[實(shí)用新型]一種便于刷膠料片移轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu)

有效

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• 申請日: 2022-11-28
• 公開（公告）號: CN218975413U
• 公開（公告）日: 2023-05-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 向軍
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇新智達(dá)新能源設(shè)備有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/687
• 代理公司: 南京中高專利代理有限公司 32333
• 代理人: 陳章

本實(shí)用新型提供了一種便于刷膠料片移轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu)，包括橫向設(shè)置且相互平行的第一滑軌和第二滑軌，所述第一滑軌上滑動設(shè)有用于裝載料片的第一滑臺，所述第二滑軌上滑動設(shè)有用于裝載料片的第二滑臺，所述第一滑軌和所述第二滑軌之間設(shè)有用于將所述料片在所述第一滑臺和所述第二滑臺之間移轉(zhuǎn)的移料裝置，所述移料裝置包括縱向移料裝置、安裝在所述縱向移料裝置上的豎向移料裝置、安裝在所述豎向移料裝置上的夾持裝置；通過夾持裝置從料片的兩側(cè)來夾持料片，然后通過豎向移料裝置將料片上移，再通過縱向移料裝置將料片從第一滑軌的上方移轉(zhuǎn)至所述第二滑軌的上方，然后豎向移料裝置將所述夾持裝置下移并將料片放置在所述第二滑臺上。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體加工領(lǐng)域，尤其涉及一種便于刷膠料片移轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體加工，晶圓封裝中往往會有刷膠、固晶等工序，在料片沒有刷膠之前往往是采用吸嘴來吸取料片，在刷完膠之后由于料片上布滿了膠因此不便于采用吸嘴來移轉(zhuǎn)料片，現(xiàn)有技術(shù)中通常是將料片放置在移料機(jī)構(gòu)上通過移料機(jī)構(gòu)在滑軌上移轉(zhuǎn)來帶動料片的移轉(zhuǎn)，因此一般需要的產(chǎn)線比較長，增加了生產(chǎn)空間。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是刷膠之后的料片不便于用吸嘴來移轉(zhuǎn)料片，且現(xiàn)有的移料機(jī)構(gòu)和滑軌的方式產(chǎn)線較長增加生產(chǎn)空間，本實(shí)用新型提供了一種便于刷膠料片移轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu)來解決上述問題。

本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：一種便于刷膠料片移轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu)，包括橫向設(shè)置且相互平行的第一滑軌和第二滑軌，所述第一滑軌上滑動設(shè)有用于裝載料片的第一滑臺，所述第二滑軌上滑動設(shè)有用于裝載料片的第二滑臺，所述第一滑軌和所述第二滑軌之間設(shè)有用于將所述料片在所述第一滑臺和所述第二滑臺之間移轉(zhuǎn)的移料裝置，所述移料裝置包括縱向移料裝置、安裝在所述縱向移料裝置上的豎向移料裝置、安裝在所述豎向移料裝置上的夾持裝置。

進(jìn)一步地：所述縱向移料裝置包括位于所述第一滑軌和所述第二滑軌上方且縱向設(shè)置的固定板，所述固定板上設(shè)有同一高度的主動齒輪和從動齒輪，所述主動齒輪和所述從動齒輪之間套設(shè)有與所述主動齒輪和所述從動齒輪嚙合的皮帶，所述皮帶上嚙合有安裝板，所述安裝板上固定有所述豎向移料裝置；所述主動齒輪上設(shè)有電機(jī)，所述電機(jī)可驅(qū)動所述主動齒輪轉(zhuǎn)動，所述主動齒輪轉(zhuǎn)動帶動所述皮帶在所述主動齒輪和所述從動齒輪之間轉(zhuǎn)動，從而帶動嚙合在所述皮帶上的安裝板移動。

進(jìn)一步地：所述豎向移料裝置包括固定安裝在所述安裝板上的豎直氣缸，所述豎直氣缸的推桿上安裝有推板，所述推板的下端固定有二組平行設(shè)置的底板，所述底板的兩端設(shè)有所述夾持裝置；所述底板上貫穿有若干個均勻設(shè)置的銷孔，所述銷孔中穿設(shè)有銷軸，所述銷軸的下端固定有壓板，所述銷軸上套設(shè)有彈簧。

進(jìn)一步地：所述夾持裝置包括固定設(shè)置在所述底板兩端的夾持氣缸，位于所述夾持氣缸下端設(shè)有夾爪，所述夾持氣缸可控制所述夾爪的夾緊或放松。

進(jìn)一步地：所述固定板上設(shè)有縱向滑軌，所述安裝板上固定有滑動設(shè)置在所述縱向滑軌上的縱向滑塊。

本實(shí)用新型的有益效果是，本實(shí)用新型通過所述移料裝置將料片在兩條平行的第一滑軌和第二滑軌之間移轉(zhuǎn)，因此半導(dǎo)體加工裝置更加集中，有效減少了生產(chǎn)線的長度，提高了空間使用效率；通過壓板壓住料片的連接區(qū)域，然后通過夾爪夾持料片進(jìn)行移轉(zhuǎn)，且夾爪夾持的是料片的側(cè)邊沒有點(diǎn)膠的區(qū)域，因此不會影響后續(xù)的點(diǎn)膠工作，相比現(xiàn)有的移料機(jī)構(gòu)，料片移轉(zhuǎn)更加靈活。

附圖說明

下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對本實(shí)用新型進(jìn)一步說明。

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是移料裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。