[實用新型]一種涉及光柵的制作裝置

有效

• 申請號: 202223191964.8
• 申請日: 2022-11-29
• 公開（公告）號: CN218866139U
• 公開（公告）日: 2023-04-14
• 發明（設計）人: 沈栩民;鄭偉偉;趙懋;王輝
• 申請（專利權）人: 常州光芯集成光學有限公司
• 主分類號: G02B5/18
• 分類號: G02B5/18;G03F7/20
• 代理公司: 常州國洸專利代理事務所(普通合伙) 32467
• 代理人: 吳麗娜

1.一種涉及光柵的制作裝置，包括長方體結構的六軸調節平臺，其特征在于：所述六軸調節平臺上表面放置有一塊待加工晶圓，所述待加工晶圓上表面沿著其直徑位置垂直緊貼設置有一塊長方體結構的多模干涉耦合器，在多模干涉耦合器上方還接觸設置有一塊片狀結構的平板光波導，所述平板光波導和多模干涉耦合器前表面相互垂直，在平板光波導上方還設置有光源組合機構，所述光源組合機構包括位于頂部的出射光源，在出射光源下方設置有一塊柱形透鏡，在柱形透鏡下方還設置有一塊光闌。

2.根據權利要求1所述的一種涉及光柵的制作裝置，其特征在于：所述待加工晶圓材質為光學玻璃，形狀為圓盤形，待加工晶圓的直徑為4寸或6寸。

3.根據權利要求1所述的一種涉及光柵的制作裝置，其特征在于：所述平板光波導厚度為0.8～1.5μm，寬度為10～40mm，所述平板光波導的寬度和多模干涉耦合器的厚度相等。

4.根據權利要求1所述的一種涉及光柵的制作裝置，其特征在于：所述光源組合機構和平面光波導的設置位置處于同一直線上。

5.根據權利要求1所述的一種涉及光柵的制作裝置，其特征在于：所述出射光源的入射角度和柱形透鏡上表面相互垂直。

6.根據權利要求1所述的一種涉及光柵的制作裝置，其特征在于：光闌沿水平方向設置，光闌的安裝位置位于柱形透鏡的焦點處。