[實用新型]一種新型限位機構有效
| 申請號: | 202223175356.8 | 申請日: | 2022-11-29 |
| 公開(公告)號: | CN218939639U | 公開(公告)日: | 2023-04-28 |
| 發明(設計)人: | 李強;衣振洲;王朋達;孫超;李全普;沈歡;鄧潔 | 申請(專利權)人: | 連智(大連)智能科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/687 | 分類號: | H01L21/687 |
| 代理公司: | 大連智高專利事務所(特殊普通合伙) 21235 | 代理人: | 張欽 |
| 地址: | 116033 遼寧省*** | 國省代碼: | 遼寧;21 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 新型 限位 機構 | ||
1.一種限位機構,其特征是,包括框架、導向滑軌支架(3),導向滑軌支架(3)設置框架上,導向滑軌支架(3)另一端連接滑塊,滑塊的下方設置托盤(1),托盤(1)上設置滑軌(4);導向滑軌支架(3)與滑軌(4)之間通過滑塊連接,托盤(1)前端開設有通孔用于滑軌(4)前端伸出設置,滑軌(4)的下方固定設置滑軌連接板,滑軌連接板上設有驅動氣缸(5),滑塊、導向滑軌支架(3)的個數按滑軌(4)個數對應設置;每個滑軌(4)前端均設有頂輪(2)。
2.如權利要求1所述的一種限位機構,其特征是,所述驅動氣缸(5)為無桿氣缸。
3.如權利要求2所述的一種限位機構,其特征是,驅動氣缸(5)通過氣缸連接件(6)與滑軌連接板連接。
4.如權利要求3所述的一種限位機構,其特征是,驅動氣缸(5)通過固定支架與框架連接固定。
5.如權利要求4所述的一種限位機構,其特征是,滑塊與導向滑軌支架(3)通過螺栓連接固定。
6.如權利要求5所述的一種限位機構,其特征是,滑軌(4)長度在1m以上。
7.如權利要求6所述的一種限位機構,其特征是,所述滑軌(4)為直線滑軌。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





