[實用新型]一種晶圓上下料夾爪

有效

• 申請號: 202223205725.3
• 申請日: 2022-12-01
• 公開（公告）號: CN218887163U
• 公開（公告）日: 2023-04-18
• 發明（設計）人: 鎖珍
• 申請（專利權）人: 蘇州八術激光技術有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687;H01L21/683;H01L21/677
• 代理公司: 蘇州智遠淺行知識產權代理事務所(普通合伙) 32693
• 代理人: 劉宏生

1.一種晶圓上下料夾爪，包括底板（1），其特征在于：所述底板（1）頂部兩側固定連接有定位柱，所述定位柱外圍套設連接有定位套，所述定位套頂部固定連接有托板（2），所述托板（2）頂部中心處固定連接有旋轉箱（3），所述旋轉箱（3）內部設有傳動軸，所述傳動軸頂部固定連接有C字型固定架，所述C字型固定架內部固定連接有驅動箱（4），所述驅動箱（4）下方設有安裝架，所述安裝架內部固定連接有抽氣泵（5），所述抽氣泵（5）一側通過管道固定連接有吸氣盤（6），所述吸氣盤（6）底部固定連接有夾持裝置（7）。

2.根據權利要求1所述的一種晶圓上下料夾爪，其特征在于：所述底板（1）頂部固定連接有滑軌，所述滑軌頂部滑動連接有滑塊，所述滑塊頂部轉動連接有升降桿，所述升降桿頂部與托板（2）底部轉動連接，所述升降桿之間轉動連接有第一電動伸縮桿（8）。

3.根據權利要求1所述的一種晶圓上下料夾爪，其特征在于：所述旋轉箱（3）內部固定連接有隔板，所述隔板底部兩側固定連接有傳動電機，所述傳動電機輸出端固定連接有第一齒輪（9），所述第一齒輪（9）嚙合連接有第二齒輪（10），所述第二齒輪（10）軸心處與傳動軸固定連接，所述傳動軸底部與隔板頂部轉動連接。

4.根據權利要求1所述的一種晶圓上下料夾爪，其特征在于：所述驅動箱（4）一側固定連接有伺服電機，所述伺服電機輸出端固定連接有絲桿（11），所述絲桿（11）外圍螺紋連接有螺紋套（12），所述螺紋套（12）頂部與驅動箱（4）內壁滑動連接，所述螺紋套（12）底部與安裝架頂部固定連接。

5.根據權利要求1所述的一種晶圓上下料夾爪，其特征在于：所述吸氣盤（6）底部中心處開設有吸嘴（13），所述夾持裝置（7）包括固定環（14），所述固定環（14）外圍固定連接有防護框，所述防護框內部固定連接有第二電動伸縮桿（15），所述第二電動伸縮桿（15）末端貫穿固定環（14）外壁固定連接有安裝板。

6.根據權利要求5所述的一種晶圓上下料夾爪，其特征在于：所述安裝板一側固定連接有阻尼緩沖彈簧，所述阻尼緩沖彈簧末端固定連接有弧形夾持板（16）。