側(cè)壁上方開設(shè)有出料口。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果是：