[實用新型]一種提升等壓化學(xué)氣相沉積工藝沉積效率的裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202223153804.4 | 申請日： | 2022-11-25 |
| 公開（公告）號： | CN218860874U | 公開（公告）日： | 2023-04-14 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 左玉;韓文靜;劉聯(lián)軍;盛沛沛;徐保海;樊寧霞 | 申請（專利權(quán)）人： | 西安航空制動科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C16/455 | 分類號： | C23C16/455;C23C16/26;C04B35/83 |
| 代理公司： | 中國航空專利中心 11008 | 代理人： | 秦媛媛 |
| 地址： | 710075 陜*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 提升 等壓 化學(xué) 沉積 工藝 效率 裝置 | ||
1.一種提升等壓化學(xué)氣相沉積工藝沉積效率的裝置，其特征在于，所述裝置包括：等壓化學(xué)氣相沉積爐，在所述等壓化學(xué)氣相沉積爐上設(shè)置有進(jìn)氣管道(1)和抽氣管道(7)；
所述等壓化學(xué)氣相沉積爐內(nèi)部放置實心碳碳復(fù)合材料產(chǎn)品(3)，在靠近抽氣管道(7)一端的實心碳碳復(fù)合材料產(chǎn)品(3)上設(shè)置碳碳蓋板(4)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種提升等壓化學(xué)氣相沉積工藝沉積效率的裝置，其特征在于，所述碳碳蓋板(4)外徑與等壓化學(xué)氣相沉積爐爐膛內(nèi)徑一致，厚約15-20cm，密度1.7g/cm3。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種提升等壓化學(xué)氣相沉積工藝沉積效率的裝置，其特征在于，所述碳碳蓋板(4)上設(shè)置有多個排氣孔(6)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種提升等壓化學(xué)氣相沉積工藝沉積效率的裝置，其特征在于，所述碳碳蓋板(4)正對抽氣管道(7)的蓋板中心位置處排氣孔密度較低，遠(yuǎn)離抽氣管道(7)的蓋板外圓位置排氣孔密度較高。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種提升等壓化學(xué)氣相沉積工藝沉積效率的裝置，其特征在于，在碳碳蓋板(4)靠外沿處，在直徑對稱位置加工兩個吊裝孔(5)，方便蓋板加裝與拆卸。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種提升等壓化學(xué)氣相沉積工藝沉積效率的裝置，其特征在于，所述實心碳碳復(fù)合材料產(chǎn)品(3)為平板結(jié)構(gòu)的增強體時，在兩個增強體之間均勻放置4個小墊塊，增加增強體與反應(yīng)氣源的接觸面積。
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C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態(tài)化合物分解且表面材料的反應(yīng)產(chǎn)物不留存于鍍層中的化學(xué)鍍覆，例如化學(xué)氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
