[實用新型]一種磁力加壓加熱快速燒結(jié)爐

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202223057605.3
• 申請日: 2022-11-17
• 公開（公告）號: CN219551207U
• 公開（公告）日: 2023-08-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 崔成強;吳松;張昱;楊凱;彭琳峰;楊冠南
• 申請（專利權(quán)）人: 廣東工業(yè)大學(xué)
• 主分類號: F27D11/06
• 分類號: F27D11/06;F27D5/00;F27B5/14;F27B5/12;F27B5/18;F27D7/02
• 代理公司: 佛山市禾才知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44379
• 代理人: 單蘊倩

本實用新型公開了一種磁力加壓加熱快速燒結(jié)爐，包括爐體、上工作臺和下工作臺，上工作臺和下工作臺均位于爐體內(nèi)，爐體纏繞有電磁加熱線圈；上工作臺可上下移動的安裝于爐體的頂壁，下工作臺安裝于爐體的底壁，上工作臺位于下工作臺的正上方；下工作臺內(nèi)安裝有磁場產(chǎn)生裝置，磁場產(chǎn)生裝置用于產(chǎn)生磁場；上工作臺的材料為磁性材料，上工作臺在磁場作用下朝向下工作臺移動，并對下工作臺上的工件加壓。燒結(jié)爐利用電磁感應(yīng)原理直接加熱爐內(nèi)壁，不僅能使?fàn)t內(nèi)快速升溫，精確控制爐內(nèi)溫度，提高能源利用率；同時利用電磁加壓，因其磁力控制精度高，能夠控制加壓速度，有效地減少加壓過程對樣品的傷害，同時實現(xiàn)控制保壓時間，實現(xiàn)程序化加壓和減壓。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及芯片封裝燒結(jié)爐技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種磁力加壓加熱快速燒結(jié)爐。

背景技術(shù)

在芯片封裝互連領(lǐng)域，通常通過絲網(wǎng)印刷等技術(shù)在基板和芯片之間涂覆一層納米銅膏體，然后對膏體在高溫和一定壓力下燒結(jié)，提高基板和芯片連接層的致密度和物理性能。在高溫下，銅膏晶粒吸收能力長大，空隙(氣孔)和晶界漸趨減少，通過物質(zhì)的傳遞，其總體積收縮，密度增加，最后成為具有顯微結(jié)構(gòu)的致密多晶燒結(jié)體，形成在銀顆粒之間形成網(wǎng)狀互連結(jié)構(gòu)。

現(xiàn)有的燒結(jié)爐通常利用液壓加壓或者機械加壓，利用電阻生熱。如公開號為CN114608311A，名稱為“燒結(jié)設(shè)備及其氣氛可控的壓力燒結(jié)機構(gòu)”的中國發(fā)明專利申請，以上下兩個加壓組件封堵伸縮管，使伸縮管內(nèi)部形成密閉的燒結(jié)腔，兩個加壓組件均設(shè)置有電加熱線圈或電加熱片，對加熱腔中的元件進行加熱，采用絲桿螺母機構(gòu)、齒輪齒條機構(gòu)及氣缸等驅(qū)動裝置驅(qū)動上壓頭下壓，直至上壓頭與產(chǎn)品接觸加壓。這種以電加熱線圈或電加熱片對加熱腔進行加熱的方式，存在加熱腔升溫速度慢的缺點，而且，機械加壓的方式的加壓速度控制精度較低，容易破壞樣品，且不能實現(xiàn)精準(zhǔn)的加/減壓操作，以及保壓時間的精準(zhǔn)控制。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于提出一種磁力加壓加熱快速燒結(jié)爐，具有爐內(nèi)升溫速度快和加壓速度精度高的特點。

為達此目的，本實用新型采用以下技術(shù)方案：

進一步的，所述爐體內(nèi)的頂壁安裝有豎向?qū)к墸錾瞎ぷ髋_的頂部與所述豎向?qū)к壔瑒优浜希?/p>

所述上工作臺的頂端與所述爐體內(nèi)的頂壁通過緩沖件連接。

進一步的，所述豎向?qū)к壋士招闹危鲐Q向?qū)к壍膬?nèi)壁設(shè)有多個導(dǎo)向槽；

所述上工作臺的頂部設(shè)有滑柱，所述滑柱的外壁設(shè)有與所述導(dǎo)向槽匹配的凸起，所述滑柱插入所述導(dǎo)向槽內(nèi)并與所述導(dǎo)向槽滑動配合。

進一步的，所述上工作臺與所述緩沖件之間連接有拉力傳感器。

進一步的，磁力加壓加熱快速燒結(jié)爐還包括電磁控制裝置，所述電磁加熱線圈、所述磁場產(chǎn)生裝置和所述拉力傳感器分別與所述電磁控制裝置連接。

進一步的，所述爐體的內(nèi)壁設(shè)有溫度傳感器，所述溫度傳感器與所述電磁控制裝置連接。

進一步的，所述爐體包括爐外壁和爐內(nèi)壁，所述爐外壁和所述爐內(nèi)壁之間填充有隔熱材料，所述爐內(nèi)壁的材料為磁性材料；

所述電磁加熱線圈纏繞于所述爐內(nèi)壁的外側(cè)。

進一步的，所述下工作臺的頂面設(shè)有用于固定夾具的安裝孔。

進一步的，磁力加壓加熱快速燒結(jié)爐還包括氣壓控制裝置，所述氣壓控制裝置通過管道與所述爐體相連通；

所述氣壓控制裝置包括氣壓指示器、氣瓶、真空泵和溢流閥，所述真空泵連接于所述管道的尾端，所述氣壓指示器、溢流閥和氣瓶分別連接于所述真空泵和所述爐體之間的管道，所述溢流閥位于所述氣壓指示器和所述氣瓶之間。

本實用新型提供的技術(shù)方案可以包括以下有益效果：