[實用新型]一種蒸鍍機用防濺射結構

有效

• 申請號: 202223230445.8
• 申請日: 2022-12-03
• 公開（公告）號: CN218910491U
• 公開（公告）日: 2023-04-25
• 發明（設計）人: 陳景升
• 申請（專利權）人: 江蘇微脈半導體技術研究院有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24
• 代理公司: 徐州新知科服知識產權代理有限公司 32634
• 代理人: 陳輝

1.一種蒸鍍機用防濺射結構，包括：箱體(1)、蒸鍍箱(2)和遮擋組件(3)，所述蒸鍍箱(2)安裝在所述箱體(1)的內部，并且，所述蒸鍍箱(2)的內部設置有用于薄膜蒸鍍的蒸鍍機構(21)，其特征在于，所述箱體(1)的內部位于所述蒸鍍箱(2)的一側設置有防護箱(11)，所述防護箱(11)的內部安裝有電機(12)，所述電機(12)的輸出端設置有轉軸(13)，所述轉軸(13)遠離所述電機(12)的一端貫穿所述防護箱(11)并延伸至所述防護箱(11)的上方，且所述轉軸(13)位于所述防護箱(11)上方的一端安裝有安裝框(14)，所述遮擋組件(3)包括隔熱板(31)、擋板(33)和承接板(35)，所述隔熱板(31)設置在所述蒸鍍箱(2)的上方，并且，所述隔熱板(31)的內部開設有空槽(311)，所述承接板(35)安裝在所述隔熱板(31)的頂部并位于基板的正下方，所述擋板(33)的頂部設置有滑板(331)，所述隔熱板(31)的底部兩端均設置有L型板(32)，所述滑板(331)安裝在兩個所述L型板(32)之間，且所述擋板(33)位于所述隔熱板(31)的下方并覆蓋在所述蒸鍍箱(2)的上方，所述隔熱板(31)遠離所述蒸鍍箱(2)的一端安裝在所述安裝框(14)的內部。

2.根據權利要求1所述的一種蒸鍍機用防濺射結構，其特征在于，所述安裝框(14)的內部開設有U型槽(141)，所述隔熱板(31)插接在所述U型槽(141)的內部。

3.根據權利要求1所述的一種蒸鍍機用防濺射結構，其特征在于，所述安裝框(14)的頂部設置有限位螺栓(15)，所述限位螺栓(15)貫穿于所述安裝框(14)并安裝在所述隔熱板(31)的內部。

4.根據權利要求1所述的一種蒸鍍機用防濺射結構，其特征在于，兩個所述L型板(32)之間具有滑槽(321)，所述滑板(331)安裝在所述滑槽(321)的內部。

5.根據權利要求4所述的一種蒸鍍機用防濺射結構，其特征在于，位于一側的所述L型板(32)的一側設置有擋蓋(34)，所述擋蓋(34)的側壁安裝有絞葉軸(341)，所述絞葉軸(341)的另一端安裝在所述L型板(32)的側壁，且所述擋蓋(34)通過所述絞葉軸(341)鉸接在所述L型板(32)上并覆蓋在所述滑槽(321)的一側。

6.根據權利要求5所述的一種蒸鍍機用防濺射結構，其特征在于，所述擋蓋(34)遠離所述絞葉軸(341)的一端設置有延伸板(342)，所述延伸板(342)貼合在另一側的所述L型板(32)的側壁，并且，所述延伸板(342)的外側設置有緊固螺栓(343)，所述緊固螺栓(343)貫穿所述延伸板(342)并安裝在所述滑板(331)的內部。

7.根據權利要求1所述的一種蒸鍍機用防濺射結構，其特征在于，所述隔熱板(31)的頂部均勻的設置有若干個支撐柱(36)，若干個所述支撐柱(36)遠離所述隔熱板(31)的一端均安裝在所述承接板(35)的下端面。