[實用新型]一種半導體設備傳動輸送機構

有效

• 申請號: 202223201098.6
• 申請日: 2022-11-30
• 公開（公告）號: CN218908585U
• 公開（公告）日: 2023-04-25
• 發明（設計）人: 代永宣
• 申請（專利權）人: 昆山市廣程機械設備有限公司
• 主分類號: B65G13/06
• 分類號: B65G13/06;B65G39/09;B08B3/02
• 代理公司: 蘇州彰尚知識產權代理事務所(普通合伙) 32336
• 代理人: 周勤徑

本實用新型公開了一種半導體設備傳動輸送機構，其包括支架底板，所述支架底板上設置有兩處主動軸支架板和兩處從動軸支架板，所述兩處主動軸支架板上設置有主動軸，所述兩處從動軸支架板上設置有從動軸，所述主動軸與從動軸垂直，所述主動軸上固定設置有主動磁力輪，所述從動軸上固定設置有從動磁力輪，所述主動磁力輪與從動磁力輪鄰近且相對設置，所述主動磁力輪轉動時帶動從動磁力輪轉動。本實用新型的清洗設備采用無接觸動力傳動方式，在清洗設備對半導體產品進行傳動輸送和清洗時不會產生金屬碎屑或金屬粉塵，有利于保證生產車間的無塵環境符合生產要求。

技術領域

本實用新型涉及半導體產品清洗設備技術領域，具體涉及一種半導體設備傳動輸送機構。

背景技術

在半導體產品以及其他電子產品的工業生產中，很多的半導體產品和電子元器件在包裝出貨前或者是上線使用前要進行清洗，要保證電子元器件的清潔干凈，并且要求生產車間是無塵環境，對生產車間的無塵環境要求很高，但是傳統的半導體產品清洗設備在移動清洗的半導體產品時，設備中的傳動輸送機構往往使用的是普通鋼質齒輪進行傳動，普通鋼質齒輪彼此嚙合，在傳動過程中會有摩擦和碰撞，因此會產生金屬碎屑或金屬粉塵，對生產車間的無塵環境產生不良影響，對半導體產品帶來不良影響。

實用新型內容

本實用新型主要解決的技術問題是提供一種半導體設備傳動輸送機構，該清洗設備采用無接觸動力傳動方式，在清洗設備對半導體產品進行傳動輸送和清洗時不會產生金屬碎屑或金屬粉塵，有利于保證生產車間的無塵環境符合生產要求。

為解決上述技術問題，本實用新型采用的技術方案是：提供一種半導體設備傳動輸送機構，包括支架底板，所述支架底板上設置有兩處主動軸支架板和兩處從動軸支架板，所述兩處主動軸支架板上設置有主動軸，所述兩處從動軸支架板上設置有從動軸，所述主動軸與從動軸垂直，所述主動軸上固定設置有主動磁力輪，所述從動軸上固定設置有從動磁力輪，所述主動磁力輪與從動磁力輪鄰近且相對設置，所述主動磁力輪轉動時帶動從動磁力輪轉動。

在本實用新型一個較佳實施例中，所述主動磁力輪和從動磁力輪上均設置有磁鐵。

在本實用新型一個較佳實施例中，所述主動磁力輪的外緣與從動磁力輪的外緣之間具有1-5mm的間隙。

在本實用新型一個較佳實施例中，所述從動軸上設置有摩擦輪，所述摩擦輪上方設置有產品框架，所述產品框架的底部與摩擦輪的外周面接觸，所述摩擦輪轉動時帶動產品框架直線移動。

在本實用新型一個較佳實施例中，所述兩處從動軸支架板上分別設置有軸承座，所述從動軸的兩端分別可轉動地設置在軸承座內。

本實用新型的有益效果是：本實用新型的半導體設備傳動輸送機構通過采用無接觸動力傳動方式，即使用帶磁鐵的主動磁力輪和從動磁力輪、利用主動磁力輪與從動磁力輪之間的磁力進行傳動，主動磁力輪帶動從動磁力輪旋轉，進而帶動放置半導體產品的產品框架直線移動，同時清洗設備對半導體產品進行噴水清洗，在清洗設備對半導體產品進行傳動輸送和清洗時不會產生金屬碎屑或金屬粉塵，有利于保證生產車間的無塵環境符合生產要求。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例中的技術方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其它的附圖，其中：

圖1是本實用新型的半導體設備傳動輸送機構的結構示意圖主視圖；

圖2是本實用新型的半導體設備傳動輸送機構的結構示意圖側視圖。

附圖標號說明：1、支架底板，2、主動軸支架板，3、主動軸，4、主動磁力輪，5、從動軸支架板，6、從動軸，7、從動磁力輪，8、軸承座，9、摩擦輪，10、產品框架。

具體實施方式