[實用新型]cvd金剛石制備反應腔冷卻結構有效

申請號：	202223191764.2	申請日：	2022-11-30
公開（公告）號：	CN219099303U	公開（公告）日：	2023-05-30
發明（設計）人：	劉小利	申請（專利權）人：	常州寶頤金剛石科技有限公司
主分類號：	C23C16/44	分類號：	C23C16/44;C23C16/27;F25D17/02
代理公司：	暫無信息	代理人：	暫無信息
地址：	213000 江蘇省***	國省代碼：	江蘇;32
權利要求書：	查看更多	說明書：	查看更多
摘要：
搜索關鍵詞：	cvd 金剛石制備反應冷卻結構
鉆瓜網技術展會專利詞庫專利權人專利榜在售專利公布日期熱門專利

【權利要求書】：

1.一種cvd金剛石制備反應腔冷卻結構，其特征在于：包括外層圓柱腔（1）、內層反應腔（6）、第一隔水板（81）和第二隔水板（82），所述內層反應腔（6）置于外層圓柱腔（1）內，所述內層反應腔（6）的外壁上呈環形陣列設置有縱向條狀凹槽（7），所述外層圓柱腔（1）上設置有第一進水口（2）、第二進水口（3）、第一回水口（4）、第二回水口（5），所述第一隔水板（81）和第二隔水板（82）對稱且固定安裝在外層圓柱腔（1）的內壁上，所述第一隔水板（81）和第二隔水板（82）將外層圓柱腔（1）、內層反應腔（6）之間的區域分隔為第一冷卻區域（11）和第二冷卻區域（12），所述第一進水口（2）、第一回水口（4）連通至第一冷卻區域（11），所述第二進水口（3）、第二回水口（5）連通至第二冷卻區域（12）。

2.根據權利要求1所述的cvd金剛石制備反應腔冷卻結構，其特征在于：所述縱向條狀凹槽（7）的深度設置為3mm-4mm。

3.根據權利要求1所述的cvd金剛石制備反應腔冷卻結構，其特征在于：所述第一隔水板（81）和第二隔水板（82）的內端與內層反應腔（6）的外壁之間存在5mm-8mm的間隙。

下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。

免登錄下載普通用戶下載升級VIP會員，免費下載

該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于常州寶頤金剛石科技有限公司，未經常州寶頤金剛石科技有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】

本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/202223191764.2/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。