[實(shí)用新型]一種注入機(jī)靶盤螺絲防松脫結(jié)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202223121793.1
• 申請(qǐng)日: 2022-11-24
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN218670143U
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-03-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王云鳳;張韜;張笑辰;袁瑩
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 吉林市匯恒電子科技有限公司
• 主分類號(hào): F16B39/02
• 分類號(hào): F16B39/02;F16B39/22
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

本實(shí)用新型涉及螺絲防松脫技術(shù)領(lǐng)域，且公開(kāi)了一種注入機(jī)靶盤螺絲防松脫結(jié)構(gòu)，包括注入機(jī)，注入機(jī)的上方設(shè)置有靶盤，所述注入機(jī)的頂部中心位置開(kāi)設(shè)有螺紋孔，橫向的兩個(gè)螺紋孔之間開(kāi)設(shè)有橫向的通孔，通孔與兩個(gè)螺紋孔的內(nèi)部相通，通孔的內(nèi)部中心位置固定安裝有電動(dòng)伸縮桿，電動(dòng)伸縮桿的左側(cè)輸出端與第一電動(dòng)桿固定連接。本實(shí)用新型中，如此循環(huán)最后螺絲會(huì)由于過(guò)于松動(dòng)脫落造成靶盤松脫，影響注入機(jī)的正常使用，螺絲的底端螺紋連接在螺紋管套的內(nèi)部，螺紋管套的內(nèi)外壁面均設(shè)置有螺紋結(jié)構(gòu)，螺紋管套的輸出端螺紋連接在螺紋孔的內(nèi)部，在雙重的螺紋連接下，靶盤即使長(zhǎng)時(shí)間使用也不會(huì)輕易帶動(dòng)螺絲松動(dòng)脫離螺紋孔的內(nèi)部的效果。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及螺絲防松脫技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種注入機(jī)靶盤螺絲防松脫結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)

離子注入機(jī)是集成電路制造工序中的關(guān)鍵設(shè)備，離子注入就是將所要注入的元素進(jìn)行電離，并將正離子分離和加速，形成具有數(shù)萬(wàn)電子伏特的高能離子流，轟擊工件表面，離子因動(dòng)能很大，被打入表層內(nèi)，其電荷被中和，成為置換原子或晶格間的填隙原子，被留于表層中，使材料的化學(xué)成分、結(jié)構(gòu)、性能產(chǎn)生變化。離子注入相比于常規(guī)熱摻雜工藝，可對(duì)注入劑量、注入角度、注入深度、橫向擴(kuò)散等方面進(jìn)行精確的控制。因此，離子注入機(jī)廣泛用于摻雜工藝中，已成為集成電路制造工藝中必不可少的關(guān)鍵裝備,靶盤一般是通過(guò)螺絲固定在注入機(jī)上的，軸孔配合會(huì)留有一定的縫隙，因此在剛裝配好時(shí)沒(méi)有靶盤能夠與注入機(jī)緊密連接，不會(huì)出現(xiàn)竄動(dòng)，但是靶盤在使用一段時(shí)間之后由于軸孔的縫隙會(huì)出現(xiàn)竄動(dòng)的現(xiàn)象，靶盤竄動(dòng)造成的靶盤與螺絲間的反復(fù)摩擦，會(huì)造成螺絲的松動(dòng)，螺絲的松動(dòng)又會(huì)加劇輪盤的竄動(dòng)，如此循環(huán)最后螺絲會(huì)由于過(guò)于松動(dòng)脫落造成靶盤松脫，影響注入機(jī)的正常使用。

為此，我們提出一種注入機(jī)靶盤螺絲防松脫結(jié)構(gòu)。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型主要是解決上述現(xiàn)有技術(shù)所存在的技術(shù)問(wèn)題，提供一種注入機(jī)靶盤螺絲防松脫結(jié)構(gòu)。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用了如下技術(shù)方案，一種注入機(jī)靶盤螺絲防松脫結(jié)構(gòu)，包括注入機(jī)，注入機(jī)的上方設(shè)置有靶盤，所述注入機(jī)的頂部中心位置開(kāi)設(shè)有螺紋孔，橫向的兩個(gè)螺紋孔之間開(kāi)設(shè)有橫向的通孔，通孔與兩個(gè)螺紋孔的內(nèi)部相通，通孔的內(nèi)部中心位置固定安裝有電動(dòng)伸縮桿，電動(dòng)伸縮桿的左側(cè)輸出端與第一電動(dòng)桿固定連接，第一電動(dòng)桿遠(yuǎn)離電動(dòng)伸縮桿的一端與第一彈簧固定連接，第一彈簧遠(yuǎn)離第一電動(dòng)桿的一端與第一夾塊固定連接，第一夾塊為弧形，第一夾塊位于左側(cè)螺紋孔的內(nèi)部，電動(dòng)伸縮桿的右側(cè)輸出端與第二電動(dòng)桿固定連接，第二電動(dòng)桿遠(yuǎn)離電動(dòng)伸縮桿的一端與第二彈簧固定連接，第二彈簧遠(yuǎn)離第二電動(dòng)桿的一端與第二夾塊固定連接，第二夾塊為弧形，第二夾塊位于右側(cè)螺紋孔的內(nèi)部。

作為優(yōu)選，所述靶盤的底部中心位置固定連接有豎直向下的連接桿，連接桿底端的左右兩側(cè)均固定連接有對(duì)稱的連接座。

作為優(yōu)選，所述連接座頂部的前后兩側(cè)均開(kāi)設(shè)有螺紋孔，連接座頂部的螺紋孔內(nèi)螺紋連接有螺絲。

作為優(yōu)選，所述注入機(jī)頂部的螺紋孔與上方的螺絲的位置對(duì)應(yīng)。

作為優(yōu)選，所述螺絲的輸出端為螺紋結(jié)構(gòu)，螺絲的底端設(shè)置有螺紋管套，螺紋管套為內(nèi)部中空的圓柱體，螺紋管套的內(nèi)部壁面為螺紋結(jié)構(gòu)，螺絲的輸出端螺紋連接在螺紋管套的內(nèi)部，螺紋管套的外壁面設(shè)置有螺紋機(jī)構(gòu)。

有益效果

本實(shí)用新型提供了一種注入機(jī)靶盤螺絲防松脫結(jié)構(gòu)。具備以下有益效果：

（1）、該一種注入機(jī)靶盤螺絲防松脫結(jié)構(gòu)，工作時(shí)，將靶盤通過(guò)螺絲對(duì)注入機(jī)進(jìn)行固定使用，靶盤在使用一段時(shí)間之后由于軸孔的縫隙會(huì)出現(xiàn)竄動(dòng)的現(xiàn)象，靶盤竄動(dòng)造成的靶盤與螺絲間的反復(fù)摩擦，會(huì)造成螺絲的松動(dòng)，螺絲的松動(dòng)又會(huì)加劇輪盤的竄動(dòng)，如此循環(huán)最后螺絲會(huì)由于過(guò)于松動(dòng)脫落造成靶盤松脫，影響注入機(jī)的正常使用，螺絲的底端螺紋連接在螺紋管套的內(nèi)部，螺紋管套的內(nèi)外壁面均設(shè)置有螺紋結(jié)構(gòu)，螺紋管套的輸出端螺紋連接在螺紋孔的內(nèi)部，在雙重的螺紋連接下，靶盤即使長(zhǎng)時(shí)間使用也不會(huì)輕易帶動(dòng)螺絲松動(dòng)脫離螺紋孔的內(nèi)部的效果。