[實用新型]一種平面陰極供氣系統管路

有效

• 申請號: 202223174337.3
• 申請日: 2022-11-29
• 公開（公告）號: CN218666262U
• 公開（公告）日: 2023-03-21
• 發明（設計）人: 匡國慶;匡靜;萬安江
• 申請（專利權）人: 鎮江市德利克真空設備科技有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 南京創略知識產權代理事務所(普通合伙) 32358
• 代理人: 嚴靖

1.一種平面陰極供氣系統管路，其特征在于，包括管路座（1）以及沿長度方向設置于所述管路座（1）上的多個上壓條（2）；

所述管路座（1）的其中一面上開設有至少一個主氣口（3），另一面上至少開設有一個輔氣口（4）；

每個所述主氣口（3）依次連接主一級分氣路、主二級分氣路和主三級分氣路，且主三級分氣路與所述管路座（1）上開設的緩沖室（5），使得主氣口（3）的氣流經過主一級分氣路、主二級分氣路和主三級分氣路后進入所述緩沖室（5）；

每個所述輔氣口（4）依次連接輔一級分氣路、輔二級分氣路和輔三級分氣路；

每個所述上壓條（2）內至少開設有一個混合腔（201），所述緩沖室（5）以及每個所述輔氣口（4）的輔三級分氣路端部均與所述混合腔（201）連通，使得主氣口（3）與所述輔氣口（4）導入的氣體在所述混合腔（201）內進行混合。

2.如權利要求1所述的一種平面陰極供氣系統管路，其特征在于，每個所述上壓條（2）上均開設有出氣口（202），通過所述出氣口（202）將所述混合腔（201）內的混合氣體導入真空室。

3.如權利要求1所述的一種平面陰極供氣系統管路，其特征在于，所述主氣口（3）開設有兩個，分別為對稱分布于所述管路座（1）兩側的第一主氣口和第二主氣口。

4.如權利要求3所述的一種平面陰極供氣系統管路，其特征在于，所述主氣口（3）的主一級分氣路為單一氣路，而主二級分氣路和主三級分氣路均為一分為二氣路結構，使得每個所述主氣口（3）經主一級分氣路、主二級分氣路和主三級分氣路分流后形成四條分氣流進入緩沖室（5）。

5.如權利要求4所述的一種平面陰極供氣系統管路，其特征在于，所述緩沖室（5）開設有兩個，分別用于緩沖第一主氣口和第二主氣口導入的氣體。

6.如權利要求1所述的一種平面陰極供氣系統管路，其特征在于，所述輔氣口（4）開設有9個，均勻分布于所述管路座（1）上。

7.如權利要求6所述的一種平面陰極供氣系統管路，其特征在于，每個所述輔氣口（4）的輔一級分氣路為單一氣路，而輔二級分氣路和輔三級分氣路均為一分為二氣路結構，使得每個所述輔氣口（4）經輔一級分氣路、輔二級分氣路和輔三級分氣路分流后形成四條分氣流。

8.如權利要求7所述的一種平面陰極供氣系統管路，其特征在于，所述上壓條（2）設有9個，每個所述上壓條（2）中開設有4個混合腔（201），每個混合腔（201）均對應輔三級分氣路端部的一條氣流。

9.如權利要求8所述的一種平面陰極供氣系統管路，其特征在于，所述上壓條（2）密封連接于所述管路座（1）上，所述緩沖室（5）通過多條第一流道（6）分別與所述混合腔（201）連通，所述輔三級分氣路端部分別通過第二流道（7）與所述混合腔（201）連通，使得主氣口（3）與輔氣口（4）的氣體在所述混合腔（201）內均勻混合。

10.如權利要求9所述的一種平面陰極供氣系統管路，其特征在于，所述第一流道（6）與所述混合腔（201）的連通處螺紋連接有堵頭（8），使得該平面陰極供氣系統管路能夠單獨供輔氣口（4）導入的一種氣體。