[實用新型]可更換圓卡磨針支撐裝置

有效

• 申請號: 202223098107.3
• 申請日: 2022-11-22
• 公開（公告）號: CN219234993U
• 公開（公告）日: 2023-06-23
• 發明（設計）人: 張威;劉志廣
• 申請（專利權）人: 道格特半導體科技（江蘇）有限公司
• 主分類號: B24B41/06
• 分類號: B24B41/06
• 代理公司: 深圳市華騰知識產權代理有限公司 44370
• 代理人: 彭年才

1.一種可更換圓卡磨針支撐裝置，其特征在于，包括安裝平臺和裝于所述安裝平臺上的多個磨針支架，所述安裝平臺設有多個磁條槽，所述磁條槽內放置有第一磁性件，每個所述磨針支架內設有第二磁性件，每個磁性件是磁體或吸磁體，每個所述磨針支架對應放置于一個所述磁條槽上，所述第一磁性件和所述第二磁性件通過磁吸定位以使所述磨針支架裝于所述安裝平臺上，所述磨針支架根據探針卡的大小能沿著所述磁條槽移動調節位置。

2.如權利要求1所述的可更換圓卡磨針支撐裝置，其特征在于，所述安裝平臺中部設有工作窗口，所述磁條槽設于所述工作窗口周圍，所述磨針支架沿著所述磁條槽移動調節的徑向范圍設定為適用于8~13英寸的探針卡。

3.如權利要求2所述的可更換圓卡磨針支撐裝置，其特征在于，所述磨針支架的兩端設有第一螺母，所述磁條槽兩側在所述第一螺母對應的位置設有距所述工作窗口不同距離的多個螺孔，所述第一螺母從所述磨針支架的上表面貫穿至下表面并固定于適用探針卡尺寸的所述螺孔。

4.如權利要求3所述的可更換圓卡磨針支撐裝置，其特征在于，所述磨針支架包括夾持部和固定座。

5.如權利要求4所述的可更換圓卡磨針支撐裝置，其特征在于，所述夾持部包括由所述固定座的頂部向外延伸設置的針卡底座、針卡擋片、針卡壓板和第二螺母，所述針卡底座、所述針卡擋片和所述針卡壓板從下往上依次層疊設置。

6.如權利要求5所述的可更換圓卡磨針支撐裝置，其特征在于，所述第二磁性件設于所述固定座內或者所述固定座為磁性體，所述固定座與所述針卡底座形成倒L結構，所述倒L結構使所述磨針支架適用尺寸小于所述工作窗口的探針卡。

7.如權利要求5所述的可更換圓卡磨針支撐裝置，其特征在于，所述針卡擋片為扇環形擋片，所述扇環形擋片的外弧靠近所述固定座一側，所述扇環形擋片的內弧與所述針卡底座、所述針卡壓板形成針卡插入區，所述針卡插入區適用于圓形探針卡。

8.如權利要求5所述的可更換圓卡磨針支撐裝置，其特征在于，所述針卡擋片和所述針卡底座于所述針卡擋片兩端設有直線貫穿的定位孔，所述定位孔用于設置外部固定件將所述針卡擋片固定于所述針卡底座。

9.如權利要求5所述的可更換圓卡磨針支撐裝置，其特征在于，所述針卡底座、所述針卡擋片和所述針卡壓板各設有貫通的支撐孔，所述針卡擋片的支撐孔貫穿于中部位置，所述第二螺母具有螺桿，所述螺桿從上往下依次穿過各個所述支撐孔以提供調節或固定的功能。

10.如權利要求9所述的可更換圓卡磨針支撐裝置，其特征在于，所述針卡壓板具有與所述針卡壓板的支撐孔貫通的徑向槽孔，所述針卡壓板下面粘有墊片，所述墊片用于防止壓傷探針卡，在調節時，松開所述螺桿后，所述針卡壓板的支撐孔和徑向槽孔能沿著所述螺桿前后移動位置和所述針卡壓板能沿著所述螺桿旋轉以便更換探針卡。