[實(shí)用新型]一體化流量控制器裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202223142084.1
• 申請(qǐng)日: 2022-11-25
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN218670709U
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-03-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李凱君
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 天津新勢(shì)力能源科技有限公司
• 主分類號(hào): F16K3/26
• 分類號(hào): F16K3/26;F16K3/30;F16K17/04;F16K31/60;F16K37/00
• 代理公司: 北京奧肯律師事務(wù)所 11881
• 代理人: 周桐

本實(shí)用新型公開(kāi)了一體化流量控制器裝置，包括裝置箱，所述裝置箱內(nèi)部開(kāi)設(shè)有進(jìn)液槽、限流槽、連接槽、泄壓槽和排液槽，所述進(jìn)液槽一端與限流槽側(cè)面相連，所述限流槽底部與連接槽頂部一端相連，所述連接槽另一端頂部與泄壓槽底部相連，所述泄壓槽側(cè)面與排液槽一端相連，所述限流槽內(nèi)部設(shè)有控流裝置，且控流裝置內(nèi)部設(shè)有限制流量大小的限流機(jī)構(gòu)，所述泄壓槽內(nèi)部設(shè)有對(duì)液體壓力排泄的泄壓機(jī)構(gòu)，所述裝置箱安裝有測(cè)壓裝置，所述裝置箱兩端分別安裝有進(jìn)液管和排液管，所述進(jìn)液管和排液管分別設(shè)置于進(jìn)液槽和排液槽表面。本實(shí)用新型通過(guò)限流機(jī)構(gòu)的設(shè)置，可對(duì)液體進(jìn)行限流設(shè)置，避免液體流量過(guò)大或過(guò)小對(duì)其造成影響。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及流量控制器裝置技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一體化流量控制器裝置。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體制造裝置或者化工廠中，為了控制材料氣體或蝕刻氣體等流體的流動(dòng)，利用了各種類型的流量計(jì)或者流量控制裝置。其中，壓力式流量控制裝置由于能夠通過(guò)組合了控制閥和節(jié)流部的比較簡(jiǎn)單的機(jī)構(gòu)來(lái)高精度地控制各種流體的流量，因此被廣泛利用。

在一體化流量控制器的使用中，由于一體化流量控制器整體結(jié)構(gòu)不合理，在使用時(shí)一體化流量控制器必須保證內(nèi)部流向壓力大小，避免壓力過(guò)大或過(guò)小都會(huì)對(duì)工作造成影響，從而造成流量表在一體化流量控制器必須保證內(nèi)部工作的穩(wěn)定性，而流槽內(nèi)流量控制精度是保證下道工序生產(chǎn)穩(wěn)定的重要工藝參數(shù)，因此，亟需設(shè)計(jì)一體化流量控制器裝置來(lái)解決這一問(wèn)題。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺點(diǎn)，而提出的一體化流量控制器裝置。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用了如下技術(shù)方案：

一體化流量控制器裝置，包括裝置箱，所述裝置箱內(nèi)部開(kāi)設(shè)有進(jìn)液槽、限流槽、連接槽、泄壓槽和排液槽，所述進(jìn)液槽一端與限流槽側(cè)面相連，所述限流槽底部與連接槽頂部一端相連，所述連接槽另一端頂部與泄壓槽底部相連，所述泄壓槽側(cè)面與排液槽一端相連，所述限流槽內(nèi)部設(shè)有控流裝置，且控流裝置內(nèi)部設(shè)有限制流量大小的限流機(jī)構(gòu)，所述泄壓槽內(nèi)部設(shè)有對(duì)液體壓力排泄的泄壓機(jī)構(gòu)，所述裝置箱安裝有測(cè)壓裝置。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步方案，所述限流機(jī)構(gòu)包括限流環(huán)和滑槽，所述限流環(huán)滑動(dòng)于限流槽內(nèi)部，所述限流環(huán)弧面處安裝有兩個(gè)限位塊，且兩個(gè)限位塊呈對(duì)稱設(shè)置，所述滑槽設(shè)有兩個(gè)，且兩個(gè)滑槽均開(kāi)設(shè)于限流槽內(nèi)部，兩個(gè)所述限位塊分別滑動(dòng)于兩個(gè)滑槽內(nèi)部，所述限流環(huán)弧面處開(kāi)設(shè)有限流孔，且限流孔連接于限流環(huán)底部，所述限流環(huán)頂部安裝有限位環(huán)，所述限位環(huán)內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)有轉(zhuǎn)盤，所述轉(zhuǎn)盤頂部安裝有螺紋桿，所述螺紋桿穿插轉(zhuǎn)動(dòng)于裝置箱頂部，所述螺紋桿頂部安裝有旋轉(zhuǎn)閥，所述裝置箱頂部安裝有連接軸，所述連接軸套接于螺紋桿表面。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步方案，所述泄壓機(jī)構(gòu)包括控壓塊，所述控壓塊滑動(dòng)于泄壓槽內(nèi)部，且控壓塊每部滑動(dòng)有彈簧和滑板，所述滑板安裝于彈簧頂部，所述滑板頂部安裝有連接桿，且連接桿穿插滑動(dòng)于裝置箱頂部，所述測(cè)壓裝置安裝于固定板頂部，且固定板安裝于裝置箱頂部，所述測(cè)壓裝置內(nèi)部安裝有壓力監(jiān)測(cè)器，所述連接桿頂部安裝于壓力監(jiān)測(cè)器底部。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步方案，所述裝置箱兩端分別安裝有進(jìn)液管和排液管，所述進(jìn)液管和排液管分別設(shè)置于進(jìn)液槽和排液槽表面。

本實(shí)用新型的有益效果為：

1.通過(guò)控流裝置的設(shè)置可對(duì)流量進(jìn)行控制，在使用時(shí)先旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)閥帶動(dòng)螺紋桿轉(zhuǎn)動(dòng)，螺紋桿在裝置箱和連接軸的限制下向下滑動(dòng)，螺紋桿可帶動(dòng)轉(zhuǎn)盤和限位環(huán)向下滑動(dòng)，限流環(huán)通過(guò)限位塊的限制，使限流環(huán)向下滑動(dòng)，使限流孔于進(jìn)液槽接觸面積越來(lái)越大，從而可控制液體流量越來(lái)越大，這時(shí)可進(jìn)行使用，當(dāng)不需要使用時(shí)，反轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)閥帶動(dòng)螺紋桿和轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動(dòng)，使螺紋桿和轉(zhuǎn)盤向上轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)盤帶動(dòng)限位環(huán)和限流環(huán)向上滑動(dòng)，此時(shí)限流孔與進(jìn)液槽接觸面變小，從而可關(guān)閉液體流入量，進(jìn)而提高了該設(shè)備的使用效果。